PDF《建设项目环境影响报告表》

建设项目环境影响报告表 项目名称: 默克电子材料(苏州)有限公司光刻胶研发实 验室建设项目 建设单位(盖章):默克电子材料(苏州)有限公司 编制日期:

2016 年12 月 江苏省环境保护局制

1 《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制.

1. 项目名称……指项目立项批复时的名称,应不超过

30 个字(两个英文字段 作一个汉字) . 2. 建设地点……指项目所在地详细地址,公路、铁路应填写起止地点. 3. 行业类别……按国标填写. 4. 总投资……指项目投资总额. 5. 主要环境保护目标……指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、 学校、 医院、 保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等,应尽可能给出保护目标、性质、 规模和距厂界距离等. 6. 结论与建议……给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论,确定 污染防治措施的有效性,说明本项目对环境造成的影响, 给出建设项目环境可行性 的明确结论.同时提出减少环境影响的其它建议. 7. 预审意见……由行业主管部门填写答复意见,无主管部门项目,可不填. 8. 审批意见……由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复

2

一、建设项目基本情况 项目名称 默克电子材料(苏州)有限公司光刻胶研发实验室建设项目 建设单位 默克电子材料(苏州)有限公司 法人代表 ALASDAIR NIGEL DE MOUILPIED JELFS 联系人 丁燕 通讯地址 苏州工业园区龙浦路

70 号 联系电话

13913537523 传真

62836227 邮政编 码215000 建设地点 苏州工业园区龙浦路

70 号 立项审批部门 苏州工业园区经济发展委员会 批准文号

3205101604290 建设性质 新建 改扩建 √技改 行业类别 及代码 M7320 工程和技术研究与试 验发展 占地面积 (平方米)

300 绿化面积 (平方米) / 总投资 (万美元)

285 其中:环保投资 (万美元)

8 环保投资占 总投资比例 2.8% 评价经费(万元) / 预期投产日期 2017.9 原辅材料(包括名称、用量)及主要设施规格、数量(包括锅炉、发电机等) 表1-1 主要原辅材料消耗表 产品 名称 类别 名称 组分/规格 年耗量 包装储 存方式 最大储 存量 来源及运输 现有项 目 本项 目 光刻 胶样 品 原料 光刻胶浓缩液 电子级 / 300L 桶装 50L AZ 集团 丙二醇甲醚醋 酸酯 电子级 / 700L 桶装 100L 国内、汽运 辅料 丙酮 工业级 / 0.5t 桶装 0.1t 国内、汽运 显影液 水98%,四甲基 氢氧化铵 2% / 200L 桶装 50L 国内、汽运 光刻 胶原辅料 光刻胶浓缩液 电子级 1650t / 桶装 20t 国内、汽运 丙二醇甲醚醋 酸酯 电子级 1352t / 桶装 80t 国内、汽运 丙酮 工业级

5 / 桶装 2t 国内、汽运 清边 液 丙二醇甲醚醋 酸酯 电子级 101.4t / 桶装 20t 国内、汽运 丙二醇甲醚 电子级 51t / 桶装 80t 国内、汽运 废清边液 水1%、丙二醇 甲醚 39%、丙二 醇甲醚醋酸酯 2500t / 罐装 80t 回收

3 55%、 聚合物 5% 回收 剥离 液 废剥离液 水1%、单乙醇 胺22%、二甲基 亚砜 20%、乙二 醇醚 52%、聚合 物5%

4500 / 罐装 80t 回收 表1-2 主要原辅料、中间产品、产品理化特性、毒性毒理 序号 名称及标识 理化特性 燃烧爆炸性 毒性毒理

1 名称:丙二醇 甲醚醋酸酯 分子式:C6H12O3 CAS:108-65-6 危规号:/ 性状:无色透明液体 分子量:132.16 熔点(℃) :-87 沸点(℃) :145 饱和蒸气压(mmhg,20℃) :3.7 蒸汽密度:>

1 相对密度(水=1) :0.97 溶解性:19.7g/l(25℃) . 闪点 :110°F 自燃点:/ 爆炸极限:在空 气中,20°C 时1.5%~7.0%(体积) LD50:无资料 LC50:无资料

2 名称:丙酮 分子式: C3H6O CAS:67-64-1 危规号:/ 性状:无色易挥发易燃液体 分子量:58 熔点(℃) :-94 沸点(℃) :56 饱和蒸气压(mmhg,20℃) :184 蒸汽密度:2 相对密度(水=1) :0.791 溶解性:/ 闪点 :1°F 自燃点:/ 爆炸极限:爆炸 上限%(v/v ) 13.0 , 爆炸下限%(v/v)2.5 LD50 : 5800mg/kg ( 大鼠经口);

