PDF《扫描电镜的基本结构和工作原理》

而样品表层平均原子序数较小的区域则显示较暗的衬度.由此可见,背散射电 子像中不同区域衬度的差别, 实际上反映了样品相应不同区域平均原子序数的差异, 据此可 定性分析样品微区的化学成分分布.吸收电子像显示的原子序数衬度与背散射电子像相反, 平均原子序数较大的区域图像衬度较暗, 平均原子序数较小的区域显示较亮的图像衬度. 原 子序数衬度适合于研究钢与合金的共晶组织,以及各种界面附近的元素扩散. 图实 5―4 是A1-Li 合金铸态共晶组织的背散射电子像.由图可见,基体 a-A1 固溶体由于其平均原子序数较大,产生背散射电子信号强度较高,显示较亮的图像衬度.在 基体中平行分布的针状相为铝锂化合物,因其平均原子序数小于基体而显示较暗的衬度. 在此顺便指出,由于背散射电子是被样品原子反射回来的入射电子,其能量较高,离开 样品表面后沿直线轨迹运动, 因此信号探测器只能检测到直接射向探头的背散射电子, 有效 收集立体角小,信号强度较低.尤其是样品中背向探测器的那些区域产生的背散射电子,因 无法到达探测器而不能被接收. 所以利用闪烁体计数器接收背散射电子信号时, 只适合于表 面平整的样品,实验前样品表面必须抛光而不需腐蚀.