【PDF】VO2/AZO 复合薄膜的制备及其光电特性研究∗ - 资源下载 - 网路锅炉资源网

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cyhzg

2013-03-08

15 min 后表面的XPS宽程扫描谱, 对比图

3 (a)可以发现, 刻蚀后的薄膜表面能够检测到 Ar 离子, 这是由于在刻蚀过程中, Ar 渗入到薄膜晶........

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