PDF《建设项目环境影响报告表》

1 建设项目环境影响报告表 (试行) 项目名称: 苏州吉恒纳米科技有限公司真空镀膜线迁建项目 建设单位(盖章):苏州吉恒纳米科技有限公司 编制日期:2019 年5月江苏省环境保护厅制

1 《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制.

1. 项目名称……指项目立项批复时的名称,应不超过

30 个字(两个英 文字段作一个汉字). 2. 建设地点……指项目所在地详细地址,公路、铁路应填写起止地点. 3. 行业类别……按国标填写. 4. 总投资……指项目投资总额. 5. 主要环境保护目标……指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等,应尽可能给 出保护目标、性质、规模和距厂界距离等. 6. 结论与建议……给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结 论,确定污染防治措施的有效性,说明本项目对环境造成的影响,给出建 设项目环境可行性的明确结论.同时提出减少环境影响的其它建议. 7. 预审意见……由行业主管部门填写答复意见,无主管部门项目,可不 填. 8. 审批意见……由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复.

1 建设单位基本情况 项目名称 苏州吉恒纳米科技有限公司真空镀膜线迁建项目 建设单位 苏州吉恒纳米科技有限公司 法人代表 张建明 联系人 金章斌 通讯地址 苏州工业园区兴浦路

333 号现代工业坊

5 号厂房

1 楼C单元 联系电话

18136168963 传真 0512-6895219 邮政编码

215000 建设地点 苏州市工业园区科智路

9 号1号厂房 立项审批 部门 苏州工业园区 行政审批局 批准文号 2019-320590-41-03-514036 建设性质 迁建 行业类别 及代码 C3360 金属表面处理及热处理 加工 占地面积

1800 平方米 绿化面积 依托苏州机床电器厂 总投资

5000 万元 环保投资

50 万元 环保投资占总投 资比例 1% 评价经费

2 万 预投产日期 2019.7 原辅材料(包括名称、用量)及主要设施规格、数量(包括锅炉、发电机等): 主要原辅材料见后表 1-1;

原辅材料理化性质见后表 1-2;

主要生产设备见后表 1-3. 水及能源消耗: 名称 消耗 名称 消耗 水(吨/年)

5066 蒸汽(吨/年) ― 电(度/年)

200 万 燃气(立方米/年) ― 燃油(吨/年) ― 其他 ― 废水(工业废水 √、生活污水 √)排水量及排放去向: 本项目生产废水主要为清洗废水 111t/a,与纯水制备浓水 980t/a 和生活污水 2100t/a 一并经市政污水管网排入园区污水厂,尾水最终排入吴淞江. 放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况: 无2表1-1 主要原辅材料 原辅料名 称 组分、规格 状态年用量 t 存储方式 存储位置 最大 存 储量 t 运输 方式 搬迁前 搬迁后 变化量 工具* ―― 固40 万支

60 万支 +20万支 箱装 原料区

1 万支汽运 靶材铝钛 Al、Ti 99.8% 固0.1 0.15 +0.05 1片/塑料真 空包装, 1kg 或4kg/ 片 原料区 0.05 钛硅 Ti、Si 99.8% 固0.1 0.15 +0.05 1片/塑料真 空包装,1k g/片 原料区 0.05 碳化钨 WC 99.8% 固0.2 0.3 +0.1 1片/塑料真 空包装,1k g/片 原料区 0.05 钛Ti 99.95% 固0.03 0.04 +0.01 1片/塑料真 空包装,1k g/片 原料区 0.01 清洗剂 HT1401 氢氧化钾 15~30%,脂 肪醇聚氧乙 烯醚 (表面活 性剂) 12℃时的控制指标,括号内数值为水温≤12℃时的控制指标;

**COD、总磷指标根据《苏州工业园区清源华衍水务有限公司第一污水处理厂改建工 程》报告中指标确定. 固废:固废处置应执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》 (GB18599-2001)及其修改单的相关要求.危险废物处置应执行《危险废 物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)及其修改单的相关要求.

