PDF《自动转动平台-5相步进电机》

G084 Motorized Stages 介绍 控制器/驱动器 软件 AC伺服 电缆 压电陶瓷 直线运动系列 摆动 真空用 选购件 40mm 60mm 80mm 85mm 100mm 120mm 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 其它 转动系列 步进电机 自动转动平台-5相步进电机 OSMS-YAW 采用滚动轴承为导轨, 使用蜗轮蜗杆为驱动机构的步进电机型转动平台.

技术指标 型号 OSMS-80YAW OSMS-120YAW OSMS-160YAW OSMS-120YAW-W 机械 技术指标 转动范围 逆时针转动CCW方向为∞, 顺时针转动CW方向在0度附近 (-2.5° ) 停止 台面尺寸 〔mm〕 φ80 φ120 φ160 φ120 驱动机构 (减速比) 蜗轮蜗杆 (1 : 144) 蜗轮蜗杆 (1 : 144) 蜗轮蜗杆 (1 : 144) 蜗轮蜗杆 (1 : 144) 导轨形式 滚动轴承 十字交叉滚柱 十字交叉滚柱 十字交叉滚柱 主要材料 铝合金・铝青铜 铝合金・铝青铜 铝合金・铝青铜 铝合金・铝青铜 自重 〔kg〕 1.1 2.0 2.5 5.5 精度 技术指标 分辨率 (整步) 〔° /脉冲〕 0.005 0.005 0.005 0.005 (半步) 〔° /脉冲〕 0.0025 0.0025 0.0025 0.0025 最大速度 〔° /sec〕

30 30

30 30 定位精度 〔° 〕 0.15 0.1 0.1 - 重复定位精度 〔° 〕 0.02 0.02 0.02 0.02 承载能力 〔N〕 98(10.0kgf) 196(20.0kgf) 196(20.0kgf) 196(20.0kgf) 扭矩刚度 〔″ /N・cm〕 0.2 0.1 0.1 - 空行程 〔° 〕 0.05 0.05 0.05 - 传动副间隙 〔° 〕 0.08 0.08 0.08 0.08 平行度 〔μm〕

50 50

60 - 同心度 〔μm〕

30 30

30 - 台面跳动量 〔mm〕 0.02 0.02 0.02 - 传感器 传感器型号 微型光电传感器: PM-F25 (SUNX (株) ) 极限位置传感器 有 (常闭) 有 (常闭) 有 (常闭) 有 (常闭) 原点传感器 无无无无近接原点传感器 无无无无电机/传感器技术指标 电机 类型 5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR (株) ) 型号 PK525HPB-C4(28mm) 步距角 0.72° 传感器 电源电压 DC5?24V±10% 消耗电流 15mA以下 输出端电气特性 NPN集电极开路输出 DC30V以下50mA以下 信号的含义 遮光时: 输出晶体管OFF (截止) 推荐选用的驱动器/控制器型号 电器系统 驱动器 MC-S0514ZU, SG-514MSC, MC-7514PCL 控制器 SHOT-702, HSC-103, GIP-101, SHOT-302GS, SHOT-304GS, HIT-M・HIT-S, PGC-04-U ?上下倒置或垂直面安装使用时需要注意, 安装方向不同时, 其精度或承 载能力等指标会不同的. ?转动范围 ?我们将自动转动平台的CW方向的极限位置传感器兼为原点传感器使用 了,以此位置为参考进行原点复位. ?我们规定, 以半步细分驱动, 并采用MINI方式进行原点复位操作时的停 止位置为刻度0度位置. 注意 信息 ?非常适用于测量・检查・评价装置定位用的自动平台. 负极限位置传感器: -2.5° 刻度: 0° 逆时针 CCW方向为∞ 顺时针CW方向在 0度附近 (-2.5° ) 停止 G085 WEB http://www.sigma-koki.com/index.php?lang=cn E-mail international@sigma-koki.com TEL +81-3-5638-8228 FAX +81-3-5638-6550 介绍 控制器/驱动器 软件 AC伺服 电缆 压电陶瓷 直线运动系列 摆动 真空用 选购件 40mm 60mm 80mm 85mm 100mm 120mm 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 其它 转动系列 步进电机 Cable Controller Stage Cable Driver DAC-SG 控制器/驱动器和电缆的选配 OSMS-80YAW OSMS-120YAW OSMS-160YAW OSMS-120YAW-W G020?G021 G120 G120 各种驱动器 D15D15A-CA SHOT-702 GIP-101 HSC-103 SHOT-302GS SHOT-304GS HIT-M HIT-S PGC-04-U 〔2轴〕 〔1轴〕 〔3轴〕 〔2轴〕 〔4轴〕 〔8轴〕 〔4轴〕 G110?G117 W9028 目录编号 外形图 内六角螺栓 M4*10…3个OSMS-80YAW 内六角螺栓 M6*10…3个OSMS-120YAW 内六角螺栓 M6*10…3个OSMS-160YAW 内六角螺栓 M6*18…3个OSMS-120YAW-W φ32 ( ) +0.04 +0.005 (153)

