立式氧化扩散炉加工

 　　立式氧化扩散炉加工

　　立式氧化/扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备，它以批为单位进行晶圆加工，批加工的时间较长，是半导体生产线的主要瓶颈之一。立式氧化/扩散炉控制系统的性能直接影响晶圆制造的成本，而调度算法是控制系统能否高效运行的关键。

　　根据某典型立式氧化/扩散炉的加工过程进行面向对象Petri网建模，将立式氧化/扩散炉按用途划分为片架台、机械手和工艺管腔三类对象，分别建立它们的对象Petri网，应用不变量分析方法对它们的对象关系网进行动态性能分析，构建出性能良好的立式氧化/扩散炉加工过程的面向对象Petri网，给出了采用面向对象Petri网方法进行系统控制软件开发的基本流程;为了进一步分析立式氧化/扩散炉的单机调度和多机调度，结合其加工特征和生产约束建立了立式氧化/扩散炉的调度混合Petri网，分析并给出了调度算法需要解决的问题。 在上述建模分析的理论基础上，设计了多种类型晶圆到达时间可预知的环境下，以极小化总完工时间为目标，基于微粒群算法的单机和多机调度算法。

　　单机调度算法基于总批数最小和到达时间相邻的片盒进行组批的原则构建组批方法搜索集，对于其中每种组批方法采用微粒群算法来进行批次排序，进而得到最优的组批及排序结果。多机调度算法采用与单机算法相同的方法来构建组批方法集，将微粒群算法用于解决组批向设备组中设备的分发问题，在各台设备处采用先到先加工的排序规则，最终得到最优的组批、分发及排序结果。另外，以往的半导体批调度文献中都没有考虑晶圆加/卸载过程对调度的影响，有必要在调度算法中单独考虑晶圆加/卸载所需的时间，因此本文调度算法规划了组批中各片盒晶圆的加/卸载时间，在组批中所有片盒都到达前先加载已到达片盒的晶圆以减少设备等待时间。

　　利用基于实际设备参数的数值仿真，系统地分析了调度算法在不同晶圆规模和设备负荷下的运算速度、调度性能和重复性能，并验证了晶圆加载规划对总完工时间的有效优化。 最后根据某典型立式氧化/扩散炉系统控制软件的开发要求，采用MATLAB和C#语言混合编程将单机调度算法实际应用到立式氧化/扩散炉的控制系统中。通过程序测试界面在C#环境进行设备参数、晶圆参数和工艺参数的输入以及调度结果的输出，对单机调度程序的参数传递和运算过程进行了测试。

　　氧化炉主要技术性能指标

　　外型形式：卧式单管

　　高工作温度：1280℃

　　加热炉管有效口径：Φ240mm

　　等温区长度：800mm

　　控温仪表：原装进口，日本岛电FP23、SR23高精度控温系统

　　等温区精度： 400℃--600℃ ±1℃600℃--1280℃ ±0.5℃

　　单点温度稳定性： 400℃--600℃ ±1℃600℃--1280℃ ±0.5℃

　　升温斜变能力：***大可控升温速度：15℃/min

　　大升温功率：26KW/管

　　保温功率：13KW/管

　　气路系统：氮气+氧气，带湿氮发生器(含液位自动补水装置)

　　流量计：质量流量计

　　气路管件：进口原装，长期使用不生锈

　　气路系统气密性： 1×10-7Pa·m3/S

　　电源：三相五线380V、50Hz

　　工艺管：GE，配石英舟、石英帽等

　　热电偶：S型

　　气源：整个气路系统包括质量流量计、手动阀门、电磁阀、进口内抛光316L不锈钢管、接头等。每管配有氮气+氧气两种工艺气体。带有温度可控的湿氧发生器。湿氧发生器带水位控制功能，水位实时显示在触摸屏上，当水位低于设定水位时系统自动补水。

本标准适用于锂电池用四氧化三锰。 YB/T 4737-2019 炼钢铁素炉料（废钢铁）加工利用技术条件 本标准规定了炼钢铁素炉料（废钢铁）的术语和定义、分类、技术要求、交货条件... ---摘自《附件》

（一）数控机床 1. 立式、卧 式加工中心 84663000 90319000 （四）大型港口机械：大型斗轮堆取料机、翻车机、装卸船机等（待定） 十一、重大工程自动化控制系统和关键精密... ---摘自《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品清单》

2018年5月，徐永购买了两台数控立式加工中心、一台端面升降铣床及一台落地车床，从事机械零部件加工生产，生产过程中无废水、废气产生，但该项目未经环保审批。＂，＂部... ---摘自《附件7》

