PDF《设置方法》

[SM-385853-C] D18D 使用方法

2 设置方法 1.

操作相关事项 1.1 显示、操作部名称及其功能 1.1.1 显示一体型(FSM-N/P 系列) 1.1.2 显示分离型(FSM2-A 系列) 流量柱显示 ? 根据流量亮灯. ? 超载流量时闪烁.

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80 100 L/min 气体: 空气、N2 MODE(模式)键?进入各种设定模式时进行设定. ? 用来返回到流量显示. ? 用来解除峰值保持动作. (UP)键?流量显示时,依次显示 CH1 的数据. ? 峰值保持动作时,显示最大值. ? 模式选择时,选择确定模式. ? 各数据设定时,用来进行数值等的递增. (DOWN)键?流量显示时,依次显示 CH2 的数据. ? 峰值保持动作时,显示最小值. ? 各数据设定时,用来进行数值等的递减. 主显示部(绿色/红色) ? 显示流量显示及其设定值. ? 可切换显示颜色. 辅助显示部(绿色/红色) ? 显示流量方向、动作状 态等. ? 可切换显示颜色. 流量单位显示(绿色) ? 显示流量单位. 1. 输出(OUT1)显示(绿色) 2. 输出(OUT2)显示(绿色) ? CH1 输出 ON 时亮灯. ? 检测到超载电流时闪烁.累计脉冲输出设定时不闪烁. 锁定螺母 ? 用来固定旋钮时使用.(仅限于针阀一体型) 旋钮 ? 调节流量.(仅限于针阀一体型) [SM-385853-C] D19D 使用方法

2 流量 单向型 双向型 0%F.S. +60%F.S. (顺向) +120%F.S. (顺向) 超载流量时 闪烁 -60%F.S. (逆向) -120%F.S. (逆向) 超载流量时 闪烁

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80 100 L/min 气体: 空气、-100 -60 -20

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60 100 L/min 气体: 空气、020

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80 100 L/min 气体: 空气、-100 -60 -20

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60 100 L/min 气体: 空气、[SM-385853-C] D20D 使用方法

2 1.2 功能的说明(显示一体型) 功能及各种设定,即可在通常流量显示时进行,也可进入设定模式后进行.设定模式也根据使用频度,分 为标准设定模式和详细设定模式. 通常动作 (操作说明记载在第

20 页及以后.) 项目 说明 出厂时的设定 瞬时流量显示 显示瞬时流量. 瞬时流量显示 累计流量显示 可切换到累计流量显示. 在开关输出功能中,有达到规定累计值以上时让开关 ON/OFF 的功 能,也有每达到一定累计值时输入脉冲信号的累计脉冲功能. 峰值保持功能 可了解在某期间内所显示流量值的最大值和最小值. 峰值保持 OFF 键锁定功能 可用该功能使键操作无效,从而防止误操作. 键锁定无效 错误显示功能 当发生异常或错误时,显示错误的状态. - 标准设定 (操作说明记载在第

22 页及以后.) 项目 说明 出厂时的设定 开关输出功能 拥有

2 点开关输出,可设定

7 个动作模式和动作的停止. CH

1、CH2 同时为 开关 OFF 设定 强制输出功能 强制使开关输出变为 ON. 在进行接线、 输入装置的初始动作确认时 可使用该功能. - 调零功能 修正零点偏差. 调节值:0 详细设定 (操作说明记载在第

26 页及以后.) 项目 说明 出厂时的设定 流量方向的选择 (仅双向型可选择) 设定流量方向. 可设定为双向、单侧顺向、单侧逆向. 双向设定 (单相型则自动设 定为单向) CH2 动作的选择 选择 CH2 的功能. 可选择将 CH2 作为开关输出使用,或作为外部输入(累计值复位/ 自动参照)使用. 开关输出 自动参照功能 当选择将 CH2 作为自动参照使用时, 可通过外部输入或键盘操作读 入开关输入的阈值.当因工件变化等而导致开关的阈值改变时,可 自动变更阈值. 自动参照功能 OFF 响应时间的设定 设定响应时间. 可在 50msec 至1.5sec 范围内分

