PDF《YZD08—10C 型》

YZD08―10C 型 小型等离子清洗机技术使用说明书 小型等离子清洗机泛指容积在

10 升以下,射频电源功率在

500 瓦以下的等离子 清洗机.

根据不同的清洗和处理要求,又以射频频率划分为 40KHz, 13.56MHz 和2.54GHz 三种.相比较而言,工作在 40KHz 射频频率时,其匹配简单,所提 供的射频电源效率高,故常规的材料处理和清洗应用中较为普及.

一、小型等离子清洗机的基本结构

1、射频电源部分:射频源,射频调节,功率放大,功率调节,功率输出,输出 保护,等离子电极,温度保护.

2、系统控制部分:数字自控,I/O 控制,真空度 A/D 检测,脉宽比例 D/A 调节, 参数记忆,时钟设定.

3、真空与气路部分:真空系统,外加气体,流量调节,回气与管路 图1.YZD08―10C 型等离子清洗机(放电前) 对于小型等离子清洗机而言,由于射频功率较小,其射频电源与控制都组装在一 个机箱内,一是减少空间的占用,二是便于操作和放置,同时与大型清洗机相比 较,从检测功能与控制功能的设置上尽量简练.图1为小型机外形. _图2. YZD08-10C 型等离子清洗机(放电后) 图3. YZD08-10C 型等离子清洗机(人机界面)

二、小型等离子清洗机的工作流程和技术条件 系统在满足设定真空度的条件下,启动射频源工作,产生 40KHz 的射频脉冲, 经过功率放大送到输出级,输出级的作用有三点:一是隔离,二是升压,三是匹 配,使具有足够能量的射频脉冲去激发高压极板产生等离子. 功率大小的控制与调节可在系统中进行数字设置,也可通过手动调节.实质上功 率的调节是由改变射频脉冲宽度来实现的, 图4和图

5 两个射频脉冲坐标示意图 很形象的说明了功率调节的原理. ____ _我们这里所说的理想情况下的射频脉冲输出,是不考虑器件和磁性材料的损耗 而表示的,实际的射频脉冲波形都是有一定畸变的,但当畸变程度过大时,就会 使输出的有效功率大大降低,不仅不能正常产生等离子,而且还会烧毁设备.另 外过多谐波脉冲分量也会造成射频效率的降低, 使设备不能正常工作, 甚至烧毁. 因此等离子清洗机对射频电源的技术要求是很高的.

三、设备的通用技术参数 ____ YZD08-10C 型是单路气体输入, *供电电源: AC220V *工作电流: 整机工作电流不大于 1.2A(不含真空泵) *射频电源功率: 200-500W *射频频率: 40KHZ(偏移量小于 0.2KHz) *频率偏移量: 小于 0.2KHz *特性阻抗:

50 欧姆,自动匹配 *真空度: 30Pa―100Pa *气体流量: 10―100ml/min(可调) *过程控制: MCU 自动与手动方式 清洗时间: 1-6000 秒钟可调 功率大小 10%-100%可调 内腔尺寸 200mm*200mm*260mm *外形尺寸: YZD08-10C 型_650*520*500 *重量: 45Kg *真空泵: 2XZ-6 *真空室温度: 小于 65°C *冷却方式: 强制风冷

四、操作与使用 1.控制面板按键按钮说明 a. 绿色按钮 启动开关(自动模式) b. 旋转按钮 功率微调按钮 c. 气体旋钮 气体调节按钮 d. 红色按钮(小) 停止按钮 e. 红色按钮(大) 电源开关(紧急停止按钮) 2.初始安装 线路连接示意图 初始安装时,遵循下列步骤: 第一步连接好等离子清洗机与真空泵之间的真空管路,紧固好 O 型卡和锁紧帽,做 到连接处密封且不漏气. 第二步接通供电电源和真空泵电源,在此之前检查所有按钮必须处于复位状态, 同时检查所供电源插座的 L、N、E 的接线是否与机箱后的 AC220V 输入插 头相一致,以免发生危险动作. 第三步第一次开机前,先取出托载盘(专指不锈钢内置仓体机,而对于外置石英 玻璃仓体则绝不允许撤出托载盘),合闭仓门,此时会听到仓门限位开关 发出动作声音,此音响表明允许后续的处理操作能正常进行. 第四步按下红色按钮开关,开关上指示灯亮;

按下触摸屏上的手动开启,真空泵 绿色按钮,并轻推舱门(检查能否正常感应)启动真空泵,进入抽真空状 态. 第五步第一次开机抽真空时间应持续 15-20 分钟且不做其他操作,目的是去潮除 湿,同时检查是否有漏气部位:听漏气声响;

看真空泵软管接口气泡;

检 查仓门是否接触良好, 可进入主控画面确定;

