DOC《上海大学公开邀请招标购置 “激光脉冲沉积系统”的公告》

上海大学公开邀请招标购置 激光脉冲沉积系统 的公告 招标编号:SDSB-09073 根据《中华人民共和国政府采购法》《上海市政府采购招标暂行办法》和《上海大学仪器 设备招、投标管理办法》,上海大学理学院、综合物理实验中心因教学、科研发展需要,现公 开邀请招标采购激光脉冲沉积系统.

设备需求 1. 设备名称: 激光脉冲沉积系统 2. 技术要求: 极限真空度:≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后);

*2.2 系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S;

*2.3 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,20分钟可达到5x10-3 Pa;

2.4 激光入射口到地面的距离为1200mm;

球型真空室尺寸Ф300mm,选用优质不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面进行特殊工艺抛光处理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;

旋转靶台组件 2.6.1 每次可以装四块靶材,靶材尺寸:Φ30mm;

每块靶材可实现自转,转速5~60转/分,连续可调,由步进电机驱动磁力耦合机构控制;

靶位公转换位机构,由步进电机驱动磁耦合机构控制;

靶材屏蔽罩将4块靶材屏蔽,每次只有一个靶材露出溅射成膜,以避免靶材之间的交叉污染;

2.7抗氧化基片加热台组件 基片尺寸:可放置1″基片;

*2.7.2 基片加热最高温度 1000°C±1°C,由热电偶闭环反馈控制,采用石墨材料 作加热器;

2.7.3 基片可连续回转,转速5~60转/分,步进电机驱动磁耦合机构控制;

2.7.4 基片与靶台之间距离30~90mm可调,由腔外手动波纹管调节机构控制;

2.7.5 样品托:在一定时间内保证不变形 2.8 抽气机组及阀门、管道 2.8.1 复合分子泵及变频控制电源抽速600升/秒,北京;

2.8.2 直联机械泵抽速4升/秒,上海;

2.8.3 KF25电磁压差阀,上海;

2.9 安装机台架组件 2.9.1 优质方钢型材(50mm x50mm x4mm)焊接成,快卸围板表面喷塑处理;

机台表面用不锈钢蒙皮装饰;

四只脚轮,可固定,可移动;

2.10 真空测量及电控系统 2.10.1 总控制电源:为分子泵、机械泵、电磁截止阀、真空计等提供电源,有断电断水保护功能;

样品加热控温电源,可实现程序控温;

宽量程数显真空计(成都): 电阻规:1套(1.0x105Pa~1.0x10-1Pa);

电离规:1套(1.0x10-1Pa~1.0x10-5Pa);

*2.11计算机控制系统 由硬件卡、软件组成;

控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫描等;

主机、附件详细清单 系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成;

1、溅射真空室组件 1套 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1.1 RF150法兰接口:1个(接活开门组件);

1.2 RF125法兰接口:2个(接基片样品台组件、靶组件);

1.3 RF63法兰接口:3个(激光入射窗口1个、红外测温窗口、观察窗口);

1.4 RF10法兰接口:3个(1路进气管路、充气阀、备用);

1.5 CF150法兰接口:1个(接分子泵);

1.6 CF50法兰接口:2个(备用);

1.7 CF35法兰接口:3个(接高真空电离规管、照明、备用);

1.8 CF16法兰接口:2个(高压放电电极、备用);

1.9 KF40法兰接口:1个(接旁抽);

1.10 ZC16法兰接口:1个(接低真空电阻规管);

2、旋转靶台组件 1套

3、抗氧化基片加热台组件 1套3.

1、手动控制样品挡板组件:1套;

3.

2、样品托:6个;

4、窗口及法兰接口部件 1套4.