编辑: f19970615123fa 2019-09-12
江苏鑫华半导体材料科技有限公司鑫华半导体实验室项目环境影响报告表

1 《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质 的单位编制.

1.项目名称――指项目立项批复时的名称, 应不超过

30 个字 (两 个英文字段作一个汉字) . 2.建设地点――指项目所在地详细地址,公路、铁路应填写起止 地点. 3.行业类别――按国标填写. 4.总投资――指项目投资总额. 5.主要环境保护目标――指项目区周围一定范围内集中居民住 宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等, 应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等. 6.结论与建议――给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的 分析结论,确定污染防治措施的有效性,说明本项目对环境造成的影 响,给出建设项目环境可行性的明确结论.同时提出减少环境影响的 其他建议. 7.预审意见――由行业主管部门填写答复意见,无主管部门项目, 可不填. 8.审批意见――由负责审批项目的环境保护行政主管部门批复. 江苏鑫华半导体材料科技有限公司鑫华半导体实验室项目环境影响报告表

2 目录《建设项目环境影响报告表》编制说明.1

一、建设项目基本情况.3

二、建设项目所在地自然环境社会环境简况.17

三、环境质量状况.25

四、评价适用标准.30

五、建设项目工程分析.33

六、项目主要污染物产生及预计排放情况.49

七、环境影响分析.51

八、建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果.67

九、 三同时 验收一览表.68

十、结论与建议.69 附图

1 项目地理位置图 附图

2 周围用地情况图 附图

3 厂区平面布局图 附图

4 项目所在车间平面布置图 附图

5 项目所在区域水系图 附图

6 项目所在区域红线图 附图

7 卫生防护包络线图 附件

1 备案证 附件

2 其他与环评有关的行政管理文件 江苏鑫华半导体材料科技有限公司鑫华半导体实验室项目环境影响报告表

3

一、建设项目基本情况 项目名称 江苏鑫华半导体材料科技有限公司鑫华半导体实验室项目 建设单位 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 法人代表 蒋文武 联系人 魏沛乐 通讯地址 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路

66 号 联系电话

17327669996 传真 - 邮政 编码

221000 建设地点 江苏省徐州经济开发区 立项审批 部门 徐州经济技术开发区管委会 批准文号 徐开经发备[2018]232 号 建设性质 新建 行业类别及 代码 电子专用材料制造 C3985 占地面积 (平方米) 4594.31 绿化面积 (平方米) / 总投资 (万元)

50130 环保投资 (万元)

353 环保投资 占总投资 比例 0.7 评价经费 (万元) - 预期投产 日期

2019 年2月原辅材料(包括名称、用量)及主要设施规格、数量(包括锅炉、发电站) :

1、主要原辅材料 施工期:钢材、水泥、砖及其他建筑材料. 运营期:具体情况见表 1-1. 表1-1 建设项目运营期主要原辅材料耗量 序号 名称 年消耗量 t/a 主要成分 备注

