PDF《证书编号：国环评证甲字第 2505 号》

2 87 Scrubber 尾气处理器 NSHW600

2 88 真空泵 IH1000/IH80/PDT/Iti m/XDS35

3 89 光刻系统 /

1 90 波分复用器测试系统 /

4 现有工程建设内容及环保措施落实情况见表 3.

5 表3现有工程环评批复建设内容及环保措施落实情况 项目名称 建设内容 环评及环评批复内容 落实 情况

200 万片平 面光波导分 路器芯片、 光电子集成 芯片一期项 目 以外购石英片 为主要原料, 通过预处理、 蚀刻、切磨等 工序加工生产 电子芯片 含氟废水经含氟废水处........