编辑: ok2015 2013-07-18

3 工程内容及规模(不够时可附另页)

1、项目由来 苏州汉骅半导体有限公司成立于

2017 年11 月13 日,公司类型为有限责任公司(中 外合资),注册地址在苏州工业园区金鸡湖大道

99 号苏州纳米城西北区

11 幢303 室,注 册资本

1000 万人民币.公司经营范围为研发、生产、销售:半导体、电子材料、电子产 品,并提供相关技术咨询、技术服务;

研发、销售:软件,并提供相关技术咨询、技术服 务;

销售:机械设备;

从事上述商品及技术的进出口业务. 5G 无线通讯技术的研究, 抢占 5G 研究的战略制高点, 对我国在未来的移动互联网大 潮中占据领先优势起着至关重要的影响.目前包括欧盟 METIS、中国 IMT-2020(5G)推进 组、韩国 5G 论坛、日本 ARIB 等5G 研究组织已经开始在 5G 通讯的远景与需求、关键技 术、标准化和通讯频谱等方面进行了大量前瞻性研究.毫米波、小基站、Massive MIMO、 全双工以及波束成形技术已经较一致的被认为是实现 5G 通讯的基石技术.毫米波技术是 指在 30GHz 和300GHz 之间的频率进行信息传输的技术中, 而5G 通讯的毫米波频率通常 指的是 24GHz 到100GHz 之间.在这一频率区间,氮化镓将成为最适合功率放大器的材 料,尤其在 28GHz 以上的频谱.因为毫米波的功率要求非常高,氮化镓材料拥有小体积、 大功率的特性,能够提供更高的功率密度,从而带来一系列的优点,包括更小的器件和电 路尺寸,更低的功耗,以及更高的系统效率.外延技术与产品是氮化镓射频技术的重要基 础,相当一部分的射频技术创新与射频产品的性能提升都来自于外延创新.氮化镓外延产 品的各项指标与最后射频器件与电路的性能紧密相关,外延的内部应力控制,应力分配, 表面处理等更是影响氮化镓器件可靠性的重要因素.氮化镓射频技术的发展趋势,包括本 项目的产品经济性能指标及功能用途,都需要对外延的结构与设计进行革新. 本项目中采用的 MOCVD 是以Ⅲ族元素的有机化合物和 V 族元素的氢化物等作为晶 体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种化合物半导体以及它 们的多元固溶体的薄层单晶材料.随着氮化镓半导体器件市场的不断扩大,MOCVD 系统 的需求量不断增长. 德国 Aixtron 公司是国际上实力最为雄厚的 MOCVD 系统制造商之一. AIXTRON 共有

3 个尖端的研发实验室,分别设于德国黑措根拉特、英国剑桥和美国桑尼 维尔市.本项目的实施过程中将与其实验室紧密合作,得到其先进系统的支持,为本项目 开发新制程、材料和生产提供条件. 苏州汉骅半导体有限公司半导体外延片研发项目由 YIKONG NICOLE YUAN、江苏 省产业技术研究院有限公司及苏州工业园区融睿产业股权投资中心(有限合伙)共同出资

4 建设,项目总投资

1428 万元人民币,租赁苏州工业园区长阳街

259 号厂房建设研发实验 室,建成后可年研发

4 寸外延片约

500 片. 为科学、客观地评价项目对环境所造成的影响,按照《中华人民共和国环境保护法》、 《中华人民共和国环境影响评价法》及国务院第

253 号令《建设项目环境保护管理条例》 规定,根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》和江苏省有关环境保护的规定,项目 属于

107、专业实验室(其他) 中的报告表类别项目,从环保角度论证建设项目的可 行性.为此,苏州汉骅半导体有限公司委托苏州市环科环保技术发展有限公司对项目进行 环境影响评价工作.我单位受委托后,立即对本项目周围进行实地踏勘,并对该区域周围 环境进行了调查分析,编写了本项目环境影响报告表.

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