PDF《微纳米光电器件用单层 MoS》

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1 5] . 化学气相沉积法制备MoS2的操作过程简便, 可以通过控 制反 应温 度、 时间和气体流速等因素来改变 M o S

2 薄膜的形貌 尺寸. 人们已用化学 气相沉积 法生 长出 了尺 寸为

2 0~8 0μ m 的单层 M o S

2 薄膜[

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1 7 ] . 能否用化学气 相沉积法制备出更大尺寸的单层 M o S

2 薄膜是人 们目前没有解决的问题. 本文研究了保温生长时间 和氩气流速对硫化三氧化钼化学气相沉积法在蓝 宝石衬底上生长 M o S

2 形貌、 尺寸、 结构和层数的 影响.

1 实验条件及方法 1.

1 M o S

2 薄膜的制备 1. 1.

1 蓝宝石衬底的清洗 制备二硫化钼前需要清洗蓝宝石衬底, 整个清 洗过程在超净间完成. 先将衬底在丙酮溶液( 江阴 市化学试剂厂) 、 乙醇溶液( 江阴市化学试剂厂) 和 去离子水( 上海晶明化工有限公司) 中依次用超声 处理1 0m i n;

再将其用氮气气........