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《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》 由具有从事环境影响评价工作资质 的单位编制.

1. 项目名称――指项目立项批复时的名称, 应不超过

30 个字(两 个英文字段作一个汉字). 2.建设地点――指项目所在地详细地址,公路、铁路应填写起 止地点. 3.行业类别――按国标填写. 4.总投资――指项目投资总额. 5.主要环境保护目标 ―― 指项目区周围一定范围内集中居民 住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点 等,应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等. 6.结论与建议――给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制 的分析结论,确定污染防治措施的有效性,说明本项目对环境造成的 影响,给出建设项目环境可行性的明确结论.同时提出减少环境影响 的其它建议. 7.预审意见――由行业主管部门填写答复意见,无主管部门项 目,可不填. 8.审批意见――由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批 复. -

1 -

一、建设项目基本情况 项目名称 昆山中辰矽晶有限公司废气处理措施改造项目 建设单位 昆山中辰矽晶有限公司 法人代表 姚宕梁 联系人 葛瑞 通讯地址 昆山市玉山镇城北汉浦路

303 号 联系电话

13451794846 传真/邮政编码

215300 建设地点 昆山市玉山镇城北汉浦路

303 号 立项审批部 门/批准文号 / 建设性质 改建 行业类别 及代码 C3971 电子元件及组件制造 占地面积 (平方米) 13648.3 绿化面积(平 方米) / 本次总投资 (万元)

200 其中:环保 投资(万元)

200 环保投资占总 投资比例 100% 评价经费 (万元) / 预期投产 日期 / 原辅材料(包括名称、用量)及主要设施规格、数量(包括锅炉、发电机等): 主要原辅材料见后页表 1-1;

主要生产设备见后页表 1-2. 水及能源消耗量 名称 消耗量 名称 消耗量 水(吨/年) / 燃油(吨/年) / 电(万度/年)

10 燃气(万立方米/年)

100 燃煤(吨/年) / 其它 / 废水(工业废水、生活污水)排水量及排放去向: 本项目不新增生活污水排放,不新增生产废水排放. 放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况: 无-2-表1-1 主要原辅材料及用量 年消耗量(t) 名称 重要组分、规格、指标改建前 改建后 增量 备注

1 多晶硅 游离硅含量〈10%

120 120 +0

2 石墨模具 /

20000 条20000 条+0

3 陶瓷盘片 /

1000 片(循环 使用)

1000 片 (循 环使用) +0

4 氢氟酸 49% 17.7 17.7 +0

5 硝酸 70% 37.2 37.2 +0

6 冰醋酸 99% 4.6 4.6 +0

7 氢氧化钾 99.5% 9.3 9.3 +0

8 草酸 99.9% 0.8 0.8 +0

9 盐酸 37% 2.5 2.5 +0

10 双氧水 35% 57.0 57.0 +0

11 氨水 29% 24.5 24.5 +0

12 界面活性剂 60%,异构醇与环氧 乙烷聚合物 2.16 2.16 +0

13 研磨剂 50lb,脂肪醇与环氧 乙烷聚合物 18.2 18.2 +0

14 液蜡 / 0.22 0.22 +0

15 氢氧化钠 95%

1 1 +0

16 硫酸 50%

1 1 +0

17 切削液 主要成份 为Al2O3 6.0 6.0 +0

18 磨粉 主要成份 为聚乙二醇

1 1 +0

19 氧气 / 20Nm3 20Nm3 +0

20 氮气 / 250Nm3 250Nm3 +0

21 氩气 / 40Nm3 40Nm3 +0

22 轻柴油 S0.2%

500 70 -430 一期

1 多晶硅 游离硅含量〈10%

80 80 +0

2 石墨模具 /

20000 条20000 条+0

3 陶瓷盘片 /

1000 片(循环 使用)

