PDF《六轴小型六足位移台》

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05.2019 快速、紧凑、高精度 参考级六轴定位系统 六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 真空兼容型可达10 -6 百帕 无刷直流电机(BLDC) 无刷直流电机尤其适合高旋转速度.能够精确对其进行控制并确保高精度.由于无滑动接触,可无磨损地平稳运行, 因此能够实现较长的使用寿命. 应用领域 科研和工业,标准和真空环境.用于微制造、医药技术、刀具检查. 规格 运动和定位 H-811.I2 / .I2V** 单位 公差 主动轴 X,Y,Z,θX,θY,θZ X、Y向上的行程* ±17, ±16 毫米 Z向上的行程* ±6.5 毫米 θX、θY向上的行程* ±10, ±10 ° θZ向上的行程* ±21 ° 促动器设计分辨率

5 纳米 X、Y向上的最小位移 0.2 微米 典型值 H-811.I2/I2V 六轴小型六足位移台 ? 行程达±17 毫米 / ±21度?负载容量达5 公斤 ? 重复精度达±0.06 微米 ? 速度达20 毫米/秒?超长使用寿命 ? 可提供真空兼容版本 09.05.2019 Z向上的最小位移 0.08 微米 典型值 θX、θY向上的最小位移 2.5 微弧度 典型值 θZ向上的最小位移

5 微弧度 典型值 X、Y向上的空回 0.2 微米 典型值 Z向上的空回 0.06 微米 典型值 θX、θY向上的空回

2 微弧度 典型值 θZ向上的空回

4 微弧度 典型值 X、Y向上的重复精度 ±0.15 微米 典型值 Z向上的重复精度 ±0.06 微米 典型值 θX、θY向上的重复精度 ±2 微弧度 典型值 θZ向上的重复精度 ±3 微弧度 典型值 X、Y和Z向上的最大速度

20 /

10 毫米/秒θX、θY、θZ向上的最大速度

500 /

250 毫弧度/秒Typ. X、Y和Z向上的典型速度

10 /

5 毫米/秒Typ. θX、θY、θZ向上的速度

240 /

120 毫弧度/秒 机械特性 H-811.I2 / .I2V** 单位 公差 X、Y向上的刚性 0.7 牛/微米 Z向上的刚性

8 牛/微米 负载能力(底板为水平方向)

5 千克 最大 负载能力(底板为任意方向) 2.5 千克 最大 保持力(断电、底板为水平方向)

15 牛 最大 保持力(断电、底板为任意方向) 2.5 牛 最大 电机类型 BLDC电机 其他 H-811.I2 / .I2V** 单位 公差 工作温度范围

0 到50 °C 材料 不锈钢,铝 质量 2.2 千克 ±5 % 电缆长度 0.5+3/3(空气)+2(真空) 米±10 毫米 推荐控制器 C-887.5x 技术参数为 20±3 °C下的数值. * 单个坐标(X、Y、Z、θX、θY和θZ)的行程相互依赖.本表中各轴对应的数值为其最大行程,此时其他轴和枢轴点位于参考位置. **对于真空连续操作,由于发热,可能需要对运行参数进行限制. 询问定制版本. 09.05.2019 图纸/图片 H-811.I2, 尺寸单位为毫米 订购信息 H-811.I2 小型 六足位移台微型机器人,无刷直流电机,5千克 负载容量,20毫米/秒速度,0.5米电缆长度,含3米成套电缆 H-811.I2V 小型六足位移台微型机器人,无刷直流电机,真空兼容至10 -

6 百帕,5 公斤负载容量,10毫米/秒速度,2米电缆长度,含3米成套电缆和引线