DOC《上海大学公开邀请招标购置 “激光脉冲沉积系统”的公告》

1、RF150活开门:1套(其上有铰链、锁紧件、RF100观察窗);

4.

2、RF63石英玻璃窗口:2块(可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃,供激光入射使用);

(在窗口内侧增加一块质地相同的石英保护玻璃,方便清洗) 4.

3、RF63红外石英玻璃窗口:1块(透过红外波段JGS3石英玻璃,供红外测温使用);

4.

4、RF63光学玻璃窗口:1块;

4.

5、CF35陶瓷封接引线法兰:1个(照明及内烘烤引线);

4.

6、RF

10、CF

16、CF35盲法兰:各1个;

CF50盲法兰:2个;

4.

7、CF16单芯陶瓷封接引线法兰:1个(高压放电电极);

4.

8、室内进气法兰RF接管D6:1套(其上有RF10双面法兰、铜管、D6卡套、瓷管等)

5、激光束扫描控制系统 1套 二维扫描机械平台,两套步进电机控制,也可手动控制;

6、工作气路 2路6.

1、100SCCM质量流量控制器、充气阀RF

16、管路、接头等:1路(汇博隆) 6.

2、充气阀RF

16、管路、接头等:1路(解除真空充氮气);

6.3.气路加三通一个

7、抽气机组及阀门、管道 1套7.

1、复合分子泵及变频控制电源:1台;

7.

2、直联机械泵:1台;

7.

3、KF25电磁压差阀:1台;

7.

4、分子泵与机械泵软联接金属软管:1套;

7.

5、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀KF35:1套;

7.

6、CF150-B闸板阀:1台(用于分子泵与真空室隔离);

8、安装机台架组件 1套

9、真空测量及电控系统 1套9.

1、电源机柜:1台;

9.

2、总控制电源:1台(为分子泵、机械泵、电磁截止阀、真空计等提供电源,有断电断水保护功能);

9.

3、产生氧等离子体的电离电源:1套;

9.

4、样品加热控温电源:1套(可实现程序控温);

9.

5、步进电机旋转电源:3套;

9.

6、加热烘烤及照明电源:1套;

9.

7、宽量程数显真空计(成都):1套;

9.

8、100SCCM质量流量显示器:1套;

9.

9、激光扫描电源:1套;

9.

10、分子泵控制电源:1套;

10、计算机控制系统 1套

11、备件 1套11.

1、无氧铜密封垫圈及管路 CF16:3个;

CF35:5个;

CF50:1个;

CF150:2个;

￠6mm卡套:4套;

￠6mm不锈钢管:6m;

11.

2、氟橡胶密封圈:￠150mm:1个;

￠125mm:2个;

￠63mm:4个;

11.

3、烘烤带:3条;

11.

4、碘钨灯:5个;

11.

5、样品加热炉丝:1套;

11.

6、￠63mm光学玻璃:1块;

11.

7、小型不锈钢标件M

3、M4:各3个11.

8、￠60mm石墨加热头(表面经SiC涂层)及运行工作配件: 1套11.

9、高温金属加热丝和样品台:1 套11.10 抗氧化基片加热台组件

2 套4. 易损、易耗件清单和价格表 请投标人提供所投设备的备品备件、易损、易耗件清单和价格表,并承诺在质保期后3年内以不高于上述清单价格按招标人不时要求的数量及合理时间向招标人提供该易损件和备品备件. (1). 抗氧化基片加热台组件 基片加热最高温度 1000°C±1°C,由热电偶闭环反馈控制,采用石墨材料作加热器;

(2). 高温金属加热丝和样品台 (3). RF63石英玻璃窗口 (4). 样品托 (5) 靶体转动马达 (6) 加热体电源 二. 投标方资质要求:

1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定.

2、在中华人民共和国境内注册的独立法人且注册资金在人民币100万元(含100万元)以上.

3、投标方必须具有完善的质量管理体系(详细说明).

三、设备报价 1. 报价单位应根据设备需求的规定进行报价,其报价在采购过程中是不可以改变的(除非买方对设备提出新的要求). 2. 报价单位对设备需求中所列的设备进行报价.报价单位可以用技术规格等于或高于同类品种的设备进行报价. 3. 进行报价的设备必须同时附设备图样,主要技术性能、主要技术指标和具体配置的书面资料. 报价以人民币报价.