编辑: 紫甘兰 2019-07-01
七星电子承担的在本文中包括的子项为:300mm 90/65nm 立式氧化 炉/质量流量控制器研发及产业化项目,65nm 超精细清洗设备研制与 产业化项目,45-32nm LPCVD 设备产业化...
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