检查真空泵油位是否正常 (油 位观察处 2/3 为正常)若无上述状况即为正常,或观察真空表指针是否已 超过―0.1Mpa. 第六步完成上述步骤后,关闭真空泵,按下红色按钮,回气使仓体恢复常压.打 开仓门,送入托载盘,做好常规使用的准备. 3.机器操作指引及说明(2L、5L、10L 系同一操作系统) 1).第一次使用或间隔半个月未使用的情况下需按以下步骤操作.重要 (1).人机界面开启后,选择"手动画面"进入手动操作. (2).进入手动画面,点击"手动关闭"切换到"手动开启" .注:手动关闭状态下,右排 三个功能会锁定. (3)."手动开启"后,选择"真空泵开",抽气 15-20 分钟(抽出腔体里面的 湿气),然后"清洗开启";

进行辉光放电测试. (4).测试完成后先关闭清洗然后再关闭真空泵,下一步选择"大气阀开启", 大约

60 秒腔门会自动打开,进入自动状态前,需"手动关闭"后,主控画面才 会会处于"自动状态",点击下一页进入主界面. 2).自动操作指引 (1).进入主界面后选择"主控画面"进入自动操作界面(显示自动状态). (2). 关好舱门(界面会提示示),然后点击"启动";

真空泵自动打开. (3).启动后,等待"延时打开电源"时间,机器会自动进入清洗状态;

延时打 开电源时间一般为

60 秒.清洗完成,大气阀开始放气,舱门会自动打开. 注:周期时间设定:只作为顺计时,无设定需要 延时打开电源:启动后舱体内间隔放电时间 清洗时间:单个物品清洗时间 大气阀时间:停止工作后放气间隔时间 生产数量:产品清洗数量 (4).点击参数设定后面的数字,进入下列页面,输入参数后点击 Enter;

双路 气体及功率大小调节如下图所示.(功率大小决定辉光强度) 4.经验与直观目测 ____由于等离子材料表面处理技术是一项新的学科,更因处理的材料种类繁 多,且技术要求也不相同,故没有统一的技术标准,所以各个参数标准以使用 者的实际应用参数为准.结合等离子清洗机的常规应用,介绍给用户: * 真空仓内的可见光越白, 说明真空度越高, 该现象只说明真空系统的密封性 好,而不能应用于实际的材料处理,因其状态下等离子数目太少,达不到处 理效果. * 对本设备而言,在一般的材料处理时,所供气体流量在 10-40ml/min 左右, 其等离子密度较为适宜,流量过大时等离子密度较高,但能量较低,也无法 达到理想的处理效果. * 一般实验用的金属材料处理时间在

3 分钟左右选取,其功率也由 30%开始引 入,最后优选出最佳技术参数.根据处理目的(例如枝接)的不同,可能有 些材料的处理时间不能大于

20 秒,超过此时间反而影响处理效果. * 对于一些特殊材料的处理, 如聚四氟等, 应需外加特殊气体进行处理才能达 到预期效果. * 最基本的处理效果检测:取一块新的光盘,剪成面积大小适宜的块状,经等 离子适当的处理后, 与未经处理的光盘块进行亲水性比对, 即可判定处理效 果. * 正常处理时, 外加气体的多少不仅影响到真空仓内的压力环境, 也涉及到等 离子数目的多少,直至影响处理的效果.实际应用时,轻轻旋动玻璃浮子流 量计的旋钮,顺时针为小,直至关断,逆时针为大,同时观察真空仓内的辉 光色谱. 五. 注意事项 1. 等离子清洗机的摆放位置要略高真空泵,以免真空泵的微量回油进入清 洗机内. 2. 请不要使被处理物体与高压极板相接触,特别是金属物体会造成射频高 压对地短路而损坏设备. 3. 在使用手动控制处理结束后应复原全部电气按钮. 4. 设备加电后请勿打开机盖,防止高压触电,个别情况烧毁保险管需更换 时,请在断电

5 分钟后进行. 5. 在手动控制处理过程中(即加有高压情况下),在工作情况下请勿设定 参数. 6. 当主机与真空泵连接好后,尽量不要移动位置,以避免真空管路松弛泄 漏,导致真空度下降,真空管路的轻微泄漏会大大延长真空泵的抽取时 间. 7. 环境温度过高或使用时间过长时,温度保护控制可能会切断射频电源, 此时应停止处理操作,但不要关断设备电源,因风扇的运转会加速设备 的冷却. 8. 由于等离子射频电源的特殊性, 在接入~220V 电源时, 一定要按所配接电 源线插头的标志正确接入:即所提供的电源与三角插头的接线标志要准 确对应(L、N、E),否则会造成设备不能正常工作. 六. 售后服务与保修 1. 等离子清洗机主机保修期限为

1 年,时间以出厂日期为准. 2. 设备发货抵达用户的过程中因运输和包装等原因所造成的损坏由供货方 负责. 3. 用户在设备使用过程中因人为的机械性损坏(物理形变)不在保修范围: 如仓门、流量计、旋钮、电气按钮、高压极板等. 七.设备清单 1. 等离子清洗机主机(型号以合同为准) 一台 2. 说明书_ 一套