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中国科学技术大学

2017 年硕士研究生入学考试复习大纲 科目名称 真空技术 编号

902

一、考试范围及要点 第一部分 真空技术的物理基础 气体基本定律和状态方程,气体分子运动论,气体分子的平均速率、方均根速率和最可几速 率.

压强的微观表示式,道尔顿分压定律,平均自由程和自由程分布律,碰撞率、自由分子 热传导, 气体非平衡态下状态参数间的关系, 流量和流导的概念, 管道及孔眼的分子流流导, 串联和并联管道的流导.理想气体、真实气体、永久气体和蒸汽的概念,麦克斯韦速率分布 函数的意义,余弦定律,克努曾数,气体扩散现象,管道的粘滞流流导. 第二部分 真空获得 掌握常用各种高真空泵如油扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温冷凝泵的原理和特性, 一般罗茨泵、机械泵的工作原理和特性,以及性能改进提升的方法.常用真空泵的选用. 第三部分 真空测量与检漏 掌握真空计的分类工作原理和特性,质谱计的参数、四极质谱计的原理和特性.掌握漏孔的 定义,检漏的目的,氦质谱检漏法的原理 . 第四部分 真空系统 掌握真空系统的抽气方程;

主泵的选择, 前级泵配泵的计算, 真空系统极限压强的估算. 理 解油扩散泵真空系统、 涡轮分子泵真空系统、 溅射离子泵真空系统的结构和特点以及各系统 排气管道尺寸的确定,真空差分系统的计算.一般、高、超高真空系统的分类和特性.

二、考试形式与试卷结构 1. 简答题:主要考学生真空技术基本概念的掌握,占三分之一的考试内容,分值

50 分. 2. 详述题:主要考学生对真空获得、测量和捡漏设备等理论基础的掌握程度,占三分之一 的考试内容,分值

50 分. 3. 计算和应用:了解学生对真空技术知识的理解综合运用程度,分值

50 分. 参考书目名称 作者 出版社 版次 年份 真空技术(第二版) 王欲知 北京航空航天大学出 版社 第二版

2007 真空工程技术 (1-15 章) 徐成海主编 化学工业出版社 第一版

2006 注:各院系将电子版

11 月15 日前报送给研招办杨凌 yangling@ustc.edu.cn