PDF《建设项目环境影响报告表》

建设项目环境影响报告表 项目名称:苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 PZT 压电薄膜圆片级制造技术及 MEMS 器件技改项目 建设单位(盖章)苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 编制日期:

2019 年05 月 江苏省环境保护局制 《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》 由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制.

1.项目名称――指项目立项批复时的名称,应不超过

30 个字(两个英文字 段作一个汉字) . 2.建设地点――指项目所在地详细地址,公路、铁路应填写起止地点. 3.行业类别――按国标填写. 4.总投资――指项目投资总额. 5.主要环境保护目标 ―― 指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等,应尽可能给出保护 目标、性质、规模和距厂界距离等. 6.结论与建议 ―― 给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结 论,确定污染防治措施的有效性,说明本项目对环境造成的影响,给出建设项目 环境可行性的明确结论.同时提出减少环境影响的其它建议. 7. 预审意见――由行业主管部门填写答复意见, 无主管部门项目, 可不填. 8.审批意见――由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复.

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一、建设项目基本情况 项目名称 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 PZT 压电薄膜圆 片级制造技术及 MEMS 器件技改项目 建设单位 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 法人代表 张淑梅 联系人 刘品端 通讯地址 苏州工业园区金鸡湖大道

99 号苏州纳米城 联系电话

15950090776 传真 / 邮政编码

215200 建设地点 苏州工业园区金鸡湖大道

99 号苏州纳米城 立项审批部 门 苏州工业园区行政 审批局(发改) 批准文号 苏园行审备[2019]16 号 建设性质 技改 行业类别及 代码 M7320 工程和技术研究 和试验发展 占地面积 (平方米) 0(全厂 20000m2 ,本 次不新增) 绿化面积 (平方米) / 总投资 (万元)

8000 其中:环保 投资(万元)

50 环保投资占 总投资比 例% 6.25 评价经费 (万元) / 预计投产日期

2019 年07 月 原辅材料(包括名称、用量)及主要设施规格、数量(包括锅炉、发电机等) : 主要原辅材料见后页表 1-1;

主要原辅材料理化性质见后页表 1-2;

主要生 产设备见后页表 1-3.

2 水及能源消耗量 名称 消耗量 名称 消耗量 水(吨/年) 6963.8 燃油(吨/年) / 电(千瓦时/年)

100 万 燃气(标立方米/ 年) 现有项目使用

60 万,本次技改不使 用 燃煤(吨/年) / 其它 / 废水(工业废水?、生活污水?)排放量及排放去向: 工业废水:现有项目生产废水 108362m3 /a 经厂内自建废水处理设施处理 达标后接入市政污水管网排入园区污水处理厂处理,尾水达标排放至吴淞江. 本次技改新增 4274.5m3 /a 生产废水. 生活污水:现有项目生活污水产生量为 600m3 /a,经市政污水管网接入园 区污水处理厂处理,尾水排入吴淞江.本次技改不新增生活污水. 表1-4 废水排放量及排放去向 类别 废水种类 废水排放量(m3 /a) 排放去向 本项目 生产废水 4274.5 进入园区污水处理厂处理, 尾水排入吴淞江 生活污水

0 项目实施后全 公司 生产废水 113236.5 生活污水

149282 放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况 无.

3 表1-1 项目主要原辅材料情况表 表1-1 项目主要原辅材料情况表 名称 组分、规格 状态 使用量 kg/a 来源 最大存储 量 包装方式 储存位置 储存 条件 运输 方式 现有 此次技改 增加 技改后全 厂 晶圆 二氧化硅(11g/片、直径 150mm) 固态 772.2 77.22 849.42 外购 15kg 盒装 原料仓库 常温 汽车运输 晶圆 PZT 压电陶瓷(25g/片,含 质量 0.05%铅) 固态 60.1 6.01 66.11 20kg 盒装 原料仓库 常温 PZT 锆钛酸铅 固态

0 10

10 20kg 盒装 原料仓库 常温 丙酮 99.9% 液态

23000 2300

25300 2000kg 50L 铁桶装+加仑桶装 甲类化学品仓 常温 硝酸 95% 液态

2304 230.4 2534.4 150kg 50L 桶 化学品仓库 常温 缓冲氧化刻蚀液 BOE 8.2%氟化铵、 33-35%氢氟 酸、水43.2%~58.5% 液态