7 档变更该时间. 可防止因流量的 急剧变化引起的振荡或误动作. 响应时间:50msec 显示速度的设定 在250msec 至1sec 范围内分

3 档改变数字显示的显示更新周期. 当显示值很分散时,通过延长显示更新周期,可减小分散程度. 显示速度:250msec 辅助画面的设定 设定辅助显示部的显示方法. 可在流量方向、流量单位、气体种类等显示内容之间切换. 流量方向显示 显示颜色的设定 设定显示颜色. 通常显示时,可设定开关输出 ON 时的显示颜色. 主显示、 辅助显示在 通常显示时:绿色 SW ON 时:红色 滞后的设定 设定开关设定值的响应延迟. 当流量发生波动,并在阈值附近引起开关的振荡时请使用该功能. 滞后差:1%FS 流量单位的设定 可将显示单位选择为标准状态或基准状态. 标准状态(ANR):换算成 20℃、1 个大气压下的体积流量 标准状态(NOR):换算成 0℃、1 个大气压下的体积流量 流量单位:ANR 节能模式的设定 可选择节能模式. 约1分钟未操作按钮时,将进入到节能模式,显示的背景照明熄灯. 可降低消耗电流. 节能模式 OFF 设定复位 恢复到出厂时的状态. - [SM-385853-C] D21D 使用方法

2 1.3 通常动作设定方法 1.3.1 瞬时流量显示和累计显示的切换 注)通过外部输入进行累计值复位的设定方法:请在自动参照的设定中,选择累计值复位. 注)断开电源时,累计值将自动复位.另外,即使断开电源,累计流量显示设定也将保持. 1.3.2 峰值保持功能 mL/min mL/min mL 流量显示的选择 瞬时流量显示(单位 mL/min、L/min) 累计流量显示(单位 mL、L) 按1次按1次(确定) mL 瞬时流量(累计流量)显示时,每按

1 次键,进 入流量显示选择画面,同时显示闪烁. 另外,按键,选择显示,按1次键确定 所选择的显示. 累计值的清除方法 同时长按 和键2秒钟,则清除 累计流量值. 长按

2 秒钟 mL/min 峰值保持画面 在按住 键的同时,按键mL/min mL/min mL/min 长按 长按 按1次峰值保持解除 转到瞬时流量显示 瞬时流量(累计流量)显示时,在按住 键的同时, 按键,进入峰值保持画面. 长按 键期间将显示峰值. 长按 键期间将显示谷值. 按键,解除峰值保持. [SM-385853-C] D22D 使用方法

2 1.3.3 设定值确认方法 注)通过外部输入使用自动参照功能时,不执行任何动作. 1.3.4 键锁定/解锁功能 键锁定方法 键锁定解除方法 注)? 出厂时,为键锁定解除状态.请根据需要进行键锁定操作.另外,键锁定、键锁定解除状态在断开电 源后仍将保持. ? 键锁定状态中,不接受除键锁定解除操作以外的任何其他操作.另外,在键锁定状态进行其他操作时, 将显示 Loc . mL/min CH1 数据显示 长按 转到瞬时流量显示 瞬时流量(累计流量)显示时 长按 键,显示 CH1 的设定值. 长按 键,显示 CH2 的设定值. 离开 CH2 数据显示 动作波形显示 交替显示 mL/min

1 mL/min

1 CH1 的设定为窗口动作①时CH2 的设定为外部输入累计值复位时 离开 长按 mL/min 在按住 键的同时,长按 键1秒mL/min 瞬时流量(累计流量)显示时,在按住 和 键的 同时,长按 键约

1 秒钟,将显示 Loc ,进入键 锁定状态. mL/min mL/min 在键锁定状态,在按住 和 键的同时,长按键约

3 秒钟,将显示 unL ,进入键锁 定解除状态. 在按住 键的同时,长按 键3秒[SM-385853-C] D23D 使用方法

2 1.4 标准设定模式 1.4.1 进入标准设定模式的方法 mL/min 长按

3 秒钟(显示值闪烁) 在瞬时流量显示状态,长按 键3秒钟,将进入 标准设定模式.按键,切换模式,然后按 键 确定. 按1次 按1次 按1次返回到瞬时流量显示 开关输出设定画面 按1次(确定) 强制输出操作画面 按1次(确定) 调零操作画面 按1次(确定) mL / min 转到第