20000mg/kg(鼠经 皮) LC50:无资料

3 名称:四甲基 氢氧化铵 分子式:C4H23NO6 CAS : 10424-65-4 危规号:/ 性状:无色结晶 分子量:181.23 熔点(℃) :67-70 沸点(℃) :110 饱和蒸气压(mmhg,20℃) :17.5 蒸汽密度:1.1 相对密度(水=1) :0.88 溶解性:可溶于水 闪点 :80°F 自燃点:/ 爆炸极限:爆炸 上限%(v/v)/, 爆炸下限%(v/v)/ LD50:无资料 LC50:无资料

4 名称:光刻胶 浓缩液 分子式:/(混 合物) CAS:/ 危规号:/ 性状:红棕色液体 闪点 : 121.1°F 自燃点:/ 爆炸极限:爆炸 上限% (v/v) 1%, 爆炸下限%(v/v)10.8% LD50:无资料 LC50 : >

100mg/L (橙红色将鱼)

4 表1-3 主要设备一览表 类型 名称 规模型号 数量(台/ 套) 产地 备注 生产设备 曝光机 尼康 FX-601

1 台 日本 新增 均胶机 LithoTech

1 台 进口 新增 膜厚多功能测量仪 K-Mac

1 台 进口 新增 电学性能测量仪 安捷伦

1 台 进口 新增 公用工程 空气冷却器 气冷型

1 台 中国 利用现有 风机 /

1 台 中国 新增 空压机 PO-11M5A

3 台 日本 利用现有 环保工程 活性炭吸附装置 3*5000m3 /h、 6000m3 /h、 36720m3 /h

5 套 中国 利用现有的一套 水及能源消耗量 名称消耗量 名称消耗量 水(吨/年)

150 燃油(吨/年) / 电(万度/年)

50 燃气(标立方米/年)

20000 燃煤(吨/年) / 其它 / 废水(工业废水、生活废水?)排水量及排放去向 本项目不产生生产废水,员工生活污水产生量为 130m3 /a,经市政管网排入园区污水处理 厂处理达标后进入吴淞江. 放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况 无5工程内容及规模:

1、项目由来 科莱恩 AZ (苏州) 有限公司成立于

2004 年1月18 日, 位于苏州工业园区龙浦路

70 号,

2005 年1月建成,并于当年

3 月中旬成功地生产出首批应用于大屏幕薄膜晶体管(TFT)工艺的光刻胶 及其相关辅助产品,该公司投资方为科莱恩 AZ(瑞士)有限公司,2006 年投资方改为安智电子 材料(苏州)有限公司,并对企业名称进行了更改.

2014 年5月安智电子材料 (苏州) 有限公司被德国默克集团成功收购, 纳入功能材料事业部. 被收购后厂名于

2015 年4月1日正式更名为默克电子材料(苏州)有限公司. 现有项目曾以科莱恩 AZ(苏州)有限公司和安智电子材料(苏州)有限公司名义申报,企 业更名后实际生产以默克电子材料(苏州)有限公司名义进行,因此上述三家公司实为同一企业. 现有项目为年产光刻胶 3000t/a、清边液 2400t/a、剥离液 3000t/a,目前产品研发依赖国外实 验室的工作, 而随着国内液晶面板工厂的迅速发展, 原有的技术支持已不能满足国内市场的需要, 将会导致产品市场占有率下滑,因此企业拟建设光刻胶研发实验室进行试验性生产,进行光刻胶 的配方研发,性能测试,与客户进行应用工艺条件探索,从小量到中量样品制备,给液晶面板工 厂提供新技术方案,以满足客户要求,保证公司产品市场占有率. 本项目生产设备均为大量生产时所用设备,实际实验过程仅需少量样品进行检测分析,检测 的量较少,在设备生产能力范围内. 该实验室项目已取得外企投资备案通知书及国土环保局预审,详见附件.实验室位于生产车 间预留空间内.

2、地理位置及周围环境简况 本项目位于苏州工业园区龙浦路

70 号的原厂区范围内,项目所在厂区地块为工业用地项目 周边多为工业企业,厂区北侧为巴塞尔聚烷烃工程塑料苏州公司,东侧为空置厂房,南侧为大东 傲胜保健器(苏州)公司,西侧隔方达街为泰琪科技(苏州)公司.本项目周边 500m 范围内无 敏感点,项目周围

500 米范围内环境概况见附图 3.

3、主体工程及产品方案 本项目为现有车间加建工程,根据目前生产需要,企业计划在生产车间中部空余位置布置

1 间实验室,占地面积 300m2 ,实验室及各建筑构件耐火等级为二级. 实验室内主要进行小规模光刻胶样品研发.

