PDF《建设项目环境影响报告表》

2、项目概况 项目名称:苏州汉骅半导体有限公司 半导体外延片 研发项目 建设单位:苏州汉骅半导体有限公司 建设地点:苏州工业园区长阳街

259 号 建设性质:新建 总投资:1428 万元,其中环保投资

300 万元. 项目周围环境概况: 本次项目租赁苏州工业园区长阳街

259 号达亮电子 B 栋厂房, 属 于工业用地;

项目地北侧为钟园路;

南侧为空地;

西面为 3M 材料技术公司;

东面为大金 医疗科技(苏州)有限公司. 劳动定员及生产班制:本项目劳动定员

12 人,工作时间

8 小时,年工作

260 天,年 工作时间

2080 小时;

餐食外送.

3、产品方案 本项目产品方案详见表 1-2. 表1-2 本项目产品方案 序号 项目名称 产品名称 设计能力 (片/年) 规格 年运行时数 (h)

1 苏州汉骅半导体有 限公司 半导体外 延片 研发项目 碳化硅衬底氮化镓外延片

350 4 寸2080

2 硅衬底氮化镓外延测试片

75 3 蓝宝石衬底氮化镓外延测试片

75 外延产品的性能指标: 室温下 2DEG 浓度:>

8x1012 cm-2 ;

室温下 2DEG 迁移率:>

1500 cm2 /vs 缓冲层漏电:无;

5铝组分片内不均匀性:<

5% 表面粗糙度 <

0.5 nm;

方块电阻率:>

250 Ohm/sq.

4、主要原辅材料及设备 本项目主要原辅材料情况详见表 1-3. 表1-3 项目主要原辅材料消耗情况一览表 保密 本项目主要原辅材料理化性质及其危险特性见表 1-4. 表1-4 项目原辅材料理化性质及危险特性 名称 理化特性 燃烧爆炸性 毒性毒理 三甲基 镓 外观:液体;

初沸点和沸程(℃):56;

熔点/凝固点(℃):-16;

相 对密度(水=1):1.15 暴露在空气中会自 燃/三甲基 铝 外观: 无色透明液体;

初沸点和沸程(℃): 126;

熔点/凝固点(℃): 15.4;

相对密度(水=1):0.743(30℃);

闪点(闭杯,℃):-18.33 暴露在空气中会自 燃/三甲基 铟 分子量:159.9;

熔点: 89℃;

沸点: 135.8℃;

液体密度(10℃): 1568kg/m3;

蒸气压(30℃):0.960kPa (70℃): 9.60kPa;

三甲基 铟在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶. 遇 冷水部分水解放出甲烷气体.它与己烷、庚烷等脂肪族饱和烃, 甲苯、 二甲苯等芳香族烃以任意比例相溶. 空气中自燃. 与AsH

3、 PH

3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物.与具有活 性氢的醇类、酸类进行激烈反应.与甲基醚、三甲基磷烷、三甲 基砷烷等作用形成配位化合物, 但是其稳定性比镓差. 光照易引 起三甲基铟的分解,长期保存时需要存放在阴凉干燥之处. / / 二茂镁 白色晶体.熔点 176℃.在100℃时升华. 在空气中易自燃 / 二茂铁 橙色针状结晶性固体, 具有樟脑的气味. 沸点 249℃, 熔点 173~ 174℃,溶于石油醚、醇、醚、苯、稀硝酸、浓硫酸,不溶于水. / LD50 大鼠 经口 1000mg/kg 或1320 mg/kg,腹腔注射

500 mg/kg 氢气 无色无臭气体,沸点-252.8℃, 饱和蒸气压 13.33kPa/ (-257.9℃) , 熔点-259.2℃,相对密度 0.07/-252℃,蒸气相对密度 0.07,不溶 于水,不溶于乙醇、乙醚. 引燃温度 400℃, 爆炸极限 4.1~ 74.1%. / 氨气 无色气体,具刺鼻臭味.沸点-33.35℃,蒸气压

1003 kPa/25℃, 或10 大气压/25.7℃, 也有报导为 7510mmHg/25℃, 熔点-77.7℃, 相对密度 0.682/-33.4℃,蒸气相对密度 0.59,溶于甲醇、乙醇、 氯仿及乙醚,水中溶解度 482000mg/L/25℃,531000mg/L/20℃, 溶于水形成碱性溶液,嗅阈值 水中 1.5mg/L,空气 5.2 uL/L, 空气中识别值 46.8ppm 或低值 0.0266 mg/m3, 高值 39.60 mg/m3, 刺激浓度 72.00 mg/m3. 自燃点 651℃,爆 炸极限 16~25%. LC50 大鼠吸入