1000 片 (循 环使用) +0

4 氢氟酸 49% 11.86 11.86 +0

5 硝酸 70% 24.92 24.92 +0

6 冰醋酸 99% 3.08 3.08 +0

7 氢氧化钾 99.5% 17.05 17.05 +0

8 草酸 99.9% 0.54 0.54 +0

9 盐酸 37% 8.85 8.85 +0

10 双氧水 35% 68.44 68.44 +0 二期 -

3 -

11 氨水 29% 29.42 29.42 +0

12 界面活性剂 60%,异构醇与环氧 乙烷聚合物 3.26 3.26 +0

13 研磨剂 50lb,脂肪醇与环氧 乙烷聚合物 21.81 21.81 +0

14 液蜡 / 0.65 0.65 +0

15 氢氧化钠 95%

1 1 +0

16 硫酸 50%

1 1 +0

17 切削液 主要成份 为聚乙二醇 4.0 4.0 +0

18 磨粉 主要成份 为Al2O3 1.25 1.25 +0

19 氧气 / 13.5Nm3 13.5Nm3 +0

20 氮气 / 170Nm3 170Nm3 +0

21 氩气 / 26.5Nm3 26.5Nm3 +0

22 轻柴油 S0.2%

300 30 -270 表1-2 主要设备清单 数量(台) 序号设备名称 型号 改建前 改建后 增量 备注

1 酸洗机 ―

2 台2台+0 --

2 长晶炉 CG-3000

10 台10 台+0 --

3 切断机

6

2 台2台+0 --

4 圆磨机 GM-600-12

4 台4台+0 --

5 STC 切片机

22

27 台27 台+0 --

6 MB 切片机 TS-23

16 台16 台+0 --

7 测厚仪 TS-23

2 台2台+0 --

8 粗洗机 KWS-Q90924F

2 台2台+0 --

9 甩干机 ―

1 台1台+0 --

10 热处理炉 ―

1 台1台+0 --

11 粗检测厚仪 CL-2400

2 台2台+0 --

12 粗检测电阻仪 SDY-4

1 台1台+0 --

13 圆边机 TMB-25 TMB-25

2 台2台+0 --

14 超声波清洗机 ―

1 台1台+0 --

15 甩干机 ―

1 台1台+0 --

16 接触式测厚仪 ID-F125

1 台1台+0 --

17 磨平机 13B

7 台7台+0 --

18 超声波清洗机 ―

1 台1台+0 -- 一期 -

4 -

19 测厚仪 ID-F125 机械式

2 台2台+0 --

20 平晶片清洗机 ―

1 台1台+0 --

21 甩干机 ―

2 台2台+0 --

22 平检测厚仪 CL-2400

3 台3台+0 --

23 平检测电阻仪 RT-80

3 台3台+0 --

24 贴片机 SCMM-19

1 台1台+0 --

25 抛光清洗机 ―

2 台2台+0 --

26 真空包装机 J-V006

1 台1台+0 --

27 燃柴油锅炉(中央 空调用)

150 万大卡

2 台0-2 台 淘汰

28 燃柴油锅炉(制程 用)

10 万大卡

8 台1台-7 台 淘汰

29 冷却塔 金日

8 个8个+0 --

30 冷却塔循环水泵 12m3/h

8 台8台+0 --

31 空压机 30HP

2 台2台+0 --

32 空压机 50HP

1 台1台+0 --

33 空压机 75HP

2 台2台+0 --

34 空压机

100 HP

1 台1台+0 --

35 自来水深加工系统 8t/h

4 套4套+0 --

1 酸洗机 /

2 台2台+0

2 切断机 6〃

2 台2台+0

3 圆磨机 GM-600-12

4 台4台+0

4 STC 切片机 22〃

12 台12 台+0

5 MB 切片机 TS-23

8 台8台+0

6 粗洗机 KWS-Q90924F

2 台2台+0

7 甩干机 /

1 台1台+0

8 热处理炉 /

1 台1台+0

9 粗检测厚仪 Cl-2400

2 台2台+0

10 粗检测电阻仪 SDY-4

1 台1台+0

11 圆边机 TMB-25 TMB-25

2 台2台+0

12 超声波清洗机 /

1 台1台+0

13 甩干机 /

1 台1台+0

14 接触式测厚仪 ID-F125

1 台1台+0

15 磨平机 13B

3 台3台+0

16 超声波清洗机 /

1 台1台+0 利用一期 原有设备 二期 -

5 -

17 测厚仪 机械式

2 台2台+0

18 平晶片清洗机 /

1 台1台+0

19 平检测厚仪 ID-F125

2 台2台+0

20 平检测电阻仪 RT-80

2 台2台+0

21 抛光清洗机 /

2 台2台+0

22 真空包装机 J-V006

1 台1台+0

1 长晶炉 CG6000

6 台6台+0

2 NTC 线切割机 MWM442DM

4 台4台+0

3 自动圆边机 DEP-200

2 台2台+0

4 22B 磨平机 22B-5L-T0101

1 台1台+0

5 电阻分类仪 ADE-9500

1 台1台+0

6 LTO 炉WJ-999

2 台2台+0

7 LTO 清洗机 /

2 台2台+0

8 贴片机 SCMM-19

1 台1台+0

9 抛光机 SPM-19

2 台2台+0

10 Pre-clean 清洗机 /

1 台1台+0

11 Frin clean 清洗机 /

1 台1台+0

12 BSD 清洗机 /

1 台1台+0

13 冷却塔 金日

4 台4台+0

14 冷却塔循环水泵 35m3/h

8 台8台+0 二期新增 设备

15 天然气锅炉

2 台1.8WM

1 台2.1WM

0 3 台+3 台 新增 替换 原柴 油锅 炉-6-工程内容及规模(不够时可附另页):

1、项目由来 昆山中辰矽晶有限公司位于昆山市玉山镇城北汉浦路

303 号, 是1999 年成立的外资企 业,主要生产加工硅晶圆、硅晶粒等硅晶产品及微电子技术产品;