89 40

70 50

32 4-M3 深5 4-M4 深5 P.C.D.62 4-M4 深5

80 70

50 32

40 φ80 (98) 2-M6 深5 3-φ4.5安装孔 φ8.2沉孔

35 17 (117)

5 17

1 (33) φ64 ( ) +0.05 +0.005 (246) (183.5)

50 1

4 5

1 1

5 2

5 2

5 8-M4 M16*1

6 0

2 5

2 5 φ120

122 61

100 50 4-M4深6 P.C.D.100 4-M4 深6 (208)

170 150

50 85 (83.5) (27.5) (92.7) 4-φ6.5安装孔

101 55

10 10 (99)

56 28 φ64( ) +0.05 +0.005 (183.5)

128 122

100 50

61 4-M4 深6 4-M4 深6 P.C.D.100 φ120

123 100

50 61 (137) (68.7) (17.5)

35 5 3-φ6.5安装孔 φ11沉孔 (33)

18 2 φ60( ) +0.05 +0.005 (202.5) (183.5) φ11安装孔

122 100

50 61 4-M4 深6

123 100

50 61 φ160 4-M4 深6 (156) (137) (68.7) (17.5) 3-φ6.5安装孔 φ11沉孔

43 35

5 (33)

18 2 将OSMS-120YAW-W原点复位时, 位置如下图所示. MINI方式 接到来自控制器的机械原点复位命令后, 平台将以 内存设定的转动速度(F)开始向CW (-) 方向转 动, 并停止于CW (-) 侧极限位置传感器位置. 然后, 以转动速度 (F) 向CCW (+) 方向转动1000 个脉冲后停止. 接着以内存设定的起动速度 (S) 向CW (-) 方向转 动, 并停止在CW (-) 侧极限传感器位置. 最后, 以转动速度 (F) 向CCW (+) 方向转动1000 个脉冲后停止. 我们定义最后这个停止位置为机械原点位置. 转动速度 (F) CW (-) CW (-) CCW (+) CCW (+) CW (-) 侧极限位置传感器 转动速度 (F) 转动1000个脉冲 转动速度 (F) 转动1000个脉冲 起动速度 (S) 平台 关于机械原点的检测方法 接线图 使用西格玛光机公司的控制器, 通过输出 "+" 方向转动命令, 从载物台上面观察时的 CCW (逆时针) 方向可以无限 (∞)转动, 但在CW (顺时针) 方向将在机械原点传感器 (CW极限位置传感器) 位置附近停止. 我们兼用CW方向极限位置传感器为机械原点传感器, 原点检测方法推荐使用MINI方式. 电缆插头型号: 第一电子工业 (株) 制17JE-13150 注1 注2 A相 B相 C相 D相 E相 机械原点传感器 (CW极限位置传感器) 5相步进电机 插头插针号码 广濑电机 (株) 制SDAB-15P相当品 SUNX (株) 微型光电传感器 PM-F25 (黑导线入光时为ON)

1 2

3 4

5 6

7 8

9 10

11 12

13 14

15 1

2 3

4 5

6 7

8 9

10 11

12 13

14 15 注2 注1 N.C. (未使用) N.C. (未使用) GND GND +VS 机械原点传感器 (CW极限位置传感器) N.C. (未使用) 电机导线 电机导线 电机导线 电机导线 电机导线