PDF《(4)有机发光二极管显示面板生产企业进口生产设备清单》

1 烘炉 固化机(炉)/对流式加热炉/有机膜层后烘机/框 胶硬化机/柔性基板固化机/平板显示器玻璃贴 合封框胶热硬化炉 Oven/Baking Machine/PL Oven/Before ODF Oven/Seal Main Cure Oven/Vacuum Pressure Oven/Flexible Substrate Baking Machine

2 装卸载装置/成盒前玻璃基板搬送机/装卸机/装 载卸料设备/索引机 Loader &

Unloader/ODF Inline Transfer System/LD/ULD /Index/Indexer

3 天棚搬送装置 OHS

4 机械手/机器人/无尘机械手 ROBOT /Clean robots

5 基板搬运车 MGV/AGV

6 港湾式储存搬送装置/存储搬送装置/卡匣式自 动装卸运输机 Bay Stockor /Stockor

7 溅射机/阵列真空金属溅射机/氧化铟锡真空溅 射机 Sputtering machine

8 等离子加强气相沉积设备/化学气相沉积机(装置)/等离子化学气相沉积设备 PECVD/CVD

9 涂布机/涂覆机/柔性基板涂布机 Coater/PI COATER/COATER/PI Inkjet Printer/Flexible Substrate Coater

10 曝光机/边缘曝光机/打码及边缘曝光机/阵列曝 光机 Exposure Machine/Exposure/Edge Exposure/Titler &

Edge Exposure

11 长尺寸测定仪 Total Pitch/Total Pitch Measurement

12 基板打标机 Numbering M/C /titler

13 显影机/涂布显影机/涂胶显影机 Developing Machine /Coater &

Developing Machine/TRACK

14 恒温污染物处理设备 TAU

15 曝光前温控设备/温控器 TCU

16 显影回收系统 Photo Resist Segregation System

17 清洗回收系统 Cleaner Recycle System

18 平板显示器显影液控制系统/平板显示器显影液 回收循环系统 Developer Control System/DRS

19 激光打标机 Laser marking machine

20 有机溶剂过滤机 HPU

21 干法刻蚀机/边缘涂胶机 Dry Etcher/Coater

22 湿法刻蚀机/高粘度PI涂布设备 Wet Etcher/High Viscosity PI Coating System

23 HF蚀刻机 HF Etcher

24 离子注入掺杂设备/离子注入机 Ion implanter/ION DOPING SYSTEM

25 快速退火机(炉/设备)/快速热退火预热机 RTA

26 立式数控电烘箱 Vertical Anneal

27 退火炉/高温退火炉/高温工艺炉/烘焙炉/氧化 铟锡退火机 Anneal M/C/Metal Anneal/ Furnace/Oven

28 晶化炉 Crystallization

29 激光晶化装置/激光退火机/准分子激光退火机 Laser Crystallization machine/ELA

30 灰化机 ASHER

31 加热恒温设备 Heating Jacket

32 干法剥离机 Dry Stripper M/C

33 湿法剥离机/预处理装置 Wet Stripper M/C/Pre-Compaction System (4)有机发光二极管显示面板生产企业进口生产设备清单 (用于确定维修所需进口的零部件免税范围) 序号 涂胶、曝光、 显影 成膜 脱膜 移载、存储 工序 设备分类 设备名称 英文名称(供参考) 蚀刻、离子注 入、晶化、活化、退火 基板 序号 工序 设备分类 设备名称 英文名称(供参考)

34 激光化学气相沉积修补设备/化学气相沉积修补 设备/开路修复机 Array Lazer CVD Repair/CVD Repair/Open Repair

35 阵列返修设备/平板显示器玻璃基板修理机/自 动光学检查机 Array Repair/ARRAY CUT REPAIR/PI Dry Rework/PI Wet Rework/Automatic optical inspection machine

36 激光修补机/激光修复机/切断式修复机/掩模版 激光修复机 Laser Repair Machine/CUT Repair/Mask Laser Repair

37 蒸镀机/平板显示器蒸镀机 Evaporation Unit/FMM EV SYSTEM

38 掩模版(掩膜板/掩膜版)张紧机/平板显示器 掩模版张紧机 Mask Tension Machine/FMM Tension M/C

39 有机材料提纯机 Drganic Materials sublimation Machine

40 氦质谱检漏仪/平板显示器检漏仪 Helium Leak Detector/Leak Detector