PDF《公司关于 2019 年度国家科技进步奖提名公示》

公司关于

2019 年度国家科技进步奖提名公示 公司拟将"工业黄磷生产电子级磷酸关键技术及工业化应用"项 目申报

2019 年度国家科技进步奖,根据国家科技奖励工作办公室要 求,现将项目主要内容进行公示.

自公布之日

10 内,任何单位和个 人对公示项目、完成单位、个人有异议的,应实名并书面方式向技术 中心提出,并提供必要的证明和材料. 联系地址:湖北省宜昌市V亭区V亭大道 66-3 号 联系单位:湖北兴福电子材料有限公司 联系人:贺兆波

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一、项目名称 工业黄磷生产电子级磷酸关键技术及工业化应用

二、提名单位 中国石油和化学工业联合会

三、提名意见 我单位认真审阅了项目提名书及附件材料,审查了完成人资格, 确认全部材料真实有效, 相关栏目均符合国家科技奖励工作办公室的 填写要求. 电子级化学品,是指为微电子工业配套的精细化工产品,是电子 工业的关键基础化学材料,支撑着集成电路制造、平板显示、太阳能 电池等高新技术产业. 电子级磷酸及磷酸系蚀刻液产品作为集成电路 制造过程中所使用的重要化学品, 其生产关键技术和装备长期被国外 化工企业所垄断, 严重制约着我国集成电路产业发展的安全性和稳定 性. 作为我国精细磷化工龙头企业的湖北兴发化工集团股份有限公 司,从2006 年开始,在国家科技部、发改委、工信部和湖北省重大 专项等支持下,围绕国家化学和电子工业重大战略需求,与中科院过 程工程研究所、武汉工程大学、湖北兴福电子材料有限公司合作开展 技术攻关,突破国外技术封锁,相继发明了高纯黄磷与电子级磷酸生 产关键技术,实现了规模化工业生产,首先突破了电子级磷酸的进口 替代难题,并开发了芯片用磷酸系蚀刻液,极大地推动了我国集成电 路制造等高新技术领域的发展. 该项目成果在国内

5 家企业推广应用,建成

7 条生产线.近三年 新增销售收入 22.12 亿元,新增利润 2.84 亿元,创汇

5450 万美元. 产品销往三星电子、新加坡格罗方德和中芯国际、华虹宏力等国内外 知名电子企业, 实现了电子级磷酸的国产化和参与国际市场竞争的重 大突破.该项目共拥有知识产权

31 件,其中授权发明专利

11 件、获 批国家标准

1 项,整体技术达到国际先进水平,对电子级磷酸产品中 砷、锑等杂质的控制技术居国际领先水平. 经审查,提名书及附件材料真实有效,相关栏目填写均符合国家 科技奖励要求,候选人、候选单位、知识产权和应用单位经公示无异 议. 提名该项目为国家科学技术进步奖 二 等奖.

四、项目简介 该项目属于精细化工领域. 集成电路(简称芯片)是信息产业的重要基础,直接关乎国家安 全和经济发展.近年来我国芯片产业发展迅速,但高端芯片仍然高度 依赖进口.

2018 年4月爆发的"中兴事件"凸显了我国芯片产业的软肋, 更显关键技术与产品国产化的紧迫性. 电子级磷酸用于芯片制造中的 蚀刻工艺,是芯片制造不可缺少的化学品,其主流生产工艺是黄磷燃 烧水合法.由于我国缺乏工业黄磷深度纯化制备高纯黄磷关键技术, 同时不能攻克高温下设备腐蚀带入金属离子的难题, 导致电子级磷酸 生产核心技术和关键设备长期被美、德、日等发达国家垄断,严重制 约我国芯片等高技术产业的发展.在科技部、发改委和湖北省重大专 项支持下,经过多年的系统研究,该项目攻克了以工业黄磷为原料生 产电子级磷酸的关键技术,实现了工业化应用,取得以下自主创新成 果.