23 页 转到第

25 页 转到第

25 页[SM-385853-C] D24D 使用方法

2 1.4.2 开关输出设定方法 开关输出设定画面 CH1 动作模式选择 按1次(动作模式的确定) CH1 ON?OFF 数据设定(选择了窗口动作①时) mL/min mL/min 数值增加 数值减少 按1次按1次(CH1 设定的确定) CH2 动作模式选择(请按照与 CH1 相同的操作进行选择) CH2 ON?OFF 数据设定(请按照与 CH2 相同的操作进行设定) 按1次(动作模式的确定) 按1次(CH1 设定的确定) 返回到瞬时流量显示 选择 CH1 的动作模式. 另外,按键,切换到想设定的动作模式, 然后按 键确定. 设定开关的 ON/OFF 数据.按 键数值增加、 按 键数值减少,按 键确定. 不能将下限值设定为超过上限值的值.请首先设定上限值.另外,流量 方向为单向,不能设定为负向. [SM-385853-C] D25D 使用方法

2 关于开关输出功能 根据用途,可从

8 种开关动作中选择.可分别分配到 CH

1、CH2 中. 编号动作方式名称 说明 动作波形 LCD 显示

1 开关动作 OFF 开关动作为 OFF 状态.

2 窗口动作① (范围内 ON) 注1在指定范围内,开关输 出ON.

3 窗口动作② (范围外 ON) 注1在指定范围外,开关输 出ON.

4 滞后动作① (流量较小侧 ON) 将滞后(响应延迟)设 定为任意值,当实际流 量为指定流量以上时开 关输出 OFF.

5 滞后动作② (流量较大侧 ON) 将滞后(响应延迟)设 定为任意值,当实际流 量为指定流量以上时开 关输出 ON.

6 累计输出① (设定值以上 ON) 当实际累计流量为设定 的累计输出值以上时, 开关输出 ON.

7 累计输出② (设定值以上 OFF) 当实际累计流量为设定 的累计输出值以上时, 开关输出为 OFF.

8 累计脉冲输出 输出累计脉冲信号. 注

2、注3注1:窗口动作①、②的上限值、下限值中自动设定为固定滞后值(出厂时:1%FS).固定滞后值可在详 细设定模式中在 1~8%FS 范围变更. 注2:关于脉冲输出速率,请参考 4.1 规格 中的 累计脉冲输出速率 . 注3:进行累计脉冲输出设定时,输出(OUT

1、2)显示闪烁. 流量 ON OFF 下限设定值 上限设定值 流量 ON OFF 上限设定值 下限设定值 流量 ON OFF 下限设定值 上限设定值 流量 ON OFF 上限设定值 下限设定值 累计流量 ON OFF 累计设定值 累计流量 ON OFF 累计设定值 累计流量 ON OFF 脉冲输出速度 注240msec 流量 ON OFF [SM-385853-C] D26D 使用方法

2 1.4.3 强制输出方法 1.4.4 调零方法 注)请将流量确实调为零后,读入偏差值. 注)当偏差±10%以上时,将显示 E

02 ,并清除复位值. 注)偏差值是用来显示的运算处理值,与实际的流量值不同. 修正零点偏差. 同时按 和键,读入设定值,然后按 键确定. 强制输出操作画面 返回到瞬时流量显示 按1次2112 强制使开关变为 ON. 长按 键期间,CH1 一直为 ON. 长按 键期间,CH2 一直为 ON. (将CH2 选择外部输入时,CH2 不执行任何动作.) 长按期间显示. 同时长按 调零操作画面 返回到瞬时流量显示 按1次(确定) 按1次同时按 (设定值读入) 读入的偏差值 长按 长按 [SM-385853-C] D27D 使用方法

2 1.5 详细设定模式 1.5.1 进入详细设定模式的方法 mL/min 长按

8 秒钟(显示值从闪烁→CH1 显示过程中持续按住 按1次 流量方向选择画面 按1次(确定) 自动参照设定画面 按1次(确定) 在瞬时流量显示状态,长按(持续按住) 键8秒钟,将 进入详细设定模式. 按键,切换模式,然后按 键确定. mL / min 按1次 响应时间设定画面 按1次(........