1 多晶料 /

2 石英坩埚 /

3 籽晶 /

4 掺杂剂 /

5 氩气 /

6 氮气 /

7 胶水 /

8 导轮 /

9 固定槽金属研磨轮 /

10 固定槽金属研磨轮 / 江苏鑫华半导体材料科技有限公司鑫华半导体实验室项目环境影响报告表

4 11 边缘金属研磨轮 /

12 边缘树脂研磨轮 /

13 切割线 /

14 冷却液 /

15 自来水 /

16 纯水 /

17 超纯水 /

18 GR 级盐酸 /

19 70%硝酸 /

20 49%氢氟酸 /

21 99.9%冰醋酸 /

22 硝酸铜 /

23 硅块 /

24 55%超纯硝酸 /

25 38%超纯氢氟酸 /

26 20%超纯双氧水 /

2、主要设备 运营期项目主要设备见表 1-2. 表1-2 主要设备 序号 设备名称 型号 数量(台/套) 备注

1 单晶炉 /

7 /

2 带锯切割机 /

1 /

3 单晶棒数控滚磨机 /

1 /

4 多线切割机 /

2 /

5 硅片倒角机 /

2 /

6 硅片线检测 /

14 /

7 多晶线检测 /

38 /

8 单晶棒截断机 /

1 /

9 单晶棒滚圆机 /

1 /

10 酸腐蚀机 /

1 /

11 粘棒机 7DZ

1 /

12 线切割机 DW288

1 /

13 平坦度检测机 C200B

1 /

14 边缘倒角机 CVP2200

1 /

15 边缘检测机 LEP1700

1 /

16 布鲁克-低温设备 /

2 /

17 电感耦合等离子体质谱仪 /

2 /

18 区熔炉 /

2 / 水及能源消耗量 江苏鑫华半导体材料科技有限公司鑫华半导体实验室项目环境影响报告表

5 名称 消耗量 名称 消耗量 水(吨/年)

1739 燃油(吨/年) - 电(千瓦时/年)

2300 万 燃气(万m3 /年) - 燃煤(吨/年) - 其它 - 废水(工业废水√、生活污水√)排水量及排放去向: 项目生活污水约780 t/a,通过新建新建化粪池处理,本项目试验生产、检测产生和废 气吸收产生的废水等,约99618t/a,依托厂区徐州同鑫光电科技股份有限公司现有污水处 理站处理(升级改造后处理规模55m3 /h,工艺:收集-调节-混凝-絮凝-沉淀-过滤) ,综合废 水与生活污水处理后依托徐州同鑫光电科技股份有限公司排污口排放, 废水经污水管网最 终进入徐州经济开发区污水处理厂进一步处理,徐州经济开发区污水处理厂尾水执行《城 镇污水处理厂污染物排放标准》 (GB18918-2002)一级标准A标准的要求. 放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况: 无 工程内容及规模: (不够时可附另页) :

一、项目概况与由来 1. 项目由来 近些年来,大直径硅片占半导体材料市场的比重基本保持稳定,国内集成电路产业经 过30 多年的大力发展,目前已形成了一定的产业规模,以及集成电路设计、芯片制造、 封装测试三业及支撑配套业共同发展的较为完善的产业链格局. 目前我国半导体行业发展 快速,对上游原材料需求维持这一个较高的水平,近几年对硅片及硅基材料的需求基本在 130亿元左右的水平,但12英寸硅片完全依赖进口,因此将来存在着较大的进口替代的可 能性.为了较快的发展和推动我国内半导体产业的进程,江苏鑫华半导体材料科技有限公 司投资50130万元在徐州经济技术开发区租用徐州协鑫集成科技有限公司204厂房, 建设半 导体实验室项目. 本项目已取得徐州经济技术开发区管委会出具的《江苏省投资项目备案证》 (徐开经 发备[2017]232号). 根据《建设项目环境保护管理条例》 (国令第

682 号,2017 年10 月1日起施行) 、 《建 设项目环境影响评价分类管理名录》 (环境保护部令

44 号,2017 年9月1日起施行)及 江苏鑫华半导体材料科技有限公司鑫华半导体实验室项目环境影响报告表

6 《关于修改〈建设项目环境影响评价分类管理名录〉部分内容的决定》 (生态环境部

1 号,

2018 年4月28 日起施行)的有关规定,本项目需进行环境影响评价,从环保角度评估项 目建设的可行性.因此,江苏鑫华半导体材料科技有限公司委托江苏方正环保设计研究有 限公司承担该项目的环境影响评价的编制工作.我单位接受委托后,成立了评价组,经过 现场勘察及工程分析,依据《环境影响评价技术导则》的要求和《江苏省建设项目环境影 响报告表主要内容编制要求(试行) 》 (2005 年5月) ,编制了《江苏鑫华半导体材料科技 有限公司鑫华半导体........

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