高级整流器、变阻器、 热电子元件等产品. 项目分两期进行建设, 一期年生产硅晶片

480 万片于

1999 年10 月22 日通过环保审批, 一期扩建年生产硅晶片

132 万片项目于

2003 年11 月21 日通过环保审批(昆环建【2003】

2360 号) ,于2005 年7月8日通过环保验收.二期项目于

2007 年5月15 日通过环保审批 (苏环管【2007】99 号) ,于2008 年12 月23 日通过环保验收(苏环验【2008】620 号) . 项目废气包括酸性废气、碱性废气、工业粉尘及柴油锅炉废气,根据原环评及验收报 告,一期酸性废气通过两台洗涤塔洗涤后

1 个排气筒外排,一期碱性废气通过两台洗涤塔 洗涤后

1 个排气筒外排,一期工业粉尘通过一台水洗塔洗涤后排气筒外排,二期酸性废气 通过两台洗涤塔洗涤后

2 个排气筒外排,二期碱性废气通过两台洗涤塔洗涤后

2 个排气筒 外排,二期工业粉尘通过

1 台洗涤塔洗涤后

1 个排气筒外排.10 台柴油锅炉燃烧废气经过 18m 排气筒外排.

2015 年3月公司就排放的废气呈黄色遭到周围居民投诉,经公司核查,其原因为二期 项目酸性废气中氮氧化物污染物浓度较高,为改善其影响,公司拟对二期项目中含氮氧化 物的废气单独收集处理,废气经二级氧化还原塔洗涤处理后排气筒排放,同时为避免排气 筒风机损坏导致废气直排,对所有酸性碱性废气排气筒设置备用风机.另外随着天然气管 道铺设到位,使用天然气锅炉代替原有的柴油锅炉,仅保留一台柴油锅炉冬天备用. 原一期项目碱性废气通过

2 个洗涤塔洗涤后

1 个排气筒排放,由于

2 个碱性废气洗涤 塔位置较远,并且中间被酸性洗涤塔隔开,为便于废气排放,一期项目碱性废气通过

2 个 洗涤塔洗涤后

2 个排气筒排放. 根据《中华人民共和国环境保护法》 、 《中华人民共和国环境影响评价法》和《建设项 目环境影响评价分类管理名录》(环保部令第

33 号)的有关要求,本项目应当编制环境影响报 告表.为此,项目建设单位特委托我单位――江苏环球嘉惠环境科学研究有限公司对本项 目进行环境影响评价.在接受委托之后,我单位组织人员到项目所在地进行了细致的踏勘, 并在基础资料的收集下,按照《环境影响评价技术导则》要求,编制了该项目环境影响报 告表. -

7 -

2、项目概况 项目名称:昆山中辰矽晶有限公司废气处理措施改造项目 建设单位:昆山中辰矽晶有限公司 建设地点:昆山市玉山镇城北汉浦路

303 号 建设性质:改建 经营范围:生产加工硅晶圆、硅晶粒等硅晶产品及微电子技术产品;

高级整流器、变 阻器、热电子元件等产品 总投资和环保投资情况:本项目总投资

200 万元,其中环保投资

200 万元,占总投资 的100%. 建设项目产品方案 主要产品及产量见表 1-3. 表1-3 主要产品及产量 年设计能力(万片/a) 工程名称 产品名称 改建前 改建后 增量 年运行时 数h备注 3〃粗晶片

120 120 +0 4〃粗晶片

120 120 +0 3〃平晶片

120 120 +0 4〃平晶片

120 120 +0 3〃抛光片

72 72 +0 4〃抛光片

60 60 +0 一期 生产车间 6〃硅晶片

300 300 +0 二期 合计 以6〃硅晶片计

750 750 +0

7200 --

3、建设内容 表1-4 公用及辅助工程一览表 类别 建设名称 建设内容 备注 公用 工程 供电

10 万kWh/a 市政电网 一期碱性废气 两套洗涤塔处 理2个20m 排气筒排放 环保 工程 废气二期清洗酸性废 气 两套洗涤塔处 理2个22m 排气筒排放 -

8 - 二期酸洗酸性废 气 一套氧化还原 洗涤塔处理

1 个22m 排气筒排放 天然气锅炉燃烧 废气 --

2 个18m 排气筒排放 噪声治理 - 主要由隔声罩、减振垫等组成

4、项目周边环境 本项目位于昆山市玉山镇城北汉浦路

303 号,周边情况描述如下:西侧为汉浦路、南 侧为广野路及江苏亚速克精密机械有限公司,东侧为名俊百盛一站式汽车服务,北侧为上 海沃电自动化仪表有限公司,项目 300m 范围内环境敏感点为西侧距项目厂界约 40m 的寰 庆花园小区,东南侧距........