PDF《双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温 SGL-1200L ...》

主要用途和适用范围: CVI-1200 系统由高温管式炉,真空压强控制系统,多通道高精度数字质量流量控制系统,过压保护及冷凝等部分组成,可实现真空达 0.

1mbar 混合气体 化学气相沉积和扩散试验. 主要技术参数: SGL-1200L 真 空管式炉 双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好 加热元件采用高电阻优质合金丝 0Cr27Al7Mo2,经久耐用,最高温度可达 1200℃ 机器电源 AC220V,50/60Hz;

额定功率 4kw 炉管 高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小,能承受骤冷骤热的温度变化;

尺寸:Φ 80*/1000mm 刚玉支撑架,有效保证料件处于温区中心 法兰及支撑 SUS304 不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀 一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀,KF 密封圈及卡箍组合,4 个密封硅胶圈等 加热系统 加热元件:0Cr27Al7Mo2 加热区长度:300mm 恒温区长度:150mm 工作温度:≤1150℃ 升温速率:≤10℃/min 温控系统 温度控制采用人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能

30 段升降温程序 测温元件:N 型热电偶 恒温精度:±1℃ 超温、断偶故障警报及断电保护 HQZ-Ⅳ 混气系统 高精度质量流量计通过数据接口连接电脑,配置软件实时人机交互界面 四通道质量流量控制,可同时通入四种不同气体 内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 流量规格:0~30SLM 控制精度:±1.0%F.S 真空系统 采用德国 vacuubrand MV2NT VARIO 四级隔膜泵,无极调速,实现负压的精准控制 极限真空度可达 0.1mbar 可长时间连续工作,无须担心泵因过热保护而中止实验 采用电容式陶瓷隔膜真空规+控制器,操作简单方便 配置气体尾气处理系统 冷凝系统 采用低温恒温槽,最低温度可达-20℃ 内置不锈钢真空冷凝灌,采用 KF 接头,清理收集方便 槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验