PDF《重点排污单位环境信息公开表》

(2)含氨废水采用"热风气提+触媒法"处理;

(3)含氟废水采 用" CaCl2 混凝沉淀法"处理;

(4)含铜废水采用"混凝沉淀法"处理;

(5)中 和处理系统采用二次中和处理. 是否正常运行 是否正常运行 是否正常运行 是否正常运行 是 废气 废气 废气 废气处理 处理 处理 处理 设施 设施 设施 设施 是否建设 是否建设 是否建设 是否建设 是 主要处理工艺 主要处理工艺 主要处理工艺 主要处理工艺 (1)锅炉废气 运行过程中使用天然气为燃料,产生的主要污染物为 SO

2、NOx 及烟尘, 通过 39.4m 排气筒排放. (2)酸性废气 酸性废气主要来源于生产工艺过程中的硅片清洗、 湿法刻蚀等工序, 主要污 染物为氟化物、HCl、氮氧化物、硫酸雾、氯气、磷酸及乙酸等.采用碱液 喷淋塔对酸性废气进行处理,处理后通过 42m 排气筒排放. (3)碱性废气 碱性废气主要来源于硅片清洗、显影等工序,主要污染物为氨.采用酸液 喷淋塔对碱性废气进行处理,处理后通过 42m 排气筒排放. (4)酸碱废气 酸碱废气主要来源于硅片清洗过程中部分酸洗、 碱洗时间间隔较短的机台, 主要污染物为氟化物、HCl、氮氧化物、硫酸雾、磷酸及氨.采用碱/酸液喷 淋处理,处理后通过 42m 排气筒排放. (5)酸腐蚀性废气 酸腐蚀性废气主要来源于部分扩散工序使用到 H2 及Cl2 的机台, 主要污染 物为 HCl.采用碱液喷淋处理,处理后通过 42m 排气筒排放. (6)有机废气 有机废气主要来源于硅片清洗、涂胶、去胶等工序,采用沸石转轮浓缩系统 +RTO 炉处理,主要污染物为非甲烷总烃及 VOCS、SO

2、NOx、烟尘,处 理后通过 42m 排气筒排放. (7)含氨废水处理系统废气 含氨废水处理系统废气来源于含氨废水处理系统废气洗涤塔排放的废气, 主 要污染物为 NOx、NH3,采用触媒法及稀酸喷淋处理. (8)砷烷、磷烷废气 砷烷、磷烷来自于离子植入工序,采用 POU 装置处理后通过 42m 排气筒 排放. 是否正常运行 是否正常运行 是否正常运行 是否正常运行 是四四四

四、 、 、 、建设项目环境影响评价及其他环境保护行政许可情况 建设项目环境影响评价及其他环境保护行政许可情况 建设项目环境影响评价及其他环境保护行政许可情况 建设项目环境影响评价及其他环境保护行政许可情况: : : : 建设项目是否经过环评审批 建设项目是否经过环评审批 建设项目是否经过环评审批 建设项目是否经过环评审批 是 建设项目是否经过环保 建设项目是否经过环保 建设项目是否经过环保 建设项目是否经过环保验收 验收 验收 验收 是 其他 其他 其他 其他环境保护行政许可情况 环境保护行政许可情况 环境保护行政许可情况 环境保护行政许可情况 已取得辐射许可证&排污许可证 五五五

五、 、 、 、突发环境事件应急预案 突发环境事件应急预案 突发环境事件应急预案 突发环境事件应急预案: : : :见公司官网 六六六

六、 、 、 、其他应当公开的环境信息 其他应当公开的环境信息 其他应当公开的环境信息 其他应当公开的环境信息和情况说明 和情况说明 和情况说明 和情况说明: : : : 自行监测方案已同时公布在福建省环保厅网站及公司官网上