PDF《业清洗与表面处理设备产业化项目环境影响 评价文件审批决定...》

沈阳市生态环境局浑南分局关于

2019 年6月4日做出工 业清洗与表面处理设备产业化项目环境影响 评价文件审批决定的公告 根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审查,

2019 年6月4日我局对

1 个建设项目环境影响评价文件做出审 批决定.

现将做出审批决定予以公告,公告期为

2019 年6月4日至

2019 年6月10 日(7 日) 行政复议与行政诉讼权利告知:依据《中华人民共和国行 政复议法》和《中华人民共和国行政诉讼法》,公民、法人或 者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定侵 犯其合法权益的,可以自公告期限届满之日起六十日内提起行 政复议, 也可以自公告期限届满之日起六个月内提起行政诉讼. 联系

电话: 024-24263893 024-24263893(传真)邮编

110168 联系地址:沈阳市浑南区银卡东路

8 号,沈阳市浑南区政 务服务中心一楼环保窗口 序号 文件名称 文号 发文时间

1 高端晶圆处理设备研发中心项目 沈环浑南审字(2019)22 号2019 年6月4日关于高端晶圆处理设备研发中心项目 环境影响报告表批复意见 沈阳芯源微电子设备股份有限公司: 你单位报送的《高端晶圆处理设备研发中心项目环境影响 报告表》收悉,依据此项目环境影响报告表及相关申请材料, 经研究,现对《高端晶圆处理设备研发中心项目环境影响报告 表》(以下简称"报告表")批复如下:

一、本项目符合国家产业政策和浑南高端晶圆处理设备研 发中心项目位于沈阳市浑南新区飞云路

16 号 ,本项目总占地 面积

1040 平方米,本项目利用现有场地,通过购置先进的研究 设备、实验设备和测试检验设备进行软硬件升级,进行高端晶 圆处理设备的研发.项目总投资

15000 万元,其中环保投资

19 万元,所占比例为 0.13%.区总体规划要求,在切实落实环境 影响报告表提出的环境保护措施后,从环境保护角度分析,同 意本项目按照环境影响报告表规定的性质、规模、地点和布局 及环境保护措施进行建设,本项目若性质、规模等发生变化, 需重新报批环评手续.

二、本项目供电依托市政;

冬季供暖、夏季制冷依托厂区 内现有的

1 套水源热泵系统.

三、项目建设和生产应重点做好如下工作: 1.本项目生产过程产生的有机废气(以非甲烷总烃计)经 集气装置收集后,分别经

2 套活性炭吸附装置吸附后,再分别 通过

2 根15 米高排气筒排放;

本项目生产过程产生的酸性气体 和碱性废气经集气装置收集,分别经

2 套水洗塔处理后,再分 别通过

2 根15 米高排气筒排放. 2.本项目员工生活污水、软化水制备浓水、纯水制备浓水、 水洗塔废水经酸碱中和处理后,一同排入现有防渗化粪池后排 入市政污水管网,最终排入浑南桃仙污水处理厂. 3.项目生产过程中产生的废化学试剂包装物、 废有机试剂、 废抹布、酸性清洗废液、碱性清洗废液、废活性炭属于危险废 物,收集后暂存于危险废物暂存间内,危废暂存间应符合相关 规定要求,并定期委托有资质单位进行处置.本项目生产过程 中产生的废包装物、废电线路为一般性固体废物,统一收集后 外售.生活垃圾分类收集暂存,由环卫部门统一清运. 4.项目安装的产噪设备、设施,均应设置在密闭空间内, 且合理布局产噪设备、设施的位置,且采取有效地减震降噪措 施,确保噪声排放达到噪声功能区限值要求. 5.项目运行后,应做好各污染治理设施的运行维护工作, 确保污染物达标排放. 6.应加强环境应急管理工作, 制定突发环境事件应急预案, 做好应急物资的贮备,定期开展应急预案的演练,提升职工应 对事故的能力.加强化学品存储区的贮存管理,防止渗漏现象 及火灾、化学爆炸的发生,并设专人管理.