15000 1500

16500 1200kg 200L 桶装 化学品仓库 室温 铝蚀刻液 磷酸 80%、醋酸 15%、硝酸5% 液态

2000 200

2200 1700kg 200L 桶装 化学品仓库 室温 双氧水 30% 液态

20160 2016

22176 4500kg 50L 桶装+加仑桶装 甲类化学品仓 常温 异丙醇 99.5% 液态

33984 3398.4 37382.4 5000L 200L 桶装+加仑桶装 甲类化学品仓 常温 BPC1000 二甲亚砜、乙醇胺、四甲 基氢氧化铵 液态

1340 0

0 300kg 20L 桶装 化学品仓库 室温 EKC 清洗液

5 %乙醇胺、25 %异丙醇 胺、25 %羟胺、水45% 液态

2880 134

1474 1000kg 200L 桶装 化学品仓库 室温 硫酸 75% 液态

17280 288

3168 3500kg 200L 桶装+加仑桶装 化学品仓库 常温 50% 液态

10000 1728

19008 5000kg 10m3 /储罐 储罐 常温 盐酸 40% 液态

10800 1000

11000 500kg 20L 桶装+加仑桶装 化学品仓库 常温 氨水 35% 液态

10259 1080

11880 2400L 200L 桶装 化学品仓库 常温

4 氢氟酸 50% 液态

5184 1025.9 11284.9 1200L 加仑桶装 乙类化学品仓 常温 硅烷 100% 气态

624 62.4 686.4 40kg 10kg 气瓶 气柜 常温 KOH 30% 液态

1152 900

2052 50kg 4L 瓶装 化学品仓库 常温 二氯硅烷 100% 气态

989 98.9 1087.9 160kg 37kg 气瓶 化学品仓库 室温 C4F8 100% 气态

2304 230.4 2534.4 300kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 CHF3 100% 气态

58 5.8 63.8 60kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 HBr 100% 气态

288 28.8 316.8 100kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 三氟化硼 BF3 100% 气态

102 10.2 112.2 100kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 六氟化硫 SF6 100% 气态

5760 576

6336 300kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 磷烷 100% 气态 115.3 11.53 126.83 10kg 330g 气瓶 气柜 常温 N20 100% 气态

