PDF《福州京东方光电科技有限公司》

福州京东方光电科技有限公司 福州第 8.

5 代新型半导体显示器件 生产线项目-铜技术升级改造项目 环境影响报告书(简本) 建设单位:福州京东方光电科技有限公司 评价单位:中国电子工程设计院 二一六年十一月 北京 -

1 -

(一)建设项目概况 1.建设单位概况及项目由来 福州第 8.5 代新型半导体显示器件生产线项目―铜技术升级改造项目(以下简称 本项目 )由福州京东方光电科技有限公司投资建设.福州京东方光电科技有限公司 隶属于京东方科技集团股份有限公司,成立于

2015 年5月13 日,主要从事薄膜晶体管 液晶显示器件相关产品及其配套产品投资建设、研发、生产及销售.

2015 年8月京东方科技集团股份有限公司投资

300 亿元人民币在福建省福清市建 设福州第 8.5 代新型半导体显示器件生产线项目(以下简称 现有工程 ) .该项目由福 州京东方光电科技有限公司负责建设及运营, 已于

2015 年9月11 日取得项目环评批复 (融环保[2015]296 号) ,目前正在建设中,本项目暨为现有工程生产线制程工序的技术 升级改造项目,将铝工艺技术升级改造为铜工艺. 为提高产品品质、优化工艺减少污染,福州京东方光电科技有限公司拟对现有工艺 进行升级改造.本项目实施后,一方面实现低电阻布线,从而攻克向大屏幕化和高精细 化持续发展的液晶电视的技术难题,另一方面,可以减少项目产生和排放的含磷废水, 削减磷排放.改造同时减少硝酸的使用量,从而减少氮氧化物的排放. 2. 现有工程概况 现有工程总投资约

300 亿元,总征地面积 683701m2 ,分为生产区和宿舍区.生产 区总建筑面积 882814.27m2 ,主要建筑物包括阵列厂房、成盒及彩膜厂房、模块厂房、 综合动力站、化学品库、仓库、门卫等.宿舍区总建筑面积 111804.73 m2 ,新建宿舍

18 栋、活动中心

1 栋、餐厅

1 栋.人员总数约为

5959 人. 现有工程加工玻璃基板尺寸

2200 mm*2500mm,阵列玻璃基板加工能力

12 万片/ 月, 彩膜玻璃基板加工能力

12 万片/月, 达到设计产能后可实现年产液晶显示模组

31407 千块. 目前,现有工程的主体工程已建成,处于设备安装阶段,计划于

2017 年3月竣工. 3. 本项目概况 项目名称:福州第 8.5 代新型半导体显示器件生产线项目―铜技术升级改造项目 项目性质:技术改造 建设地点:福建省福清市音西街道、阳下街道,现有第 8.5 代新型半导体显示器件 生产厂房内,见图 1. -

2 - 项目总投资:67091 万元. 建设规模及内容: 将现有工程生产线的铝工艺技术升级改造为铜工艺. 更换现有工 程铝工艺的金属靶材溅射设备、湿刻设备的内部结构件,实现技术升级改造,其辅助设 施相应进行适应性设计调整,与现有工程同步实施.技术改造后,生产规模不变,不新 增劳动定员. 本项目铜技术升级改造利用原有建筑,依托现有生产辅助设施、环保设施、动力系 统等,进行适应性改造.技术改造所涉及的建筑为

1 号阵列厂房、4 号化学品车间、6 号废水站.升级改造的工艺设备需要相应新增 Cu 刻蚀液和 Cu 靶材,替代 Al 刻蚀液、 Al 靶材、Mo 靶材;

新增 Cu 刻蚀液存贮罐、Cu 刻蚀液配送系统,同时,新增一套含铜 废水处理系统,相应减少现有工程含磷废水处理量. 建设周期:本项目计划于

2017 年3月开始实施,于2019 年12 月完成全铜技术升 级改造.

(二)建设项目周围环境现状 1.建设项目所在地的环境现状 本项目建设地点为福建省福州市福清市音西街道、阳下街道,现有第 8.5 代新型半 导体显示器件生产厂房内,现状为施工工地,具体位置及厂区周边情况如下: 东至规划福俱大道,路东为虎溪;

南至规划洪智路,路南为光电园配套商业及教育用地;

西至规划福百大道,路西为光电园配套二类居住用地及现状苍下口村;

