PDF《真空用自动转动平台》

G106 Motorized Stages 介绍 控制器/驱动器 软件 AC伺服 电缆 压电陶瓷 直线运动系列 摆动 选购件 40mm 60mm 80mm 85mm 100mm 120mm 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 转动系列 真空用 其它 步进电机 ?在电机部, 和极限位置传感器部处, 附有1m长的镀有聚四氟乙烯层的 电缆, 可用于直接连线到真空腔的插头部.

信息 技术指标 型号 VSGSP-60YAW VSGSP-120YAW 机械 技术指标 转动范围 CW, CCW方向∞ 逆时针旋转CCW方向无限制 顺时针旋转方向在0度附近处停止 台面尺寸 〔mm〕 φ60 φ120 驱动机构 蜗轮蜗杆 蜗轮蜗杆 导轨形式 滚动轴承 十字交叉滚柱 主要材料 铝合金 铝合金・ 不锈钢 表面处理 无无自重 〔kg〕 0.45 1.7 精度 技术指标 分辨率 (整步) 〔° 〕 0.005 0.005 (半步) 〔° 〕 0.0025 0.0025 最大速度 〔° /sec〕

20 20 重复定位精度 〔° 〕 0.02 0.02 承载能力 〔N〕 29.4(3.0kgf) 98.0(10.0kgf) 空行程 〔° 〕 0.05 0.05 传感器 种类 无GN-STM35A-1 ( (株) Metrol) 极限位置传感器 无 真空接触式 (常开) 原点传感器 无无近接原点传感器 无无电机/传感器技术指标 电机 类型 真空用5相步进电机 0.75A/相 (多摩川精机 (株) ) 真空用5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR (株) ) 型号 TS3664N5 (24mm) PK543V-NB(42mm) 步距角 0.72° 0.72° 传感器 输出端电气特性 - 接触式 信号的含义 - 常开 推荐选用的驱动器/控制器型号 电器系统 驱动器 SG-5M, MC-S0514ZU, SG-514MSC, MC-7514PCL 控制器 GSC-01, GSC-02, SHOT-702, HSC-103, SHOT-302GS, SHOT-304GS, HIT-M・HIT-S, PGC-04-U 真空用自动转动平台 VSGSP-YAW 这是一款真空用的自动转动平台. φ60mm的小型平台, 适用于实验或检查装置. φ120mm的真空用平台上配备了限位传感器. 厚度小, 承载能力大 (选用了42mm的大型电机) . ?转动范围 ?我们将自动转动平台的CW方向的极限位置传感器兼为原点传感器使用 了,以此位置为参考进行原点复位. ?我们规定, 以半步细分驱动, 并采用MINI方式进行原点复位操作时的停 止位置为刻度0度位置. 信息 负极限位置传感器: -2.5° 刻度: 0° 逆时针 CCW方向为∞ 顺时针CW方向在 0度附近 (-2.5° ) 停止 G107 WEB http://www.sigma-koki.com/index.php?lang=cn E-mail international@sigma-koki.com TEL +81-3-5638-8228 FAX +81-3-5638-6550 介绍 控制器/驱动器 软件 AC伺服 电缆 压电陶瓷 直线运动系列 摆动 选购件 40mm 60mm 80mm 85mm 100mm 120mm 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 转动系列 真空用 其它 步进电机 W9083 目录编号 外形图 真空用极限位置传感器 (高真空对应型接触开关) : VSGSP-120YAW 转动平台用常开型 注1 在控制真空用自动转动平台的控制器上, 请把极限位置传感器的使用条件设为 [常开] . 注1 Stage Driver 各种驱动器 Cable Controller GSC-01 GSC-02 SHOT-702 HSC-103 SHOT-302GS SHOT-304GS HIT-M HIT-S PGC-04-U 〔1轴〕 〔2轴〕 〔2轴〕 〔3轴〕 〔2轴〕 〔4轴〕 〔8轴〕 〔4轴〕 D15RP-CA Cable MINI-CA-SG G020?G021 G120 G108?G117 G120 VSGSP-60YAW VSGSP-120YAW 控制器/驱动器和电缆的选配 关于此处介绍的电缆, 请客户购买之后, 自行更改为需要的散线状态. 内六角螺栓 M4*10…3个VSGSP-60YAW φ25 ( ) +0.025 +0.005 (117)

64 50

32 30 P.C.D.50 4-M4 深5.5 4-M3 深5.5 2-M6 深5 4-φ4.5安装孔 φ8沉孔 64.5