6 表1-4 产品方案 序号 生产线 产品名称 规格 设计能力 年运行时数 (h) 现有项目 本项目

1 光刻胶研发 / 光刻胶样品 电子级,50-200ml 1000L/年8*250h

2 光刻胶生产线 光刻胶 / 电子级、25kg/桶3000t/a 8*300h

3 清边液生产线 清边液 / 电子级、1000L/桶2400t/a

4 剥离液生产线 剥离液 / 电子级、1000L/桶3000t/a

3、公用及辅助工程 表1-5 公用及辅助工程 类别 建设名称 设计能力 备注 现有项目 本项目 全厂 贮运工程 低温仓库 1060m2 30m2 1090m2 储存原材料,本项目在实验室内单独设置 防爆冰箱 常温仓库 226m2 / 276m2 储存成品,利用现有 危化品仓库 330m2 / 330m2 利用现有 储罐区 1100m2 / 1100m2 本项目不使用储罐 公用工程 给水 29943m3 /a 150m3 /a 30093m3 /a 由市政自来水厂供给 排水 15360m3 /a 130m3 /a 15490m3 /a 经厂排口排入市政管网,入园区污水处理厂 处理 供电

212 万kwh

50 万kwh262 万kwh 当地电网供给 压缩空气 6.4m3/min

0 6.4m3/min 空压机房,1 台,利用现有 冷却塔 20Nm3 /h, 37kw,1台/20Nm3 /h, 37kw,1 台 本项目不使用冷却塔 纯水 5t/h,2 台/5t/h,2 台 本项目不使用纯水 辅助工程 办公室 1000m2

0 1000m2 工作人员办公、休息,利用现有 环保工程 废气处理 抽真空废 气5000m3 /h /

5 套 本项目清洗废气利用现有清洗间

1 的活性炭 装置及其配套的 2#排气筒, 混合废气利用投 料区的活性炭装置及 5#排气筒 清洗间废 气36720m3 /h 5000m3 /h 5000m3 /h 投料废气 6000m3 /h 固废暂存 区 一般固废 10m2

0 10m2 一般固废暂存,防渗漏,利用现有 危险废物 10m2

0 10m2 危险固废暂存,防渗漏,利用现有

4、劳动定员及工作制度 职工人数:目前员工为

52 人,本项目实验室新增

5 人. 工作制度:全年运行 250d,8 小时工作制,年工作 2000h. 生活设施:依托现有厂区内生活设施. 与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题

7 现有项目为年产光刻胶

3000 吨、清边液

2400 吨、剥离液

3000 吨.

1、现有项目概况 现有项目位于苏州工业园区龙浦路

70 号, 项目自

2004 年成立以来共进行两次环评及一次修 编.公司建设历程如下: 表1-6 公司建设项目情况 编号 项目名称 批文号 产品名称 验收情况

1 科莱恩电子材料(苏州)有限公司年产光 刻胶

720 吨和年产售后回收制纯清边液

2160 吨、异丙基乙醇稀释剂

4800 吨、剥 离液

3600 吨生产项目 苏园环复字 [2004]36 号 光刻胶、清边液、剥 离液、异丙基乙醇稀 释剂 已验收

2 安智电子材料(苏州)有限公司产能调整 项目 已批复

001636100 光刻胶、清边液、剥 离液 已验收

3 关于安智电子材料(苏州)有限公司产能 调整项目的修编报告 已批复, 2014.5.30 光刻胶、清边液、剥 离液

2、主要污染物产生环节、治理措施、排放状况 (1)现有项目主要工艺流程如下: a、光刻胶生产 图1-1 光刻胶生产工艺流程图 工艺说明简介: 将光刻胶浓缩液、丙二醇甲醚醋酸酯经检验合格后,分别加入到调制釜内进行混合,混合前

8 容器管道用原料溶剂清洗干净,清洗溶剂可用于下次管道清洗.加料环节产生的有机溶剂废气 G1 经活性炭处理后通过 5#排气筒排放,废空桶 S

1、有机溶剂废液 S2 有有资质单位处理. 混合后进行检验,根据产品要求的比例加入原料进行调整,检验有有机溶剂废液 S2 产生, 委托有资质单位处理. 经检验合格后进行过滤,过滤有废滤芯 S

3、检验有有机溶剂废液 S2 产生,委托有资质单位 处理. 过滤后经检验合格包装为成品.检验产生的废有机溶剂 S2 委托有资质单位处理.包装前需 用纯水对包装桶盖子表面的灰尘及颗粒进行清洗,清洗废水排入市政管网. b、清边液生产 图1-2 清边液生产工艺流程图 清边液生产时原料来源于两部分:回收的清边液和直接购买的原料,其中回收的清边液经初 馏、 精馏后打入储罐, 名称定为丙二醇甲醚醋酸酯回收液和丙二醇甲醚回收液, 然后再进行混合、 过滤;

外购的原料直接进行检验、混合、过滤. 工艺说明简介: 1)蒸馏过程工艺说明 废清边液进行入厂检验,检验合格后将原料打入第一个蒸馏塔内进行蒸馏提纯,根据原料将 蒸馏温度设在 90-150℃,采用负压蒸馏,先加热进行初馏去除杂质、水分等.产生的蒸馏残渣 S

6、有机溶剂废液 S7 委托有资质单位处理,抽真空废气 G2 经冷凝后由活性炭处理后通过

15 米 高排气筒排放. 将初馏后的气体冷却后........