北至规划京东方北路,路北为龙溪. 2.建设项目影响评价范围 大气环境评价范围: 以本项目为中心, 直径 5km 的圆形区域, 评价面积 19.625km2 . 地表水环境评价范围: 本项目建成后以生产废水经厂区污水处理站, 生活污水经化 粪池、隔油池处理后,污水排入园区污水管网,最终排入福清融元污水处理厂,此次评 价仅对项目污水总排口水污染物达标排放及排入福清市融元污水处理厂的可行性进行 分析进行评价. 地下水评价范围:结合地下水流向(从东南流向西北)和可能造成的地下水污染范 围,本项目所在的场址及周围区域,面积约 6km2 . 声环境评价范围:本项目厂界外 200m. -

3 - 风险评价范围:为以危险源为中心的半径 5km 范围,评价面积不小于 78.5km2 . 3. 评价范围内的环境保护目标分布情况 本项目评价范围内的环境保护目标见表 1,分布见图 2. 表1本项目环境保护目标统计表 名称 序号 街道 行政村 自然村 环境保护级别

1 芦山

2 洋中厝

3 西埔头

4 油行

5 北南中

6 北林村

7 1 北林村 前亭

8 油林

9 2 油林村 油楼村

10 奎岭村

11 阳下街道

3 奎岭村 中恒首府 大气环境:二级

12 底黄塘

13 苍下口 大气环境:二级 声环境:1 类14 黄塘

15 外黄塘

16 4 马山村 马山村

17 杨厝

18 5 音西村 孔底

19 珠洋 大气环境:二级

20 前埔

21 山埔

22 上黄厝

23 6 瑶峰村 瑶峰村

24 7 文楼村 文楼村

25 龙溪村

26 围子底

27 埔楼

28 后垄子 大气环境:二级

29 音西街道

8 龙溪村 洋中 大气环境:二级 声环境:1 类-4-名称 序号 街道 行政村 自然村 环境保护级别

30 山前

31 溪下

32 古路

33 9 埔尾村 埔尾村

34 芦院村

35 10 芦院村 下洋 大气环境:二级

36 龙溪

37 虎溪 地表水:Ⅱ类-5-图1地理位置图 福州京东方光电科技有限公司 第8.5 代新型半导体显示器件生产线项目-铜技术升级改造项目 北-6-图2评价范围及环境保护目标示意图 -

7 -

(三)环境影响预测及污染治理措施 1.环境质量标准 (1)环境空气质量标准 环境空气质量采用国家《环境空气质量标准》 (GB3095-2012)中二级标准. (2)水环境质量标准 ①地表水质量标准: 本项目所涉及区域内主要河流为龙溪、 虎溪均为龙江的 支流,根据《福州市水功能区划》 (榕政办[2013]104 号) ,本项目所在地地表水 执行国家标准《地表水环境质量标准》 (GB3838-2002)中的Ⅲ类标准. ② 地下水质量标准:地下水质量应执行《地下水质量标准》(GB/T14848-1993)中Ⅲ类标准. (3)声环境质量标准 本项目所在区域声环境功能区划为

3 类区,执行《声环境质量标准》 (GB3096-2008)中3类标准.福俱大道、福百大道为主干路,洪智路为次干路, 道路两侧 20m 执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)中4a 类标准. 2. 污染物排放标准 (1)大气污染物排放标准 ①生产废气:本项目涉及的酸性废气主要污染物为氟化物、氮氧化物,污染 物排放执行《大气污染物综合排放标准》 (GB 16297-1996)中 表2新污染源大 气污染排放限值中的二级标准 ;

磷酸雾、硝酸雾参照执行北京市地方标准《大 气污染物综合排放标准》 (DB11/501-2007)II 时段标准. ②燃气锅炉房废气: 国家标准 《锅炉大气污染物排放标准》 (GB13271-2014) 中燃气锅炉的规定. ③油烟废气:饮食业油烟排放执行《饮食业油烟排放标准(试行) 》 (GB18483-2001) .本项目食堂为大型规模饮食业单位,最高允许排放浓度 2mg/m3 ,净化设施最低去除效率 85%. ④废水站臭气: 废水处理站有生物处理工艺, 废水处理站运行期间恶臭气体 排放执行《恶臭污染物排放标准》 (GB14554-93)表2标准,厂界执行《恶臭污 染物排放标准》 (GB14554-93)表1标准. (2)水污染物排放标准 本项目废水排放执行国家标准《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)中三 -

8 - 级标准限值及《污水排入城镇下水道水质标准》(CJ343-2010)B 等级. (3)噪声排放标准 噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》 (GB12348-2008)3 类;

临福百大道、 福俱大道、 洪智路厂界执行 《工业企业厂界环境噪声排放标准》 (GB12348-2008)4 类标准 (4)固体废物 危险废物贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》 (GB18597-2001) ;

