PDF《工艺实验设备》

111/136 工艺实验设备 原值

200 万以上的对外提供共享服务的大型科学仪器设备总 量为

3196 台(套) ,其中工艺实验设备的数量为

385 台(套) ,占 总量的 12.

0% . 工艺实验设备中, 电子工艺实验设备

190 台 (套) , 加工工艺实验设备

104 台(套) ,化工、制药工艺实验设备

39 台 (套) ,汽车工艺实验设备

27 台(套) ,其他

20 台(套) ,食品工 艺实验设备

4 台(套) ,纺织工艺实验设备

1 台(套) . 112/136 工艺实验设备/385 台(套) 113/136 序号 中文名称 型号规格 单位名称 产地 所在地

1 电子束物理气相沉积 UE-205 北京航空航天大学 乌克兰 北京

2 重型发动机排放测试系统 MEXA-7400D 北京理工大学 日本 北京

3 五轴五联动加工中心 ITNC530 哈尔滨工程大学 英国 黑龙江

4 高速五坐标加工中心 VCP710 南京航空航天大学 瑞士 江苏

5 超音速风洞 * 南京航空航天大学 中国 江苏

6 超声辅助高速加工中心 * 南京航空航天大学 美国 江苏

7 光学镀膜机 PMC-90S 南京理工大学 韩国 江苏

8 高精度五坐标磨床 HP 型 西北工业大学 中国 陕西

9 光刻机 MA6 西北工业大学 德国 陕西

10 电感耦合等离子刻蚀机 ICP ASE 西北工业大学 英国 陕西

11 五坐标高速数控加工中心 UCP

1350 西北工业大学 瑞士 陕西

12 数控加工中心 SAJO12000P 西北工业大学 瑞典 陕西

13 遗物祭品焚烧炉 BFL-300 民政部一零一研究所 中国 北京

14 遗物祭品焚烧设备

00 民政部一零一研究所 中国 北京

15 钻探泥浆测试系统 TG-150-80 北京探矿工程研究所 中国 北京

16 高速加工中心 ES-5-TR 北京探矿工程研究所 中国 北京

17 单/双级压气机试验装置与辅助部件加工系统 订做 大连海事大学 中国 辽宁

18 压气机级试验台架与控制系统 2K7401250 大连海事大学 中国 辽宁

19 燃气轮机发电机组 200R-DD4-B000 大连海事大学 美国 辽宁

20 Φ120mm 高超声速静风洞

1 北京大学 中国 北京

21 高超声速静风洞 * 北京大学 中国 北京

22 脉冲激光沉积系统 P-100 北京大学 美国 北京

23 反应离子刻蚀机 Minilock 北京大学 美国 北京

24 分子束外延系统 SVT N35-V-2 北京大学 美国 北京

25 光刻/键合对准系统 MA6/BA6 北京大学 德国 北京

26 低压化学气相淀积设备 LB-35 北京大学 法国 北京

27 有机金属化学淀积系统 3X2 GaN 北京大学 英国 北京

28 磁控溅射系统 Gamma 1000C 北京大学 英国 北京

29 等离子增强淀积机 STS PECVD 北京大学 英国 北京

30 等离子体刻蚀机 STS AOE 北京大学 英国 北京

31 超高真空镀膜机 ULS-400 北京大学 瑞士 北京

32 等离子刻蚀系统 ICP 北京大学 英国 北京

33 2K 低温系统 L140-2K 北京大学 瑞士 北京

34 电子束光刻机 nB3 北京大学 英国 北京

35 ICP 刻蚀机 STS ICP ASE 北京大学 英国 北京

36 三辊压延机组 辊筒直径φ550MM;

