PDF《(4)薄膜晶体管液晶显示器件生产企业进口生产设备清单》

序号 工序 设备分类 设备名称 英文名称 (供参考)

1 等离子增强化学气相淀积设备/化学气相沉积 机/等离子加强气相沉积设备/化学气相成膜 装置 PECVD/CVD/Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

2 常压化学气相淀积设备 APCVD

3 溅射机(装置)/真空金属溅镀机/金属/金属氧 化物/铟锡氧化物成膜装置 Sputter/Metal Sputter/ITO Sputter/Metal/IGZO/ITO Sputter Equipment

4 离子注入机/离子植入机 Ion implant/Implanter

5 特殊尾气处理装置/废气处理机/ CVD制程残 气处理机/燃烧式尾气处理设备/无膜机CVD制 程残气处理机 Gas Treatment Equipment/scrubber/Combustion type waste gas abatement equipment/Gas scrubber system

6 涂胶显影机(装置) Track/Coater Developer Equipment/Coater

7 涂胶机 Pre Coater/Coater

8 显影机 Developer

9 显像液供给再生设备/显影液再生系统设备/ 显影液循环系统/显影液稀释再生管理装置 Developer Recycle System/TMAH developer dilution equipment/TMAH developer dilution recycle management equipment

10 浓度管理设备(装置)/显影液浓度管理装置/ 现地供应系统 Developer Control System/Developer Management Equipment

11 玻璃温控机/曝光前基板温度安定装置/贴合 前温度调节装置 Temperature Control Unit/Before Exposure Temperature Control Unit/Pre-bonding Temperature Regulating Equipment

12 紫外光固化装置/I线紫外线处理系统/紫外线 曝光机 UV Cure Equipment/IUV system/I- UV

13 曝光机(一次/分步)/曝光机(装置)/阵列 曝光机 Exposure System/Scanner Exposure/Exposure System (Equipment)/Array Exposure/Exposure

14 周边曝光&

印字曝光机/打标机/边缘曝光机/ 边缘打码曝光系统/周边曝光机(装置) Titler &

Edge Expo.

/Titler/Edge exposure/Array Tilter with Edge Exposure/Edge exposure/EXPOSURE- EDGE(equipment)/Edge Exposure Equipment

15 软X射线静电消除器/X射线静电消除器 Photo Ionizer/Ionizer

16 湿法刻蚀机(装置)/阵列湿法刻蚀机/化学 湿法蚀刻机 Wet Etcher(Equipment)/Array Wet Etcherr

17 干刻蚀机(装置)(CDE/RIE/PE)/干刻灰化机 台/干法刻蚀机 Dry Etcher/Dry Asher 阵列 成膜设备 光刻系统 曝光装置 刻蚀/去胶 设备 (4)薄膜晶体管液晶显示器件生产企业进口生产设备清单 (用于确定维修所需进口的零部件免税范围) 序号 工序 设备分类 设备名称 英文名称 (供参考)

18 EPD终点探测系统/EPD终点探测机(设备)/ 终点检测仪 EPD System

19 剥离装置/剥离机/湿式剥离机 Stripper/Wet Stripper/Resist Stripper Equipment

20 退火炉/快速退火炉/烘干炉/烧结炉装置 Anneal M/C/Oven equipment/Anneal oven

21 退火处理机/快速退火处理机 DL Anneal/Rapid Thermal Anneal

22 激光退火机 Excimer Laser Anneal /ELA

23 预处理装置 Pre-Compaction System

24 激光化学气相沉积修补机(设备)/配线修正 装置/激光化学成膜机 Laser CVD Repair/Array CVD Repair/Laser CVD Repair Equipment

25 激光修补机/激光修补机-CF Laser Repair

26 切割修复机/激光切割修复机/激光修复仪 Array Cut Repair

27 阵列研磨修复机 Array tape repair

28 化学气相淀积修复机 Array CVD Repair

29 光刻胶激光修正装置 Photoresist Laser Repair Equipment

30 异物研磨装置 Grinding Repair Equipment

31 曝光设备 激光打标机/激光打码机(装置) Laser Mark System/Laser Mark

32 配向膜印刷机(装置) PI Coater

33 配向膜固化机(装置)/配向膜硬化机/配向 膜硬化炉/配向烘烤装置 PI MainCure/PI Maincure Ove/PI Oven Equipment

