PDF《兰州大学电镜中心》

1、要带手套

2、不要往样品仓呼气 进样:抽气Pump 基本操作 点击此处的Pump在弹出 的界面选择No Accessory Pump前,确认此处是选择 High Vacuum 基本操作 拍摄导航图 Pump的进度条完成后Chamber变回绿色,可以拍摄导航图. 在横排工具栏找到stage , 点击后在下拉菜单里找到Take Nav-Cam Photo, 点击之后观察CCD窗口,可以 看到样品台移到角落.拍摄完 成后样品台自动回到原来位置. 这时左下角的样品台导航窗口 图片更新. 导航图并不是实时的,所以每 次样品台状态改变都需要拍摄 一张导航图. 基本操作 升台子之前的聚集――用于计算WD 拍摄好导航图之后,可以打开电子枪,激活扫描窗口,在导航图上 双击样品,对样品进行聚焦,放大,再聚焦等一系列操作.这里介 绍开电子枪与激活扫描窗口. 点击侧边Beam设置按钮 找到Beam on 按钮 ,点击打开电子枪 Beam on 按钮有两个状态 、 . 灰色说明当前电子枪未打开、黄色说明当前 电子枪打开 点击上的工具栏的 图标,或者左 上窗口的 图标激活窗口 升台子之前的聚集――用于计算WD 基本操作 激活扫描窗口后,扫描窗口并会成像,此时需要在 导航图上双击要聚焦的位置,等极靴对准该位置时, 可以开始聚焦. 在左下导航窗口双击要聚焦的位置,绿色十字 并会移到该位置. 点击上面工具栏的 图标,这时扫描窗口会出 现绿色小窗口,这时按住鼠标右键,指针图标 变为左右箭头,左右拖动开始聚焦. 升台子之前的聚焦――用于计算WD 基本操作 在低倍下聚焦清楚后,需要放大后再次聚焦,这里介绍如何放大, 和调节像散 放大与缩小:可以按下小键盘下的"+"、"―"键进行放大 缩小,可以在横栏所标的位置输入自己想要的放大倍数. 调像散:在调焦距都无法调清情况下,可以考虑调节像散. 调节像散是摁住Shift与鼠标右键,图标变成四个方向箭头, 就可以上下左右拖动调像散. 基本操作 升工作台 在10000X下能聚集清楚后可以点击link 按钮更新WD值到工 作台控制面板,之后可以在Z轴输入测试需要的工作距离.一般 要求在15mm 基本操作 调光路

7、如果聚焦的时候图像有位移,则需要做物镜电学对中.方法 是点开快捷对中窗口 , 在跳出来的Direct Adjustment窗口界 面上选择beam页,点击Crossover按钮使它变成黄色,这时屏幕 图像会变成光斑,在Souce Tilt中,用鼠标左键点击并长按左边十 字框的中心,这时鼠标会变成允许上下左右方向的箭头,通过移 动使光斑移到中心,再次点击Crossover完成电子束对中. 点击Lens Modulator按钮使它变成黄色(根据电压情 况会自动选择Lens Modulator或者HV Modulator)激 活物镜对中,通过用鼠标左键点击并长按Lens Alignment中十字框的横线,这时鼠标会变成允许上 下方向的双向箭头,按住鼠标上下拖动直至图像平 移最小.操作完成后长按十字框的竖线进行左右调 节使图像的平移幅度变得最小,或点击工具栏上的 物镜对中按钮 这时图像窗口的中央会出现靶形 图标 同时图像扫描速度自动变快使得图像的平 移变得连续.用鼠标的左键按住靶形图标, ,鼠标 的箭头会变成一个四个方向的靶形 上下左右拖 动鼠标使图像位移变得最小,然后重新聚焦,完成 物镜光阑对中. 基本操作 调光路 如果消象散时图像有位移,则需要做消象散器的电学对中,方法是点 开快捷对中窗口 , 在跳出来的Direct Adjustment窗口界面上选择 Stigmator Centering页,点击Modulator X按钮使它变成黄色,这时图像 会在屏幕上振荡位移,减小驻留时间、像素分辨率和放大倍数直至图 像的位移变得连续.然后在Modulator X左边的的十字窗口上进行类似 lens modulator的操作,完成以后继续调节Modulator Y直至位移最小. X和Y modulator都完成以后重新用F7小窗口消象散,会发现图像位移 现象明显改善. 基本操作 调光路 基本操作 测样 调好光路后,可以开始测样,重复操作聚焦-放大-聚焦,到自己满 意的放大倍数后,点击横栏上的拍照按钮 进行拍照.拍照完成 后自动弹出保存界面,选择需要保存的位置保存文件即可. 基本操作 退样 完成测样任务后,需要将样品台回到Home的位置,关闭电子枪, 放真空后才能取出样品. 点击横栏上的stage按钮 , 在下拉菜单下选择 Home Stage 将样品台归位. 等样品台归位后点击侧边电子束按 钮 在出现的下拉菜单中按下Beam On 按钮,待电子枪关闭 后,按下Vent 按钮. 基本操作 测试完成后需要进行的工作 测试完成,Vent进气,打开舱门取出样品后,需要关闭舱门,重新Pump回去.测试完的样品需要用刀片削掉导电胶,用小块无尘 纸沾酒精擦拭干净放回放样品托的培养皿中.收拾好桌面方能离 开