PDF《高真空气控阀》

控制气口可指定 4个方向 寿命长、 耐久性高 动作确认 一目了然 指示器4面都可安装开关 有接点、无接点(可加装) 开关采用铝合金阀体 轻量4种法兰尺寸 NW16・25・40・50 2种类型的动作方式 AVB*17C: NC型AVB*37C: 双作用型 (仅AVB*17C) 业绩丰富,可信赖的 JAPAN QUALITY 独创的成型 波纹管 (SUS316L) 控制气口New Products 高真空气控阀 AVB Series C-CC-1272C AIR OPERATED VALVE FOR HIGH VACUUM AVB SERIES

1 XXX Series 适用气缸直径:φ00~φ00 JIS 符号

1 高真空用 气控阀 NC型AVB17 系列 成型波纹管式 铝阀体型 规格 项目AVB217 AVB317 AVB417 AVB517 使用流体 真空及不活性气体 使用压力 Pa(abs) 1.

3*10-6 ~1*105 使用最大压差 MPa 0.1 阀座泄漏 Pa?m3 /s(He) 1.3*10-10 以下 外部泄漏 Pa?m3 /s(He) 1.3*10-11 以下 耐压力 MPa 0.3 流体温度 ℃ 5~60 环境温度 ℃ 0~60(不得冻结) 通径 mm φ17 φ24 φ39 φ48 导通率 注1 /s

5 13

43 74 配管方式 NW16 NW25 NW40 NW50 控制压力 MPa 0.4~0.6 重量 kg 0.4 0.5 1.2 2.0 JIS符号 NC型注1 :导通率的值为分子领域的理论计算值,不是实测值. 注2 :外部密封O形圈使用高真空专用油脂. 注3 :开关作为添附品出货.

2 型号表示方法 〈型号表示例〉 AVB417C-40K-4-T0H3-1 机种名 :AVB417高真空用气控阀(NC型) A 系列 :通径φ39 B 配管方式 :NW40 C 控制气口位置 :4 D 开关型号 :T0H E 开关导线长度 :3m F 开关数 :带1个开关 E 开关导线长度 F 开关数 机种型号 动作方式 NC型A系列 AVB17 系列 型号表示方法 注1 注2 注1.开关型号为 ET0V 、 ET0H 时, 导线长度不能选

3 、

5 . 注2.开关型号为 ET0V 、 ET0H 时, 开关数不能选择

2 . E 开关导线长度 无符号 1m(标准)

3 3m

5 5m F 开关数

1 带1个开关

2 带2个开关 D 开关型号 无符号 不带开关 T0H 直线型导线 T5H T0V L形导线 T5V T2H 直线型导线 T3H T2V L形导线 T3V ET0H 直线型导线 ET0V L形导线 C 控制气口位置

4 法兰

4 1

2 3 控制气口位置,俯瞰阀时, 分别如

4、

1、

2、3所示.

1 2

3 B 配管方式 16K NW16 只能生产AVB217 25K NW25 只能生产AVB317 40K NW40 只能生产AVB417 50K NW50 只能生产AVB517 AVB 40K

4 4

3 17C

1 T0H 符号 内容A系列

2 通径φ17

3 通径φ24

4 通径φ39

5 通径φ48 B 配管方式 D 开关型号 C 控制气口位置

3 内部结构图及部件一览表(NC型) AVB217 ・ AVB317 ・ AVB417 ・ AVB517 编号 部件名称 材质1气缸(内置磁环)

2 O形圈 FKM

3 阀体 A6063

4 波纹管 SUS316L

5 连杆 SUS304

6 O形圈 FKM

7 阀片B SUS304

8 O形圈 FKM

9 平垫圈 SUS304

10 弹簧垫圈 SUS304

11 六角螺母 SUS304

1 2

3 4

5 6

7 8

9 10

11 AVB17系列

4 型号 A B C D E F G AVB217 φ30(NW16)

40 114

40 40

20 M5 AVB317 φ40(NW25)

50 127 49.5

45 23 Rc1/8 AVB417 φ55(NW40)

65 168

71 64 24.5 Rc1/4 AVB517 φ75(NW50)

70 186

84 77

31 Rc1/4 外形尺寸图 (NC 型) AVB217 ・ AVB317 ・ AVB417 ・ AVB517 F E E D C B A A B G AVB17 系列 外形尺寸图

5 AVB37 系列 成型波纹管式 铝阀体型 规格 项目AVB237 AVB337 AVB437 AVB537 使用流体 真空及不活性气体 使用压力 Pa(abs) 1.3*10-6 ~1*105 使用最大压差 MPa 0.1 阀座泄漏 Pa?m3 /s(He) 1.3*10-10 以下 外部泄漏 Pa?m3 /s(He) 1.3*10-11 以下 耐压力 MPa 0.3 流体温度 ℃ 5~60 环境温度 ℃ 0~60(不得冻结) 通径 mm φ17 φ24 φ39 φ48 导通率 注1 /s