编辑: hyszqmzc | 2018-02-20 |
3 7 , N o .
4 A u g u s t ,
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1 5 文章编号:
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1 5 )
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0 6 收稿日期:
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3 0 基金项目:国家自然科学基金资助项目(
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0 7
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0 0
7 ) 作者简介:邹兵(
1 9
9 1 ―) 男, 硕士研究生, 主要从事半导体发光器件制作工艺及应用的研究.E m a i l : u s s t z o u b i n g @ f o x m a i l . c o m 通信作者:许键(
1 9
7 0 ―) 男, 教授, 主要从事半导体发光器件方面的研究.E m a i l : j i a n x u @ e n g r . p s u . e d u L E D 微显示技术 邹兵1 ,张文君1 ,徐阁1 ,姚然1 ,许键1 ,
2 (
1 . 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海
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0 0
9 3 ;
2 . 宾夕法尼亚州立大学 工程科学系, 宾夕法尼亚州
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8 0
2 , 美国) 摘要: L E D微显示是一种基于芯片上集成高密度二维发光二极管阵列的全固体主动发光器件, 其拥有系统设计简单、 光能利用率高、 响应速度快及工作温度范围宽等优点.主要介绍了 L E D 微显示技术实现方式、 最新进展及其应用前景. 关键词:微显示器;
L E D阵列;
硅基C MO S ;
彩色化显示 中图分类号: T N
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3 文献标志码: A :10.3969/j.issn.10055630.2015.04.003枳 铼 樽1 , 淋 遄踝1, 1,犊 嶙1, 嶙1,2(1.SchoolofO p t i c a l E l e c t r i c a l a n dC o m p u t e rE n g i n e e r i n g , U n i v e r s i t yo f S h a n g h a i f o rS c i e n c e a n dT e c h n o l o g y , S h a n g h a i
2 0
0 0
9 3 , C h i n a ;
2 . D e p a r t m e n t o fE n g i n e e r i n gS c i e n c e , P e n n s y l v a n i aS t a t eU n i v e r s i t y , U n i v e r s i t yP a r k , P A1
6 8
0 2 , U S A) :Them i c r o s i z eL E Dd i s p l a y i sm a d eo f t w o d i m e n s i o n a l a r r a y so fh i g h d e n s i t y l i g h t e m i t t i n gd i o d e s .I ti sa na l l s o l i da c t i v el i g h t e m i t t i n gd e v i c ea n d h a s m a n ya d v a n t a g e s , i n c l u d i n gs i m p l e s y s t e md e s i g n , h i g h l u m i n o u s e f f i c i e n c y , f a s t r e s p o n s ea n dt h ew i d e r a n g eo f o p e r a t i n gt e m p e r a t u r e . I nt h i sp a p e r , t h ed e s i g na n df a b r i c a t i o no ft h em i c r o L E Dd i s p l a y d e v i c e sw i l l b e r e v i e w e da n d l i n k e d t o t h e i r a p p l i c a t i o n s . :microdisplay;
LEDsarrays;
CMO So ns i l i c o n ;
c o l o r i z a t i o nd i s p l a y 引言近几年, 随着 L E D 芯片工艺技术的日益进步, 使得 M i c r o L E D 作为像素的 L E D 微显示技术成为 可能[
1
3 ] .
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1 2年D a y等[
4 ] 成功制作了分辨率为6
4 0 *
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0 、 像素直径为1 2μ m 的I n G a N / G a N 量子阱结 构L E D微显示阵列, 显现出L E D微显示技术巨大的应用前景.随着移动互联网和智能设备的普及, 人们 对信息呈现方式的多样化需求也逐渐强烈.如何在小尺寸设备中实现更好的显示, 成为众多应用领域亟 待解决的问题.L E D微显示技术正是这样一种合时宜的技术.相比目前市场上存在的其它几种微显示 技术( 如L C D技术、 O L E D技术、 硅基液晶技术和D L P技术) , L E D微显示技术这种自发光微显示技术以 其体积小、 亮度高、 响应速度快、 抗干扰能力强等优点[
5
6 ] 而极具市场潜力.
1 奈⑾允臼迪址绞