＂立式加工金属的加工中心＂， ＂11＂,＂8457102000＂，＂卧式加工金属的加工中心＂， ＂12＂,＂8457103000＂，＂龙门式加工金属的加工中心＂， ＂13＂,＂8457109000＂... ---摘自《目录一》

立式双层鼓轮  vertical double draft bull block  双层编包风雨线  weatherproof ... 超声波拉丝模加工机 ultrasonic drawing die working machine 超声波拉丝机 ultrasonic ... ---摘自《湿式中拉机  medium wet drawing machine 》

立式加工中心 V1050 1 搬迁 9 数控车床 CK6163*3000 1 搬迁 10 1*8 米数控外元磨床 φ1000*8000 1 搬迁 11 数控龙门铣床 XH2420B 1 搬迁 12 线，一般回收利用触媒氧化燃烧热来... ---摘自《国环评证乙字》

＂1.4月29日6时至8时，3号焦化烟筒二氧化硫数据超标（6时超标0.31倍；7时超标0.41倍... 木料加工、打磨工艺未安装污染防治设施。＂，＂是＂，＂否＂ ＂24＂，＂第4批＂，＂... ---摘自《唐山1-23批》

146铸铝件氧化斑点、铸造的沙孔、宿松如何消除 150 147精密模具生产工艺 151 148制... 扩散炉、全自动杂质源涂布机、烧结炉、高频合金装置、切断机、注塑机、组立炉、内涂... ---摘自《目录》

PDS+栲胶湿式氧化法脱硫煤气净化设施、除尘系统、筛焦设施等）、156万吨/年石灰生... 焦油作为副产送煤焦油深加工企业进行处理。生活垃圾交由园区环卫部门统一清运至生活... ---摘自《新疆圣雄焦化有限公司》

仪器分为扩散式和泵吸式。用于测定环境中二氧化硫气体的浓度值。＂，， ，＂C＂，＂有毒有害气体检测（报警）仪＂，＂硫化氢气体分析仪＂，＂46381000＂,＂JJG695-2003＂,... ---摘自《市院》

立式加工中心 台2VMC850B 12 脉冲除尘器 台2MC-200 13 脉冲除尘器 台2MC-420 14 引风机（含电机） 台230kw，风量27000m3/h 15 引风机（含电机） 台245备噪声以及生活垃... ---摘自《陕西吉恒机械制造有限公司》

＂基于扩散炉新型炉门技术的高效多晶太阳能电池片＂，＂浙江德西瑞光电科技有限公司... ＂基于扩散变温氧化工艺的太阳能电池片＂，＂浙江德西瑞光电科技有限公司＂，＂海宁... ---摘自《公示清单》

堆芯栅格板和扩散板。 注释 “核反应堆内部构件”是反应堆容器内的主要结构，具有一... 重水（氧化氘） 任一接受方在任何12个月期间内收到的供上述第6项定义的核反应堆用的... ---摘自《附件》

七星电子承担的在本文中包括的子项为：300mm 90/65nm 立式氧化 炉/质量流量控制器研发及产业化项目，65nm 超精细清洗设备研制与 产业化项目，45-32nm LPCVD 设备产业化... ---摘自《北京七星华创电子股份有限公司》

综合车间 主要氧化加工和喷涂加工，目前有 1 条卧式氧化线、1 条立式氧化 线和 2 条粉末喷涂线；综合车间西侧为污水处理站、挂具脱漆处及 泡模车间；北侧为成品车间。 PDF ... ---摘自《苏州罗普斯金铝业股份有限公司》

＂06＂,＂5＂,＂3＂,＂01＂，＂一氧化碳发动机＂，＂台＂ ＂06＂,＂5＂,＂3＂,＂02＂... ＂07＂，，，，＂金属加工设备＂，＂台＂ ＂07＂,＂1＂，，，＂金属切削机床＂，＂... ---摘自《国标94版说明》

＂燕窝（出口加工区、保税区除外）＂，，＂进口＂， ＂14＂,＂0506100000＂，＂经酸... ＂化学纯氧化镁＂，＂出口＂，， ＂91＂,＂2519909910＂，＂其他氧化镁含量在70%以... ---摘自《加工贸易》

由于在高温时过渡金属氧化物正极材料可以释放出氧，或者 为化学反应提供化合态的氧，... 900m 黑茶加工 / / 正常运营 湖南金源新材料股份有限公司废锂电池及钨钴废料综合回收技... ---摘自《湖南金源新材料股份有限公司废锂电池及钨》

该产品采用高性能隔热铝合金铝型材加工而成，选配不同构造的中空玻 璃，可以满足各种... 氧化金属粉为主要功 能材料，经分散、砂磨、滚碾等工艺制备而成。涂膜耐洗刷性、耐沾... ---摘自《附件 2 既有建筑节能改造技术推广目录》

