PDF《检漏方法简介……………4 ……………4》

MIC Cleanroom Testing Ltd.

Tel:010-59753306/07/08 Fax:010-59753309 www.mictest.cn

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9 9 MIC Cleanroom Testing Ltd. Tel:010-59753306/07/08 Fax:010-59753309 www.mictest.cn

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9 高效过滤器检漏 高效过滤器检漏 高效过滤器检漏 高效过滤器检漏 1. 1. 1. 1. 高效过滤器的检漏方法 高效过滤器的检漏方法 高效过滤器的检漏方法 高效过滤器的检漏方法 1.1. 1.1. 1.1. 1.1. 钠焰法 钠焰法 钠焰法 钠焰法 1.1.1. 原理:钠焰法原理是将氯化钠水溶液喷雾、干燥形成质量中值直径约为 0.4μm 的氯化 钠气溶胶作为试验尘.在被测高效滤料的前后进行含尘空气采样,并引到钠火焰光度计内, 测出与含尘浓度相关的光电流值,从而算出滤料的透过率. 1.1.2. 测试原理:试验尘源为单分散相氯化钠盐雾, 量 为含盐雾时氢气火焰的亮度,主要仪器 为火焰光度计.盐水在压缩空气的搅动下飞溅,经干燥形成微小盐雾并进入风道.在过滤器前后分 别采样,含盐雾气样使氢气火焰的颜色变蓝、亮度增加.以火焰亮度来判断空气的盐雾浓度,并以 此确定过滤器对盐雾的过滤效率. 国家标准规定的盐雾颗粒平均直径为 0.4μm,但对国内现有实测 结果为 0.5μm. 欧洲对实际试验盐雾颗粒中径的测量结果为 0.65μm. 随着其他检测方法的普及, 欧洲已经不再使用钠焰法.国内有关部门正在修订原来的国家标准,是废止还是继续使用钠 焰法,意见还没有等到落实. 1.2. 1.2. 1.2. 1.2. 计数扫描法 计数扫描法 计数扫描法 计数扫描法 1.2.1. 《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)中规定,被检高效过滤器必须已检测过风量,并 设计风速 80%-120%之间运行,对于被检高效过滤器上风侧的颗粒浓度对受控粒径对于≥0.5μm 粒子的浓度,必须≥3.5*10

4 pc/L , 对受控粒径≥0.1μm 的粒子浓度,必须≥3.5*10

6 -3.5*10

7 pc/L.使用最小采样量>

1L/min 的粒子计数器扫描法,对高效过滤器安装接 缝和主断面进行扫描检测,检测点应距被测表面 20-30mm,测头以 5-20mm/s 的速度移动,对被检 过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描. 1.2.2. 在《洁净室施工及验收规范》中规定,由高效过滤器下风侧泄漏浓度换算成的穿透率来衡量 是否合格,其合格标准如下. 对于高效过滤器: k'

=1-η k=c2/c1 k'

表示高效过滤器的额定透过率;

η表示高效过滤器的额定效率;

k 表示高效过滤器的实际泄漏率;

c1 表示上风侧含尘浓度;

c2 表示高效过滤器下风侧含尘浓度. 规范规定,高效过滤器的实际泄漏率不得大于额定透过率的

2 倍,即k≤2 k'