辊筒速比 0.5~1 任调 北京化工大学 中国 北京

37 溅射镀膜机 LINE420 北京交通大学 法国 北京

38 风洞洞体 非标 北京交通大学 中国 北京

39 热等静压机 QIH-9 北京科技大学 瑞典 北京 工艺实验设备/385 台(套) 114/136 序号 中文名称 型号规格 单位名称 产地 所在地

40 风沙环境与工程风洞 研制加工 北京师范大学 中国 北京

41 离子注入机 HV-400 北京师范大学 荷兰 北京

42 排放分析成套设备 CEB II 长安大学 奥地利 陕西

43 干法刻蚀机 AMS 100SE 大连理工大学 法国 辽宁

44 卧式加工中心 FANUC-18i HTN-3216G 大连理工大学 德国 辽宁

45 镗铣加工中心 HSM500 大连理工大学 瑞士 辽宁

46 光刻机 SUSS MA/BA6 大连理工大学 德国 辽宁

47 化学气相沉积系统 3*2 flip top ccs MOCVD 大连理工大学 英国 辽宁

48 等离子刻蚀机 FHR 150X4 电子科技大学 德国 四川

49 增强型等离子体化学气相沉积系统 PECVD Module 电子科技大学 英国 四川

50 越高真空多功能磁控溅设备 Sunicoat 594L 电子科技大学 韩国 四川

51 磁控溅射设备 Sunicoat 594L 电子科技大学 韩国 四川

52 光刻设备 MA-6 电子科技大学 德国 四川

53 薄膜快速热处理系统 LS500 电子科技大学 意大利 四川

54 分步投影光刻机 NSR2005i9C 电子科技大学 日本 四川

55 物理气相沉积系统 Sunicel plus

200 电子科技大学 韩国 四川

56 深槽反应离子蚀刻机 SYSTEM

200 EEG/ERP 电子科技大学 美国 四川

57 退火模拟实验机 自制 东北大学 中国 辽宁

58 卷取式四辊可逆冷轧机 φ350*φ120*300mm 400KW 东北大学 中国 辽宁

59 准分子激光微加工系统

1 SET 东南大学 比利时 江苏

60 溅射镀膜系统 LAB600sp 复旦大学 德国 上海

61 超高真空分子束外延系统 3?10-10 mbar 复旦大学 德国 上海

62 硅分子束外延系统 EVA-32 复旦大学 法国 上海

63 高真空多靶磁控溅射仪 KJLC CMS-18 复旦大学 美国 上海

64 电子束蒸发系统 UHVEBE 复旦大学 法国 上海

65 氧化物薄膜分子束外延设备 臭氧氧化源 复旦大学 中国 上海

66 真空系统 Custom PLD and STM 复旦大学 美国 上海

67 电子束光学镀膜机系统 EPD-1100 复旦大学 中国 上海

68 超高真空激光分子束外延及原位测量系统 无 复旦大学 美国 上海

69 立式加工中心 UCP800Duro 合肥工业大学 瑞士 安徽

70 淡水鱼加工系统 300KG/H 河海大学 日本 江苏

71 数控三维 CO2 激光切割焊接系统 Pratico2545 湖南大学 意大利 湖南

72 五轴轻型高速数控龙门铣床 POSEIDN38/TUCU2500 湖南大学 意大利 湖南

73 四通道整车疲劳测试试验台架系统 MTS 320.035 湖南大学 美国 湖南

74 发动机性能开发实验台 PUMAOPEN 湖南大学 奥地利 湖南

75 分子束外延仪 Compact

12 华东师范大学 法国 上海

76 催化反应装置 *ACE MODEL R+ 华东师范大学 美国 上海

77 结构耐火试验炉 * 华南理工大学 中国 广东

78 实验室压力磨浆系统

12 -1CP 华南理工大学 奥地利 广东 工艺实验设备/385 台(套) 115/136 序号 中文名称 型号规格 单位名称 产地 所在地

79 等离子喷涂系统 Praxair 7700-Biolabs 华南理工大学 美国 广东

80 双落管真空系统 非标自制 华中科技大学 中国 湖北

81 柔性制造系统 Mandelli-M7V 华中科技大学 意大利 湖北

82 超声波数控中心 CNC10 华中科技大学 美国 湖北

83 高精密微细机械加工机 MAESTRO 华中科技大学 美国 湖北

84 金属有机物化学气相沉积 CCS 3*2FT 华中科技大学 英国 湖北

85 光电子微纳制造工艺平台 CCS 3*2FT 华中科技大学 英国 湖北

86 金属有机物化学气相沉积 W120

2 单片机 华中科技大学 中国 湖北

87 低压化学气相沉积系统 460106L/S 华中科技大学 美国 湖北

88 感应耦合等离子刻蚀机 PLASMALAB SYSTEM

100 ICP 华中科技大学 英国 湖北

89 磁控溅射炉 JZCK-640S 华中科技大学 中国 湖北

90 汽车电控动力传动系实验台

6071 吉林大学 美国 吉林

91 微波等离子体化学气相沉积镀膜设备 ASTex

5250 吉林大学 日本 吉林

92 激光加热系统 GS40-1053S 40GPA 2000K 吉林大学 美国 吉林

93 发动机实验台架 PUMAOPEN 吉林大学 奥地利 吉林

94 感应耦合等离子高密度刻蚀机 CE-3001 吉林大学 日本 吉林

95 发酵罐系统 ABEC 200-1 江南大学 美国 江苏