34 蒸发测量仪 Steam Tester

35 取向膜传送机 PI Transfer M/C

36 配向膜喷涂机/配向膜列印机/配向膜涂布机 PI Inkjet/PI Inkjet Printer

37 摩擦设备/配向膜摩擦机/摩擦机 Rubbing Machine/Rubbing

38 布毛自动检查机/摩擦后自动光学检查机 Rubbing Cloth Inspection/Rubbing AOI

39 紫外光配向 设备 紫外光配向设备(装置)/配向膜光配向机 UV/A/Ultraviolet-Light Alignment Equipment/PI Photo Alignment

40 垫料固着设备/隔垫物固化机 Spacer Cure

41 自动除泡机/加压脱泡装置 Auto Clave/Autoclave Equipment

42 边框胶涂布机(装置) Seal Dispenser Equipment

43 银胶涂布/银胶涂布机 Ag Dispenser

44 液晶滴下/液晶滴下机(装置) LC Dispenser(Equipment)

45 对盒机/成盒对位检查机 cell aligner

46 真空贴合机(装置) Vacuum Aligner(Assembly Equipment)

47 本硬化炉/框胶热固化装置/配向膜预烘烤炉/ 摩擦工艺清洗后烘干炉/配向膜固化机 Heat Cure/Vacuum Pressure Oven/PI Precure Oven/PI Maincure oven/ARC OVEN/Heat Cure/PI Precure/ODF Oven Equipment

48 UV硬化/UV硬化机/紫外光固化装置/紫外线固 化机/紫外线硬化机 UV Cure/Seal UV Cure/UV Cure Equipment

49 枚叶式真空脱气装置 Slot Type Degassing 阵列 取向膜印刷 设备 摩擦设备 成盒及液晶 注入设备 退火设备类 返修设备 刻蚀/去胶 设备 成盒 序号 工序 设备分类 设备名称 英文名称 (供参考)

50 倒角装置 倒角装置/倒角机/磨边机/玻璃边缘研磨机/ 端子研磨装置 Edge Grinder/After Cell Cutting Beveling/Panel Edge Grinding Equipment

51 偏光板贴付机(装置)/偏光片高精贴付机 Pol Attacher/Polarizer Attachment Equipment

52 装卸机(装置) LD/ULD ROBOT

53 偏贴开捆/偏贴捆包装置 POL unpacking / packing equipment

54 偏光板卸料/面取卸料/偏光板卸料装置/装载 机Pol Loader/UNLOADER/Pol Loader

55 半自动偏光板贴附机(装置)/偏光板贴片机 /偏光片贴附机 Pol Attacher

56 偏光板剪切机 Pol Cutting

57 偏光板贴附脱泡机/重工偏光板贴附脱泡机 Polarizer Attach Auto Clave/Rework Polarizer Attach Auto Clave

58 偏光板剥离机(装置)/偏光片返修机/偏光 板重工装置 Pol Repair/Polarizer Attachment Rework Equipment/Pol Remove Equipment/PREM

59 激光短路环切割机/快速线切割机 laser short ring cutter

60 激光修复仪/修复机/激光/黑化/碳化修正装 置Cell Laser Repair/Repair/Laser /DM/BM Repair Equipment

61 保管炉(老化炉)/老化机/烘烤炉装置/老化 装置 Aging Oven/Oven/AGING CHARMBER SYSTEM/Multi Aging System

62 电极边维修系统 Pad repair system

63 液晶面板成盒修复机/CELL修复机 Cell Repair

64 液晶脱泡机(装置) LC Evaporator/LC Debubbler

65 边框胶脱泡搅拌机/框胶脱泡充填装置/边框 胶脱泡机 Sealant Evaporation/Seal Degas Machine/Seal Mix and Charge Equipment

66 静电监测系统/静电监测仪 Static Monitoring Sys

67 离子发生器(风扇型/X射线型)/X射线除静电 器Ionizer(Blower/X-ray)/X-RAY Ionizer

68 静电平衡测量仪 ESD Balance Measurement

69 激光焊切机/激光划痕机 Laser trimmer

70 切割机/成型机/玻璃基板切割机/异形切割机 /单片切断装置(划片机) Scriber/CELL Cutting Scriber/CELL Pre Cutting Scriber/Special Cutting Scriber/Glass Scribing Equipment /Breaker

71 ACF输入输出粘贴设备(装置)/异方性导电 膜贴附设备(装置) ACF Attacher/A........