DOC《上海大学公开邀请招标购置 “高真空快速退火炉”的公告》

上海大学公开邀请招标购置 "高真空快速退火炉"的公告 招标编号:SDSB-10028 根据《中华人民共和国政府采购法》《上海市政府采购招标暂行办法》和《上海大学仪器 设备招、投标管理办法》,上海大学材料学院微电子技术实验室因教学、科研发展需要,现公 开邀请招标采购高真空快速退火炉.

设备需求 1. 设备名称:高真空快速退火炉 2. 技术要求: 2.1 快速退火炉本体 2.1.1 样品台尺寸:Φ75mm 2.1.2 加热元件:IR红外线加热管? 2.1.3 最高工作温度:1000℃ 2.1.4 最快升温速率:真空:120℃/sec;

保护气体:100℃/sec 2.1.5 加热区长度:>φ170 x170mm 2.1.6 控温方式:智能化30段可编程控制 *2.1.7 恒温精度:±5℃ 2.1.8 温度测量精度:±0.5℃ 2.1.9 工作电源:AC220V /50Hz 2.1.10 额定功率: