PDF《(4)有机发光二极管显示面板生产企业进口生产设备清单》

1 烘炉 固化机(炉)/对流式加热炉/有机膜层后烘机/框 胶硬化机/柔性基板固化机/平板显示器玻璃贴 合封框胶热硬化炉 Oven/Baking Machine/PL Oven/Before ODF Oven/Seal Main Cure Oven/Vacuum Pressure Oven/Flexible Substrate Baking Machine

2 装卸载装置/成盒前玻璃基板搬送机/装卸机/装 载卸料设备/索引机 Loader &

Unloader/ODF Inline Transfer System/LD/ULD /Index/Indexer

3 天棚搬送装置 OHS

4 机械手/机器人/无尘机械手 ROBOT /Clean robots

5 基板搬运车 MGV/AGV

6 港湾式储存搬送装置/存储搬送装置/卡匣式自 动装卸运输机 Bay Stockor /Stockor

7 溅射机/阵列真空金属溅射机/氧化铟锡真空溅 射机 Sputtering machine

8 等离子加强气相沉积设备/化学气相沉积机(装置)/等离子化学气相沉积设备 PECVD/CVD

9 涂布机/涂覆机/柔性基板涂布机 Coater/PI COATER/COATER/PI Inkjet Printer/Flexible Substrate Coater

10 曝光机/边缘曝光机/打码及边缘曝光机/阵列曝 光机 Exposure Machine/Exposure/Edge Exposure/Titler &

Edge Exposure

11 长尺寸测定仪 Total Pitch/Total Pitch Measurement

12 基板打标机 Numbering M/C /titler

13 显影机/涂布显影机/涂胶显影机 Developing Machine /Coater &

Developing Machine/TRACK

14 恒温污染物处理设备 TAU

15 曝光前温控设备/温控器 TCU

16 显影回收系统 Photo Resist Segregation System

17 清洗回收系统 Cleaner Recycle System

18 平板显示器显影液控制系统/平板显示器显影液 回收循环系统 Developer Control System/DRS

19 激光打标机 Laser marking machine

20 有机溶剂过滤机 HPU

21 干法刻蚀机/边缘涂胶机 Dry Etcher/Coater

22 湿法刻蚀机/高粘度PI涂布设备 Wet Etcher/High Viscosity PI Coating System

23 HF蚀刻机 HF Etcher

24 离子注入掺杂设备/离子注入机 Ion implanter/ION DOPING SYSTEM

25 快速退火机(炉/设备)/快速热退火预热机 RTA

26 立式数控电烘箱 Vertical Anneal

27 退火炉/高温退火炉/高温工艺炉/烘焙炉/氧化 铟锡退火机 Anneal M/C/Metal Anneal/ Furnace/Oven

28 晶化炉 Crystallization

29 激光晶化装置/激光退火机/准分子激光退火机 Laser Crystallization machine/ELA

30 灰化机 ASHER

31 加热恒温设备 Heating Jacket

32 干法剥离机 Dry Stripper M/C

33 湿法剥离机/预处理装置 Wet Stripper M/C/Pre-Compaction System (4)有机发光二极管显示面板生产企业进口生产设备清单 (用于确定维修所需进口的零部件免税范围) 序号 涂胶、曝光、 显影 成膜 脱膜 移载、存储 工序 设备分类 设备名称 英文名称(供参考) 蚀刻、离子注 入、晶化、活化、退火 基板 序号 工序 设备分类 设备名称 英文名称(供参考)

34 激光化学气相沉积修补设备/化学气相沉积修补 设备/开路修复机 Array Lazer CVD Repair/CVD Repair/Open Repair

35 阵列返修设备/平板显示器玻璃基板修理机/自 动光学检查机 Array Repair/ARRAY CUT REPAIR/PI Dry Rework/PI Wet Rework/Automatic optical inspection machine

36 激光修补机/激光修复机/切断式修复机/掩模版 激光修复机 Laser Repair Machine/CUT Repair/Mask Laser Repair

37 蒸镀机/平板显示器蒸镀机 Evaporation Unit/FMM EV SYSTEM

38 掩模版(掩膜板/掩膜版)张紧机/平板显示器 掩模版张紧机 Mask Tension Machine/FMM Tension M/C

39 有机材料提纯机 Drganic Materials sublimation Machine

40 氦质谱检漏仪/平板显示器检漏仪 Helium Leak Detector/Leak Detector

41 干泵 dry pump

42 等离子清洗机/平板显示器玻璃基板等离子清洗 装置 Plasma cleaner/AP Plasma

43 对位检查装置/平板显示器玻璃基板对位光学检 测机 Alignment Inspection/Align Inspection

44 点灯设备 Light On (In-Line)