1786 178.6 1964.6 58kg 50L 钢瓶 气柜 常温 Cl2 100% 气态

2765 92

2857 100kg 50L 钢瓶 气柜 常温 HCl 100% 气态

1440 48

1488 50kg 25kg 钢瓶 气柜 常温 NH3 100% 气态

2304 230.4 2534.4 40kg 20kg 钢瓶 气柜 常温 HF 100% 气态

96 9.6 105.6 8kg 8kg 钢瓶 气柜 常温 含硝酸的硅蚀刻 液80%硝酸、氢氟酸 5%、冰 乙酸 5%、水10% 液态

3840 384

4224 800kg 加仑桶装 化学品仓库 常温 氢氧化钠 30% 液态

288000 28800

316800 20m3 20m3 /储罐 储罐 常温 光刻胶 酚醛树脂 20%、丙二醇醚 脂80% 液态

2112 211.2 2323.2 50L

500 毫升塑料桶装 化学品仓库 常温 BCl3 100% 气态

127 12.7 139.7 100kg

40 升钢瓶装 气柜 常温 CaCl 30% 液态

188160 18816

206976 20m3 20m3 /储罐 废水区 常温 氢气 100% 气态

9494 949.4 10443.4 445kg 50L*15 钢瓶集装格

6 组、4000 立方管束、压力200 公斤 供氢站 常温 N-甲基吡咯烷酮 C5H9NO 100% 液态

11520 0

11520 600L 200L 桶装+加仑桶装 甲类化学品仓 常温

5 金属源(铝) 100% 固态 1.92 0.5kg 盒装 低温成膜原材料间 室温 金属源(金) 100% 固态 2.88

0 2.88 0.5kg 盒装 低温成膜原材料间 室温 金属源(铜) 100% 固态 11.52

0 11.52 0.5kg 盒装 低温成膜原材料间 室温 金属源(镍) 100% 固态 11.52

0 11.52 0.5kg 盒装 低温成膜原材料间 室温 金属源(锡) 100% 固态 3.84

0 3.84 0.5kg 盒装 低温成膜原材料间 室温 氰化亚金钾 100% 固态 2.88

0 2.88 0.2kg 240g 瓶装 单独化学柜存放(加锁) 室温 柠檬酸钾 100% 液态 19.2

0 19.2 1kg 瓶装 低温成膜原材料间 室温 氨基磺酸镍 90% 固态 288L

0 288L 15L 瓶装 低温成膜原材料间 室温 硫酸锡 99% 液态 211L

0 211L 15L 瓶装 低温成膜原材料间 室温 硼酸 5% 液态 38L

0 38L 5L 瓶装 低温成膜原材料间 室温 硫酸铜 35% 液态 230L

0 230L 20L 瓶装 低温成膜原材料间 室温 乙酸 95% 液态

315 31.5 346.5 30kg 50L 镀锌铁桶装 化学品仓库 室温 液氮 99.9% 液态 9811.2t 981.12 10792.32

80 吨50m3 /储罐 储罐 室温 液氧 99.9% 液态 138.24t 13.824 152.064

10 吨10m3 /储罐 储罐 室温 液氩 99.9% 液态 138.24t 13.824 152.064

11 吨10m3 /储罐 储罐 室温 氦气 99.9% 气态 11520m3

1152 12672

300 标方 50L*15 钢瓶集装格

2 组,压力

200 公斤 大宗气体站 室温

6 表1-2 项目主要理化性质 表1-2 项目主要理化性质表 名称及标识 理化特性 燃烧爆炸性 毒性毒理 丙酮 CH3COCH3 无色透明易流动液体,有芳香气味,极易挥发;

分子量:58.08;

蒸 汽压:53.32kPa/39.5℃;

闪点:-20℃;

熔点:-94.6℃;

沸点: 56.5℃;

与水混溶,可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油类、烃类等多 数有机溶剂;

相对密度(水=1)0.80. 易燃,爆炸上 限%(V/V):13.0, 爆炸下限%(V/V):2.5 毒性:属低毒类. 急性毒性:LD50:5800mg/kg(大鼠经口);

20000mg/kg(兔经皮);

人吸入 12000ppm*4 小时,最小中毒浓度.人经口 200ml,昏迷,12 小时恢复 硝酸 HNO3 纯品为无色透明发烟液体,有酸味.与水混溶. 相对密度(水=1) :1.5(无水) ,熔点:-42(无水) ,沸点:86(无水) ,相对蒸气密度(空气=1) :2.17,饱和蒸气压(kPa)4.4 (20℃) . 本品助燃,为强氧化剂 无资料 BOE 缓冲氧化物刻蚀液,熔点-35℃,沸点 108℃.由氢氟酸(49%)与 水或氟化铵与水混合而成. 不燃 LC50:1108 ppm/1H 大鼠 铝蚀刻液 无色澄清的发烟液体,有刺激气味.易溶于水、醇.稳定. 不易燃烧,有强腐蚀性 和毒性 无资料 双氧水 无色透明液体,溶于水、醇及醚,高浓度时有腐蚀性,敞口放置 时,会渐渐分解为氧及水,30%的双氧水的密度为 1.1g/cm3 ,熔点 -0.89℃,沸点 151.4℃,分子量为 34.01. 不燃 双氧水从一般意义上讲是无毒的,但对皮 肤、眼睛的粘膜有刺激作用,浓度低时可产 生漂白和灼烧的感觉 异丙醇 主要成分为异丙醇,异丙醇是无色透明可燃性液体,有与乙醇、丙 醇混合物相似的气味.比重 0.

7851、熔点-88.5℃,沸点 82.5℃.闪点(闭口) :22. 爆炸极限 3.8~10.2% (体积) 短期暴露于 400ppm,吸入刺激鼻、喉、 眼;

接触 5%的溶液刺激皮肤、眼睛 乙醇 外观与性状: 无色液体,有特殊香味,密度:0.789 g/cm3 ;

(液), 熔点:-114.3 ℃,沸点:78.4 ℃,闪点(℃) :12,饱和蒸气压 (kPa): 5.33(19℃),与水混溶,可混溶于醚、氯仿、甘油等多数有 机溶剂. 引燃温度(℃):363,爆 炸上限%(V/V): 19.0;

爆炸下 限%(V/V): 3.3 属微毒性.急性毒性:LD50:7060mg/kg(兔 经口);

7340mg/kg(兔经皮);

LC50: 37620mg/m3 ,10 小时(大鼠吸入) BPC1000 无色至浅黄色,有轻微气味,闪点>

80℃,相对密度:1.0- 1.2g/cm3 @25℃,溶于水. 非易燃液体,无爆炸危 险 无资料 EKC 清洗液 深红棕色液体,深红棕色,胺类味,沸点 170℃,自燃温度 130℃. 非易燃液体 LD50:1285mg/Kg 大鼠

7 硫酸 纯品为无色透明油状液体,无臭;

分子量:98.08;

熔点: 10.5℃;

沸点:330.0℃;

与水混溶;

相对密度(水=1)1.83. 不燃 毒性:属中等毒性. 急性毒性:LD50:80mg/kg(大鼠经口);

LC50:510mg/m3 ,2 小时(大鼠吸入);

320mg/m3 ,2 小时(小鼠吸入) 盐酸 无色透明液体,有刺激性气味,在空气中发烟.相对密度(........