35 总量控制指标污染物产生排放 三本帐 见下表. 表4-7 污染物产生排放三本帐(t/a) 种类 污染物 原有项 目排放 量 本项目 以新带老 削减量 迁建后 排放量 迁建前后 增减量 产生量 自身削减 量 排放量 废气 颗粒物 (有组织)

0 0.25 0.2475 0.0025

0 0.0025 +0.0025 颗粒物 (无组织) 0.002 0.001

0 0.001 0.002 0.001 -0.001 生活 污水 水量

900 2100

0 2100

900 2100 +1200 COD 0.41 0.945

0 0.945 0.41 0.945 +0.535 SS 0.32 0.735

0 0.735 0.32 0.735 +0.415 氨氮 0.027 0.063

0 0.063 0.027 0.063 +0.036 总磷 0.005 0.0105

0 0.0105 0.005 0.0105 +0.0055 清洗 废水 水量

37 111

0 111

37 111 +74 COD 0.01 0.044

0 0.044 0.01 0.044 +0.034 SS 0.01 0.028

0 0.028 0.01 0.028 +0.018 石油类 0.0006 0.0017

0 0.0017 0.0006 0.0017 +0.0011 纯水 制备 浓水 水量

896 980

0 980

896 980 +84 COD 0.05 0.059

0 0.059 0.05 0.059 +0.009 SS 0.04 0.04

0 0.04 0.04 0.04 +0 废水 合计 水量

1833 3191

0 3191

1833 3191 +1358 COD 0.47 1.048

0 1.048 0.47 1.048 +0.578 SS 0.37 0.803

0 0.803 0.37 0.803 +0.433 氨氮 0.027 0.063

0 0.063 0.027 0.063 +0.036 总磷 0.005 0.0105

0 0.0105 0.005 0.0105 +0.0055 石油类 0.0006 0.0017

0 0.0017 0.0006 0.0017 +0.0011 固废 危险固废

0 21.44

0 0(厂外削 减21.44)

0 0

0 一般工业固 废0300(厂外削 减3)

0 0

0 生活垃圾

0 35

0 0(厂外削 减35)

0 0

0 本项目水污染物总量在园区污水处理厂内平衡;

大气污染物总量在园区 范围内平衡.

36 建设项目工程分析

一、工艺流程简述 靶材(铝合钛、 钛硅、碳化钨等) 氩气、氮气、乙炔 真空镀膜 超声清洗 工具 清洗剂、 除锈剂、 纯水 S

2、 W1 成品 喷砂 G2 除锈 白刚玉砂 S1 S3 检验 S

5、 S6 白刚 玉砂 S4 G1 G3 退膜剂、 纯水 图5-1 生产工艺流程图 工艺说明: 除锈:来料部分物件表面有锈,通过湿式喷砂进行除锈,白刚玉砂循环使用, 定期更换, 白刚玉砂预先使用极少量自来水润湿后, 由于水量极少, 故无废水产生. 此工序产生废砂 S1. 超声清洗:本项目超声清洗线由

8 个槽(其中第

6 个槽为预留)+2 个工位(吹 干和烘干)构成,其中吹干是通过压缩空气进行吹干,吹干时间约 30s,烘干采用 电加热方式,烘干温度约 100℃,烘干时间约 5min.其中槽

1、

2、4 有产生清洗废 液S2 产生,定期排放;

槽

3、

5、

7、8 有清洗废水 W1 产生,定期排放.其中

1、

2、

4 槽药剂含量约 3%,水温约 45~55℃(其中

3、

5、7 漂洗水槽无需加热).整个清 洗流程清洗时间总共约 40min.清洗工段添加的防锈剂会挥发产生少量有机废气 G1.