一般 工业固体废物贮存、处置执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》 (GB18599-2001) . 3.工程污染源分析及治理措施 根据工程分析,本项目为工业项目,建成后产生的污染源为废气、废水、噪 声及固体废物,通过采用相应治理措施后均能达标排放. 3.1 施工期污染源分析结论 本项目为技改项目,所以改造工程均在现有厂房内进行,不进行土建施工. 因此施工期污染主要是设备运输过程产生的扬尘及噪声污染. 通过合理选择运输 路线等措施,减少运输过程对周边环境的影响. 3.2 营运期污染源分析结论 (1)大气污染物治理措施及排放情况 现有工程产生的废气主要为生产废气、锅炉废气、废水处理站臭气、食堂油 烟废气.本项目技改完成后,主要变化如下: 本项目技改工程完成后,生产废气均依托现有废气收集管网及废气处理设 施.阵列工程技改工程完成后,由铜刻蚀工序替代部分铝刻蚀工序,根据刻蚀液 的变更情况,刻蚀工序产生的酸性废气的污染物种类新增氟化物,废气产生量不 变,氮氧化物排放量变小.其他生产废气不变. (2)水污染物治理措施及排放情况 现有工程产生的废水主要有生产区废水和宿舍区生活废水, 宿舍区生活污水 排放总量为 675m3 /d,不变. 生产区废水分为生产废水和生活废水,技改完成后,生产废水排放量为

23002 m3 /d(减少

1308 m3 /d) ;

技改工程不增加人员,生活污水排放量不变,仍为350 m3 /d. -

9 - 本次技改只涉及阵列工程的刻蚀工序, 因此其他工程和工序产生的废水种类 和水量不变.由于 Cu 刻蚀工艺替代部分 Al 刻蚀工艺,因此新增含铜废水、减 少含磷废水排放量;

含铜废水、含磷废水处理后均排入有机废水处理系统,废水 污染物增加 Cu2+ . 本次技改增加的含铜废水来自阵列工程铜刻蚀工序产生的废水, 即使用刻蚀 液将沉积在面板上的铜进行刻蚀及清洗过程中产生的废水;

主要污染物为 Cu2+ 、 CODCr、BOD

5、SS、氨氮.排放量为 3034m3 /d,连续排放.本项目新建含铜废 水处理系统

1 套,处理能力 3300m3 /d,含铜废水采用化学沉淀法处理处理后的 水进入有机废水处理系统,经生化处理后达标排放. 本项目废水排放依托现有工程的废水处理设施、废水管网及污水排放口,生 产废水经生产废水处理系统处理达标后,经厂区现有生产废水排放口,排放口位 于6号废水处理站东侧,污水经市政污水管网,最终排入福清融元污水处理厂. (3)噪声污染物源强及治理措施 本项目铜技术升级改造,6 号废水处理站内增加

1 套含铜废水处理装置,因 此增加废水泵

3 台. 厂区内噪声源不变,主要有冷冻机组、空气压缩机、风机、热水锅炉、水泵 等动力设备以及宿舍区油烟风机,通过采取合理布局,选用低噪声环保型设备等 降低源强,并采取建筑隔声、减震、消声、吸声等治理措施. (4)固体废弃物处置措施及排放情况 本项目铜技术升级改造工程产生的固体废物包括一般工业废物和危险废物. 本项目技改完成后,一般工业固体废物中,由于减少铝刻蚀工艺,含磷废水排放 量减少,因此含磷污泥量减少.排入有机废水处理系统的水量减少,因此有机污 泥量减少.其他一般固废的产生量及处置方式不变.危险废物中,由于减少铝刻 蚀工艺,减少废铝刻蚀液;

新增含铜污泥,暂存在废水处理站,交由有资质单位 负责处理.其他危险废物的产生量及处置方式不变. 4.营运期环境影响预测与评价结论 (1)大气环境预测评价结果 根据分析,本项目技改完成后,阵列工程产生的酸性废气经收集处理后,所 排放的污染物均能满足国家标准《大气污染物综合排放标准》 (GB 16297-1996) 中 表2新污染源大气污染排放限值中的二级标准限值要求. -

10 - (2)地表水环境影响分析结果 生产废水分类收集经污水处理站处理能满足国家标准《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)中三级及《污水排入城镇下水道水质标准》 (CJ343-2010)B 等 级标准限值要求. (3)地下水环境影响分析结果 现有工程使用市政自来水,不取用地下水;

所产生的生产、生活污水均分类 收集处理能保证污水排入市政污水管网;

化粪池、 隔油池、 废水站、 资源回收站、 柴油储罐、综合动力站、化........