PDF《化学溶液法制备的 ！＂》

化学溶液法制备的 !" 薄膜的光学性能! 刘爱云! 孟祥建 薛建强 孙兰马建华 汪琳褚君浩 (中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室, 上海 "###$%) ("##& 年'' 月"% 日收到;

"##& 年'" 月$日收到修改稿) 用化学溶液方法在宝石衬底及有 ()*+,% 缓冲层的 -.

/0+," /1+," /1+ 衬底上制备了 2"3 -4 (56'/% *4"/% ) ,% 7$3 -40+,% (-5*0) 薄膜,

8 射线衍射测试结果表明: 在有 ()*+,% 缓冲层的 -./0+," /1+," /1+ 衬底上制备的 -5*0 薄膜几乎 是纯钙钛矿相, 且薄膜呈现 (''#) 择优取向9通过对 -./0+," /1+," /1+ 衬底上的 -5*0 薄膜在 ":&―'":;

! < 波长范围内 的红外椭圆偏振光谱测试, 并拟合得到了 -5*0 薄膜在 ":&―'":;

! < 波长范围内的光学常数 ( ! 和") , 通过对宝石 衬底上的 -5*0 薄膜在 波长范围内的可见7紫外透过率测试, 并拟合得到了 -5*0 薄膜在 波段的光学常数 (! 和") 和吸收系数!, 进而推导出 -5*0 薄膜的禁带宽度为 >:#%?@9 关键词:-5*0 薄膜,光学性能,化学溶液法 !.//:A$A$"#B !国家自然科学基金 (批准号: 和;

#%A'#>#) 、 上海市应用材料研究与发展基金 (批准号: #%';

) 和上海市科委基金 (批准 号: #%BC'>##") 资助的课题9 ! D7 物理学报QR0Q -ST1URQ 1U*URQ @OE9&&, *O9;

, CF=?, "##;

" " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " " "##;

RV+=9-VGI9 1OK9 度制度为: !""#, 保温!$"%;

&'"#, 保温!$"%;

()"#, 保温 !$"%*可以重复这个过程直至得到想要 的薄厚*最后所制备的薄膜厚度约为 &""+,* 采用 - 射线衍射测试 (-./) 来表征薄膜的结构 和晶化情况, 用红外椭圆偏振光谱仪和双光束紫外0 可见光谱仪 (12345+ 67,23 89095% %:2;

DH 的1