45 封装机/平板显示器玻璃基板紫外固化封装系统 Encapsulation Unit/UV SEAL SYSTEM

46 点胶机/可重工胶涂布机/框胶涂布机/涂覆机 Epoxy coating machine/Dispenser/Seal Dispenser

47 氮气传送设备 N2 transfer Equipment

48 frit激光固化机/平板显示器玻璃基版激光固化 机Laser frit solidifying machine/Frit Laser Seal

49 frit丝印机/平板显示器玻璃基板网版印刷机 Frit screen printing machine/SCREEN PRINTER

50 CVD封装机 CVD encapsulation machine

51 贴合机/平板显示器玻璃基板真空贴盒机 assembly/VACUUM ALIGNER

52 紫外线固化机/平板显示器紫外线固化炉/框胶 紫外线硬化机/紫外光固化机 UV Lamp M/C/UV CURE/Seal UV Cure/UV Curing

53 原子层沉积设备 ALD

54 激光剥离设备 Laser Lift Off machine

55 平板显示器玻璃基板边缘抛光机 Edge Polishing

56 无机膜成膜设备 TFE PECVD

57 有机膜成膜设备 TFE Inkjet Printer System

58 有机膜修复设备 IJP Repair M/C

59 薄膜封装热老化炉 TFE Aging Oven

60 上贴膜机/下贴膜机/贴合机 Top Laminator/Bottom Laminator/Lamination

61 光学胶印刷机 Resin Printer

62 热压机 Hotpress

63 激光剥离机 LLO

64 撕膜机 Delaminator

65 平板显示器平板老化测试系统/平板显示器条状 玻璃基板老化设备/平板显示器老化设备/高温 老化机/老化测试机 Aging Equipment/PANEL AGING/stick aging/Aging Chamber/Aging Oven

66 薄膜封装系统 Thin Film Encapsulation System 基板 蒸镀 老练 封装 老练 、模组面板 修补工序 序号 工序 设备分类 设备名称 英文名称(供参考)

67 平板显示器基板切割机/平板显示器基板切割打 磨机/切割机/玻璃基板分段切割机/异形切割机 /激光切线设备 Glass plate scribing machine/Scriber System/STICK CUT/Q CUT/Q-cut scribe/Glass Cutting &

Polisher/Cut Scriber/CELL Cutting Scriber/CELL Pre Cutting Scriber/Special Cutting Scriber/Laser Trimmer/Laser Auto Trimmer/CELL single Cutting Scriber

68 玻璃裂片机/裂片机 Glass Break Machine/Breaker

69 玻璃磨边机/玻璃基板磨边系统/磨边机/玻璃面 板磨边机 Glass Edge Grind machine/Edge Grinder/After Cell Cutting Beveling

70 ACF贴付机 ACF Bonding Machine

71 绑定机(COG/COF/FOG/FOF) Bonding Machine

72 偏光片裁切机 Polarizer Cutting Machine

73 偏光片清洗机/端子清洗机 Polarizer Cleaner/Edge Cleaner

74 偏光片贴片机/重工偏光板自动贴附机/上覆膜 机/下覆膜机 Polarizer Attaching Machine/Rework Polarizer Attach Machine/TOP Laminator/BOTTOM Laminator

75 水胶贴合机/重工水胶贴合机/真空贴合机/贴合 设备/果冻胶贴合机 OCR Attaching Machine/Rework OCR Attaching Machine/Vacuum Alignment Box/Laminator

76 背光组装机 Assembly

77 激光切割机 Laser Cutting

78 边缘倒角机 Edge Chamfering

79 伽马校正机 Gamma Tuning

80 Mura补偿机 Mura Compensation

81 模组弯折机 Module Pad Bending Machine

82 加压脱泡机 Autoclave

83 化学 品、 气体 装置 化学品、气体 尾气处理/废气处理机 Gas Scrubber

84 动力 水、电、气 有毒气体处理机/吸附浓缩转轮 POU/VOC

85 基板玻璃清洗机/成盒前清洗机/紫外光清洗机/ 高压喷淋清洗机/超声波清洗机/氢氟酸连接式 清洗机/直水连接式清洗机/基板初始清洗.

.......