96 电子束曝光系统 ESL-3700/* 南京大学 日本 江苏

97 磁控溅射系统 KJLC-LAB-18 南京大学 美国 江苏

98 溅射仪 PCD75 CLUSTER 南京大学 美国 江苏

99 光催化剂评价系统 定制 南京大学 日本 江苏

100 外延系统 LMBE-8C 南京大学 中国台湾 江苏

101 激光分子束外延系统 */极限真空 6.67*10-8Pa

800 摄氏度 南京大学 中国 江苏

102 氦液化设备 TCF10 南京大学 瑞士 江苏

103 等离子体化学气相淀积系统 Plasmalab80Plus 南京大学 英国 江苏

104 电子束光刻机 e-LiNe 南京大学 德国 江苏

105 氮化物分子束外延系统 N35-V-2 清华大学 美国 北京

106 化学气相沉积系统 L450P 清华大学 日本 北京

107 气体排放分析系统 MEXA-7200 清华大学 日本 北京

108 功率处理系统 AV-900 清华大学 美国 北京

109 SMT 教学示范生产线 CM86(高速贴片机) 清华大学 日本 北京

110 分子束外延系统 VARIANSH110 SPECS9*-9mbar 山东大学 德国 山东

111 高速五轴五联动加工中心 KERN MICRO

2522 山东大学 德国 山东

112 光学发动机测试系统 BASIC UNIT

5400 EMCON

400 上海交通大学 奥地利 上海

113 数控高速专用磨床 MK8232/H 上海交通大学 中国 上海

114 无人车比赛系统 * 同济大学 中国 上海

115 发动机试验台 AVL AFA404 同济大学 奥地利 上海

116 发动机试验台 AVL AFA202 同济大学 奥地利 上海

117 发动机排放分析系统 AMA4000 同济大学 德国 上海 工艺实验设备/385 台(套) 116/136 序号 中文名称 型号规格 单位名称 产地 所在地

118 空气离子净化设备系统 * 同济大学 中国 上海

119 五轴联动数控铣床 CU1200 同济大学 德国 上海

120 核磁光振仪 AVANCE III 同济大学 瑞士 上海

121 气动声学风洞风机系统 WA85.45/MV7000 同济大学 德国 上海

122 热环境风洞转鼓系统 非标 同济大学 德国 上海

123 放电等离子烧结系统 SPS-1050 武汉理工大学 日本 湖北

124 汽车发动机动态实验台 220KW/934N.M 武汉理工大学 奥地利 湖北

125 涡旋盘双轴数控铣床 BD22 西安交通大学 美国 陕西

126 磁控离子溅射台 * 西安交通大学 美国 陕西

127 涡旋盘单轴数控铣床 BD18 西安交通大学 美国 陕西

128 深干法刻蚀机 ICP180 西安交通大学 英国 陕西

129 涡旋盘双轴数控铣床 BD22 西安交通大学 美国 陕西

130 紫外激光蓝宝石衬底剥离系统 IX-660 西安交通大学 美国 陕西

131 真空沉积炉应力测试系 * 西安交通大学 德国 陕西

132 分析测试仪 LZ-800GTV 西安交通大学 日本 陕西

133 放电等离子烧结系统 ed-pas-iii-es 西安交通大学 日本 陕西

134 电子束直写刻蚀系统 CABC9300CSX 西安交通大学 日本 陕西

135 超精密数控外圆磨床 * 西安交通大学 瑞士 陕西

136 涡旋盘单轴数控铣床 BD18 西安交通大学 美国 陕西

137 数控铣床 H5 -800 西安交通大学 美国 陕西

138 真空钎焊炉 10.0VP4035/42HV 西安交通大学 美国 陕西

139 电子束蒸发台 BJD/FC2000 厦门大学 中国 福建

140 光刻键合机 MA6BA6 厦门大学 德国 福建

141 LPCVD L4131/ZM 厦门大学 中国 福建

142 刻蚀机 AMS200(阿尔卡特) 厦门大学 法国 福建

143 激光分子束外延 LMBE-M-2 浙江大学 美国 浙江

144 离子束溅射镀膜系统 DIBS-1100 浙江大学 中国 浙江

145 高性能干法刻蚀设备 Mesc Multipler 浙江大学 英国 浙江

146 放电等离子烧结装置 SPS-1050 浙江大学 日本 浙江

147 感应耦合等离子刻蚀机 Plaswalab

100 浙江大学 英国 浙江

148 超高精度矿物材料磨抛加工机床 350FG 浙江大学 中国 浙江

149 原子层沉积系统 TFS

200 浙江大学 美国 浙江

150 PECVD 镀膜机 MESC MULTIPLEN CND 浙江大学 英国 浙江

151 新型高效废弃物炉排焚烧试验台 废弃物焚烧处置量 0.2~0.5t/h 浙江大学 中国 浙江

152 小型催化裂化试验装置(ACE 装置) ACE-Model R+ MM (220V) 中国石油大学(北京) 中国 北京

153 龙门式搅拌摩擦焊接机 FSW8050 中南大学 中国 湖南

154 真空挤出机 V15spHv 中南大学 德国 湖南

155 热等静压机 RDJ150 中南大学 中国 湖南

156 感应耦合等离子刻蚀机 LPX ASE SR 重庆大学 英国 重庆 工艺实验设备/385 台(套) 117/136 序号 中文名称 型号规格 单位名称 产地 所在地

157 卧........