37 浸泡漂洗

1 上件 超声清洗

1 喷淋 (槽1) 清洗剂

1401 清洗剂 OP141 纯水 浸泡漂洗

2 清洗剂 OP141 防锈剂 Anticorr 纯水 超声清洗

2 纯水 清洗剂

1401 防锈剂 Anticorr 纯水 纯水 纯水 纯水 下件 浸泡漂洗

3 浸泡漂洗

4 吹干 工位 烘干 工位 S2-1 S2-2 W1-1 S2-3 W1-2 W1-3 W1-4 G1-1 G1-2 图5-2 清洗流水线工艺流程图 喷砂: 根据需要对未清洗干净的工具进行喷砂处理, 进一步清理工具表面杂质. 白刚玉砂循环使用,定期更换.该工序有粉尘 G2 和废砂 S3 产生. 真空镀膜:本项目镀膜涂层为 PVD 涂层,又叫物理气象沉积,是一种物理气 象反应生长法. 真空镀膜主要流程为: 抽真空加热――离子刻蚀――涂层――冷却. 抽真空加热――将炉腔内的空气抽出形成负压, 压力约 1*10-3mbar,并且加热 到400℃左右(电加热). 离子刻蚀――通入氩气,通过设备内离子化装置将氩气离子化,离子化的氩气 轰击工件表面,提高工件表面活性,为涂层做准备.未离子化的氩气被抽出,排放 至室外.本项目

11 台真空涂层炉,其中

2 台设备的离子化采用磁控溅射方式(专 门做 DLC 涂层),4 台设备的离子化为阴极电弧方式(其他涂层). 涂层工序――通入乙炔/高纯氮(DLC 涂层/其他涂层),通过设备内离子化装 置将气体离子化,离子化的气体轰击靶材表面,形成大量的靶粒子,靶粒子和离子 化的气体沉积在工件上,形成固体薄膜.未被离子化气体被抽出,排放至室外.镀 膜厚度约 2~5μm,镀膜时间约 6h. 冷却――真空涂层炉经风冷或间接水冷进行冷却.其中水冷却介质为纯水,纯 水中无盐分,因此循环冷却水不外排,仅需定期补充纯水.冷却后通入氮气解除真 空环境后,开门取件.

38 图5-3 真空涂层炉原理图 真空涂层炉中装夹系统难免也被镀膜,需定期通过干式喷砂进行处理,该工序 产生少量废砂 S4. 检验:通过人工检验外观,合格产品进行包装为成品,该工序有不合格的产品 S5 产生. 镀膜不良率在 0.1%以内,大部分产品不需要退模,只需要直接重新涂层,小 部分产品重复镀膜不良无法解决的时候(一般为 Ti 膜和 TiAl 膜),需要进行退膜. 退膜是退膜机中,加入水和退膜剂(3%),经退膜剂电加热至 70℃左右,放入不 合格品,约8小时左右,可完成退膜.退膜后工具先在退膜机漂洗水槽中进行初步 清洗,然后再进入上述 超声清洗线 进行清洗后可再次镀膜.该工序退膜剂会挥发 产生少量有机废气 G3 和退膜废液 S6.

二、主要污染工序

1、废气 喷砂过程利用高速运动的白刚玉砂连续冲击工件表面, 工件表面被砂料撞击 产生颗粒物,砂料也因在撞击的过程中磨损而产生颗粒物.类比同类型企业,工 件表面被砂料撞击产生的颗粒物约占工件和砂料用量的 1‰,项目工件用量约 250t/a, 砂料用量约 1t/a;

经核算, 本项目喷砂工段产生的颗粒物量约为 0.251t/a. 产生的颗粒物经设备自带的除尘系统收集处理,收集效率为 99%,处理效率为 99%.颗粒物收集量约为 0.25t/a,有组织排放量约为 0.0025t/a,未收集的颗粒物 在车间无组织排放,排放量约为 0.001t/a.

39 清洗工段和和退膜工段会产生少量的有机废气以非甲烷总烃计,项目防锈 剂和退膜剂年使用量均为 0.05t/a,其中可挥发有机物含量分别为 20%和95%, 考虑挥发性有机物挥发率为 50%, 则非甲烷总烃产生量约 0.0287t/a, 在车间无组 织排放. 表5-1 本项目有组织废气产生排放情况 污染 物工 序 风量 污染 物 产生情况 去除率(%) 排放情况........