PDF《生产设备》

CdTe薄膜太阳能电池生产中占有重 要的地位. 凭借先进的技术,HISTARIS设备能够在提高电池效率 的同时降低生产成本.模块化设计包括配备旋转磁控 管的工艺腔室,可对高性能TCO层或其它几种材料如金 属和金属氧化物进行溅射沉积.预处理模块可添加清 洗或蚀刻工艺.凭借其独特的模块化设计,HISTARIS 设备非常适合具有挑战性的层叠和灵活的混合产品. 以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多 层前驱体涂层为例,该设备的主要优势在于它可应用 于太阳能和显示器行业,对玻璃衬底进行真空水平式 镀膜.标准应用包括减反射层、阻挡层、前驱体层和 Al, Cu, NiV等不同金属层. HISTARIS 适用于水平基板运输的在线溅射设备 适用于不同应用的模块化设备 适用于R&

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