PDF《建设项目环境影响报告表》

1 卷3g 车间物料间 氧化铝粉 / 20Kg 4kg 车间物料间 蓝膜 /

2 卷1kg 车间物料间 粘膜 /

2 卷1kg 车间物料间 氢氧化钠 32% 200kg 200kg 屋顶酸碱排气机房 表1-2 本项目主要设备表 序号 生产车间 设备名称 型号规格 数量(台/套) 产地

1 黄光间 涂胶机

1 1 台湾

2 加热盘 /

2 中国

3 酸洗槽 广鹏

1 台湾

4 曝光机 Suss/ MA6

1 德国

5 晶像显微镜 /

1 中国

6 烘烤箱 /

2 中国

7 酸洗间 酸洗槽 广鹏

2 台湾

8 有机槽 广鹏

1 台湾

9 加热盘 /

2 中国

10 加热槽 /

1 中国

11 拨金机 广鹏

1 台湾

12 电浆区 ICP 蚀刻机 Samco/ RIE-400iP

1 日本

13 PECVD Oxford/ 800Plus

1 英国

14 蚀刻机 Samco/ 10NR

1 日本

15 UV Ozone Samco/ UV-300H

1 日本

16 O2 plasma Samco/ PC-1100

1 日本

17 ALD 镀膜机 Picosun/ R200

1 芬兰

18 维修间 Local Scrubber EcoPlasma

500 2 韩国

19 回火区 炉管 森积

1 台湾

20 沉淀金区 E-Gun 崇文/ Ohmiker-60B

1 台湾

21 湿氧化区 湿氧化机 AET

1 法国

22 目检区 显微镜 /

1 中国

23 打线机 /

1 中国

24 点测间 点测机 LEDA

2 台湾

25 切割间 划线机 Daitron/ DPS-402NR

1 日本

26 晶粒清洗机 Disco/ DCS1440

1 日本

3 27 扩膜机 /

1 中国

28 研磨间 研磨机 SpeedFAM/ 32BAW

1 台湾

29 抛光机 SpeedFAM/ 32GPAW

1 台湾

30 上腊机 SpeedFAM/ 24MS

1 台湾

31 有机槽 广鹏

1 台湾

32 可靠度测试间 APC burn-in 炉 通湖/ THL-512V30H

2 台湾

33 85/85 测试机 庆声/ THS-G2T-100

1 台湾

34 电子显微镜间 电子显微镜 HITACHI/ Regulus8100

1 日本

35 晶粒挑选区 自动目检机 ASM/ ES101

1 中国

36 Mapping Sorter ASM/ MS90

1 中国 表1-3 本项目主要原辅材料理化性质 名称分子式及 分子量 理化特性 燃烧 爆炸性 毒性毒理 氨NH3 17.0 无色有刺激性恶臭的气体,熔点-77.7℃,沸点-33.5℃,闪点-54℃,密度 0.771g/L,氨极 易液化,在常压下冷却至-33.5℃或在常温下 加压至 700KPa 至800KPa, 气态氨就液化成 无色液体,同时放出大量的热.液态氨汽化 时要吸收大量的热,使周围物质的温度急剧 下降. 易燃 LD50: 350mg/kg (大 鼠经口)LC50: 1390mg/m3 ,4 小时 (大鼠吸入) 氢气H2 2.0 无色透明、无臭无味的气体.氢气是世界上 已知的密度最小的气体,氢气的质量只有空 气的 1/14,即在 0℃时,一个标准大气压下, 氢气的密度为 0.0899 g/L.不溶于水,不溶 于乙醇、乙醚.熔点( ) ℃ -259.2 沸点 ( ) ℃ -252.8. 易燃 无毒 聚酰亚胺45~55% γ-丁内 酯、 1~10% 乙酸-1-甲 氧基-2-丙 基酯 褐色液体,闪点:74℃,密度 1.1~1.2 g/cm3 (25 °C), / / 三甲基铝Al(CH3)3 72.08 三甲基铝在常温常压下为无色透明液体.反 应性极强.空气中自燃,瞬间就能着火.与 具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应.与水 反应激烈,即使在冷水中也能产生爆炸性分 解反应,并生成甲烷,有时还能发火.在300℃时缓慢分解产生甲烷.熔点 (101.325kPa):15.28℃,沸点(101.325kPa): 127.12℃, 液体密度(20℃, 100kPa): 752kg/m, 熔化热(15.28℃, 101.325kPa):122.05 kJ/kg, 水溶性 (25℃) : 遇水剧烈反应蒸气压(10 ) ℃ : 0.588kPa 闪点:-17℃ 高度易燃 急性中毒时出现对 眼和上呼吸道的刺 激作用、抑制神经 系统(无麻醉作用)、 降低耗氧量、大脑 和内脏充血、肺气 肿,严重染毒能引 起死亡. 浓硫酸H2SO4 98.078 无水硫酸为无色油状液体,10.36℃时结晶, 通常使用的是它的各种不同浓度的水溶液, 用塔式法和接触法制取.沸点 338℃,相对 密度 1.84. 不易燃, 但与金属 发生反应 后会释出 易燃的氢 气,会导 急性毒性:LD50: 2140mg/kg(大鼠经 口);