套购置扩散炉、 清洗机、 抛光机 等国产项目 290 台套， 搬迁原有 设备 56 台套，对现有... 台（套），新增立式加工中 心、摇臂钻床、焊机、抛丸机、 喷漆房等设备 63 台（套），... ---摘自《江阴市经济和信息化委员会文件》

01＂，＂一氧化碳发动机＂，＂台＂， ＂06＂,＂5＂,＂3＂,＂02＂，＂氢气发动机＂，... 01＂，＂钛分子扩散泵＂，＂台＂， ＂17＂,＂1＂,＂6＂,＂02＂，＂油扩散泵＂，＂台... ---摘自《分类标准》

二氧化氮分析仪 一、仪器设备使用目的、用途方向：检测空气中的二氧化氮。 二、仪器... 选用进口优质不锈钢板和精密机械加工工艺制造，具有耐高温，耐腐蚀的特点。控温装置... ---摘自《附件：》

污染物扩散的估算结果见表 1.4-3。 表1.4-3 污染物扩散估算结果表 序号 污染源名称 方位... 规定配置二氧化碳灭火器，其他场所配置磷酸铵盐 干粉灭火器。 供水设施 水源引自克拉... ---摘自《克拉玛依博达生态环保科技有限责任公司》

氮氧化物（一氧化氮和二氧化氮）的测定 盐酸萘乙二胺分光光度法 HJ 480 环境空气 氟化... 机、全自动高温扩散炉、自动导片和装片机、 全自动上下料 PECVD 镀膜机、自动印刷... ---摘自《附件 4》

＂应用于水泥工业氮氧化物减排的高效节能烟气脱硝环保装置（CNRD）＂，＂北京中能... ＂，＂机加工刀具用化学气相沉积金刚石坯料＂，＂河北普莱斯曼金刚石科技有限公司＂... ---摘自《北京》

二氧化碳压缩机功率≥10000kW；出口压力≥14MPa 3.6.12 煤化工专用调节阀 3.6.12. 1 A ... 高效晶体硅太阳能电池减压扩散炉 台 产能≥1000 pcs/管；压力控制精度≤±1mbar；恒温区... ---摘自《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》

扩散、氧化炉、CVD 设备，清洗机，曝光机，刻 蚀机，离子注入机，及探针测试机。 图7：集成电路产品前道工艺流程 资料来源：国信证券经济研究所整理 在完成前道工艺加工后... ---摘自《设备是产业支柱,机遇与挑战并存》

料22 高端氧化铈半 导体抛光液 抛光液中有害杂质离子总浓度<60ppm；尺寸分布窄，一 ... 热扩散系数在1400℃时为0.5m²/s 左右， 热导率在1400℃时为1.0w/(m·k)左右 振动筛... ---摘自《新材料产业》

铜板带加工用立式连续铸造机列 Ⅰ-32 85141010 水平和立式展开式保护气体退火机列 Ⅰ-... 扩散炉 Ⅰ-284 84862021 等离子增强化学气相沉积装置（PECVD炉） Ⅰ-285 84862049 ... ---摘自《广东省鼓励进口技术和产品目录（2016年版）》

加热溶解后冷却至室温，加入氢氧化铜或碳酸铜（每21L硫酸铜溶液加入1g），搅拌混合... 5、我国护栏的加工制造和施工安装技术水平较低，设备缺乏。 综合上述，我过波形护栏... ---摘自《应用范围：高速公路、车道隔离防护、中央分隔带等》

购置深孔加工机床2台、CNC数控冲孔机床1台、转盘式六工位五轴车铣钻机3台、立式钻... 自动焊线机等进口设备60台（套），高温扩散炉、晶体硅制绒机、层压机等国产设备62台... ---摘自《总》

扩散炉 台12 20 240 国产 喷砂机 台720 140 国产 扩散 高温氧化炉 台620 120 国产 曝光机 台515 75 国产 上胶机（手动三轴） 台525 125 国产 黄光 显定影机 台520 100 国产 蚀刻机 ... ---摘自《《建设项目环境影响报告表》编制说明》

机、PVD、立式氧化炉、清洗机、LPCVD 等设备，已经批量进入了国内主 流集成电路生产线；在长晶炉方面，国内企业晶盛机电具备较强的竞争力， 公司是国内首家唯一自主研... ---摘自《半导体研究系列之二（设备）：星星之火,燎原之势渐起》

环氧乙烷残留量、可萃取金属含量、酸碱度、易氧化物、无菌、热原（细菌内毒素方法）... 控制针座模具加工时的尺寸，达到6:100要求。 查生产管理文件记录，过程检验记录，特... ---摘自《食药监械监〔2016〕37号附件》

