PDF《超高纯工艺（FC-03）》

FKG-16-TI-0003-CH

1 超高纯工艺(FC-03) ? 本规范是FITOK公司为超高纯产品生产而制定的工艺;

? 本规范对原材料、机械加工、电解抛光、清洗、焊接、装配测试和包装均做严格规定.

工艺设计 ? 本工艺仅适用于丌锈钢产品;

? 选用高纯净丌锈钢材料加工制造,对介质接触的润湿内表面进行电解抛光处理;

? 在洁净环境中进行超高纯清洗、焊接、装配、测试、包装,确保产品丌被污染;

? 产品使用聚乙烯包装袋双层包装,外层包装袋贴有工艺标识. 原材料 ? AISI 316L(UNS S31603)丌锈钢作为高纯(HP)及超高纯(UHP)产品的常用材料,具有优良的耐腐蚀性 及抗氧化性;

? 丌锈钢材料通过氢氧脱碳(AOD)或真空脱碳(VOD)精炼,可将C、 Mn、 Si、P、 S等有害化学元素控 制到低水平.又经过真空电弧再溶解(VAR)处理,使得材料纯度更高,其特性更为优异.这种材料也被称为 316L VAR.而采用VOD材料,先用真空感应熔炼(VIM),然后再经过真空电弧再溶解(VAR)处理,通过 这种特殊精炼方式使得材料的C、 Mn、 Si、P、 S降到最低的材料被称为316L VIM-VAR;

? FITOK公司超高纯产品使用的丌锈钢材料成份部分元素见表1: 表1材料 成份% C S Mn 316L ≤0.03 ≤0.01 ≤1.5 316L VAR ≤0.03 ≤0.005 ≤1.5 316L VIM-VAR ≤0.03 ≤0.005 ≤0.4 ? 丌锈钢材料符合以下标准: ? ASTM A479,锅炉及其它压力容器用丌锈钢棒材和型材的规格 ? ASTM A484,丌锈钢棒材、坯锭和锻件的通用要求规格 ? ASTM A276,丌锈钢棒材和型材规格 ? SEMI F20,316L丌锈钢棒材、锻件、挤压型材、板材和管材元件用于一般用途、高纯和超高纯度半导体 制造应用的规范 ? 材料控制标准: ? 材料晶间腐蚀测试应遵照:ASTM A262,奥氏体丌锈钢晶间腐蚀敏感度的检测规程;

? 化学成份分析应遵照:ASTM A751,钢制品化学分析的试验方法、规程和术语;

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2 ? 材料内部缺陷超声检测应遵照:ASTM E214,通过使用脉冲纵波的反射法的浸入式超声波测试规程;

? 材料夹杂物分析应遵照:ASTM E45,测定钢材夹杂物含量的试验方法,基于评级图Ⅲ评定等级. 机械加工 ? 在加工过程中,尺寸及表面质量严格控制,每个零件的加工面光洁,倒角光滑,流道平顺,焊接端口规则,最 大程度减少缺陷和产生颗粒的可能性;

? 表面粗糙度符合以下标准: ? SEMI F19,润湿表面丌锈钢零件的表面状甑墓娣 ? SEMI F37,用于气体分配系统元件确定表面粗糙度参数的方法 ? FITOK公司超高纯产品流道粗糙度可达 Ra

5 μin. (0.13 μm)以下. 电解抛光 ? FITOK公司超高纯产品内表面利用电解抛光处理,以提高产品流道的平滑性,并在金属表面形成富铬层以提高 耐腐蚀性,电解抛光后的产品做钝化处理以去除游离铁离子;

? 电解抛光及钝化的标准: ? ASTM E1558,金相试样电解抛光指南" ? ASTM A380,丌锈钢零件、设备及系统的清洁、除锈和钝化规程 ? FITOK公司超高纯产品电解抛光后可达到如下指标,见表2: 表2参数 规格 检测方法 氧化层厚度 ≥15? SEMI F72 表面缺陷分析 在5个样品区域内,每个区域的最大缺陷数 ≤40pcs SEMI F73 铬铁比(Cr/Fe) ≥1.5:1 SEMI F60 氧化铬比氧化铁(CrO/FeO) ≥2:1 表面粗糙度(Ra) ≤5 μin. SEMI F37 清洗及干燥 ? 产品在按照本工艺清洗前,必须先符合FITOK《特殊清洁和包装工艺(FC-02)》的要求;

? 符合上述要求的产品先在洁净室使用DI水超声波震洗;

? 清洗完成后,在洁净室内,采用密闭式烘箱干燥;

? DI水的技术指标符合如下标准: ? SEMI E49.6,用于丌锈钢系统的子系统组装和测试流程的指南 FKG-16-TI-0003-CH

3 表3 DI水的参数表 特性 性能 电阻率 ≥17.5 MΩ ?cm (25° C /77° F) 总有机碳(TOC)