氧化扩散设备 Oxide/Diff • 清洗设备 Cleaning Tool • 紫外固化设备 UV Cure • 移载传送设备 Indexer • 辅助设备 Facility • 气体测量控制 • 钎焊OCVD、刻蚀设备、封装 IC、... ---摘自《半导体设备龙头,进口替代乘风而上》

(CVD)、氧化/扩散炉、 清洗机、原子层沉积 （ALD） 、气体质量流量计等几大类，涵盖了半导体生产工 艺制程中的大部分关键工艺装备。半导体装备业务方面，作为国家 02 重... ---摘自《证券简称：北方华创 证券代码：002371》

加工尺寸≥ 120mm*120mm*80mm 持有合同订单 2021 调整 2 送粉式激光增材制造装备 ... <7% 持有合同订单 2020 调整 （3） 低压扩散炉 硅片（多晶、单晶）尺寸：156mm* 156... ---摘自《国家支持发展的重大技术装备和产品目录（2018年修订）》

＂，＂氧化/扩散炉＂，＂适用片径：≤200mm；工作温度：500~1200℃；恒温区长度：900mm；氧化层均匀性：±2%；硅片传送：机械手传送＂ ＂8＂,＂85153190＂,＂... ---摘自《不予免税的进口商品目录》

＂65301＂，＂一氧化碳发动机＂ ＂65302＂，＂氢气发动机＂ ＂65303＂，＂甲烷发动... ＂，＂金属加工设备＂ ＂71＂，＂金属切削机床＂ ＂711＂，＂车床＂ ＂71101＂,＂... ---摘自《常见资产国标分类代码》

二氧化碳压缩机 年产量50万吨以上尿素 项目配套用 持有合同订单 2016 调整 （三） 煤化... 扩散炉 硅片（多晶、单晶）尺寸：156mm*156mm 持有合同订单 2018 (6) 单晶/多晶制绒... ---摘自《国家支持发展的重大技术装备和产品目录（2015年修订）》

10、高技术船舶及海洋工程装备 32 11、成形加工装备 40 12、新型大马力农业装备 47 ... 燃煤电站烟气二氧化氮（NOX）集成控制装备 套 脱硝效率≥50%;NOX排放浓度≤100mg/m... ---摘自《附件》

＂氧化/扩散炉＂，＂适用片径：≤200mm；工作温度：500℃~1200℃；恒温区长度：900mm；氧化层均匀性：±2%;＂, ＂8＂,＂8515319084864022＂，＂半自动金（铝）丝焊接... ---摘自《Sheet4》

以利于后面的硅片处理工序加工，是把芯片置于抛光机中，放在旋转的研磨垫上，再加 一定的压力，用抛光液来研磨。 （3）清洗1 硅片在进行氧化前需要先进行清洗，主要分为氢氟... ---摘自《捷捷半导体有限公司年产 90 万片 4 英》

用于处理污水处理站产生的H2S，脱硫床采用以氧化锌为主要活性组份，添加其它促进剂加工而成的脱硫剂，脱硫剂需定期更换，更换频次为3年一次，废脱硫剂产生量为6t/3a(2t/a)... ---摘自《山西拜奥埃森纳新能源有限公司》

氧化/扩散炉 适用片径：≤200mm；工作温度：500~1200℃； 恒温区长度：900mm；氧化层均匀性：±2%； 硅片传送：机械手传送 8 85153190 84864022 半自动金（铝）丝焊接机... ---摘自《附件：》

年来，公司通过自筹资金和争取国家项目支持，在8英寸和12英寸立式扩散炉、 清洗机等集成电路设备研发方面已经取得国内领先地位。未来发展如果不能持续 研发投入，保持目前... ---摘自《北京七星华创电子股份有限公司》

84863010 氧化/扩散炉 适用片径：≤200mm； 工作温 度：500~1200℃； 恒温区长度： 900mm；氧化层均匀性：±2%； 技术规格调整 8 85153190 84864022 半自动金（铝）丝 焊... ---摘自《国内投资项目不予免税的进口商品目录（2008年调整）》

立式加工中心 ؤ MXBN-46VAE 中国 上海大学 上海 19 快速成形仪 RS-450S 中国香港 上海大学 上海 20 全自动样品处理工作台 BIOMEK FX 美国 上海大学 上海 21 激光显0-36 中国 ... ---摘自《工艺实验设备》

氧化/扩散炉 适用片径：≤200mm； 工作温度：500~1200℃恒温区长度：900mm； 氧化层均匀性：±2%硅片传送：机械手传送 8 85153190 85153190 84864022 半自动金（铝 ---摘自《中华人民共和国财政部公告2007年第2号》

氧化扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作... ---摘自《氧化扩散炉》