编辑: 过于眷恋 2019-08-01
1 《厦门天马 LTPS/AMOLED(含柔性)生产线项目》环境影响报告书简本

1 建设项目概况 1.

1 项目由来 二十一世纪是信息时代.作为信息产业的支撑产业之一,近年来,光电显示产业 中的平板显示(FPD)产业得到了迅速发展. 有源矩阵有机发光二极体面板(Active Matrix/Organic Light Emitting Diode,简称 AMOLED),是有机发光二极体(Organic Light Emitting Diode,简称 OLED)显示技 术的一种.在OLED 中,有机半导体材料和发光材料在电场驱动下,通过载流子注入 和复合导致发光,而AMOLED 是将 OLED 像素淀积或集成在 TFT 阵列上,通过 TFT 阵列来控制流入每个 OLED 像素的电流大小,从而决定每个像素点发光强度的显示技 术.AMOLED 不管在画质、效能及成本上,先天表现都较 TFT LCD 优势很多.在显 示效能方面,AMOLED 反应速度较快、对比度更高、视角也较广,这些是 AMOLED 天生就胜过 TFT LCD 的地方;

另外 AMOLED 具自发光的特色,不需使用背光板,因 此比 TFT 更能够做得更轻薄, 而且不需使用背光板的 AMOLED 可以省下占 TFT-LCD 3~4 成比重的背光模组成本. 目前,全球已经有

100 多家的研究单位和企业投入到 OLED 的研发和生产中去, 包括全球显示业巨头,如三星、LG、索尼等公司.在AMOLED 面板领域,目前韩企 占据绝对的优势,韩国面板企业(以三星为代表)已经率先进入大尺寸 AMOLED 领域,市场占有率远高于其他面板企业.中国政府高度重视 AMOLED 产业发展,国内 的AMOLED 生产企业,以京东方为代表的国内企业正在大力发展 AMOLED 产业, 寻求突破国外厂商对 AMOLED 的技术垄断. 厦门天马微电子有限公司由中国航空技术深圳有限公司、中国航空技术厦门有限 公司、厦门市金财投资有限公司和中国航空技术国际控股有限公司共同出资投建.公 司于

2011 年03 月03 日在中国厦门市翔安区注册成立,注册资本

28 亿元人民币,建 设一条 5.5 代低温多晶硅(LTPS)TFT-LCD 生产线及彩色滤光膜(CF)生产线(本 评价称为一期项目),生产规模为第 5.5 代TFT-LCD(LTPS)3 万张/月(36 万张/年);

第5.5 代彩色滤光片(CF)6 万张/月(72 万张/年);

液晶显示屏(或模块)11822.4 万块/年.

2 为进一步增强企业核心竞争力,扩大产业布局,将企业做大做强,公司于

2015 年 在一期项目厂区的西侧再投资120亿元人民币扩建第6代低温多晶硅LTPS (TFT-LCD) 及彩色滤光片 (CF) 生产线 (本评价称为二期项目) , 产能为第 6.0 代TFT-LCD (LTPS)

3 万片/月(36 万片/年);

第6.0 代彩色滤光片(CF)6 万片/月(72 万片/年);

液晶 显示屏(或模块)8210 万块/年.产品主要应用在移动终端、车载显示、娱乐显示、工 业仪表、办公显示等领域,产品定位于 10.4 英寸以下中小尺寸市场,产品广泛应用于 移动终端、车载显示、工控医疗、娱乐显示等中小尺寸显示领域. 为满足全球和中国大陆市场对 AMOLED 面板产品的巨大需求,培养自主技术, 带动区域均衡发展,厦门天马微电子有限公司拟再投资

190 亿元人民币,利用厦门天 马一期工程现有厂房,在现有 LTPS TFT-LCD(低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示屏) 生产线的基础上,购置主要工艺及工程设备

2401 台(套),凭借已有的 LTPS 产业化 关键技术和工艺,开发建设一条 LTPS/AMOLED(含柔性)生产线(注:本评价称为 扩建项目),建成达产后,预计将实现

5000 张/月(6 万张/年)的LTPS/AMOLED 基板(含柔性基板). 根据《中华人民共和国环境保护法》、 《中华人民共和国环境影响评价法》、 《建 设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理目录》以及《福建省 环保境保护条例》的相关规定,厦门天马微电子有限公司委托我司负责该项目环境影 响评价.我司接受委托后,由专业技术人员组成评价课题小组,先后多次前往工程所 在地进行现场踏勘,经资料搜集与调研,按环评导则规范要求编制了本项目环境影响 评价工作方案.并进行了环境现状调查、监测、资料收集与整理、公众参与调查、数 据处理和分析及报告书编写等工作,完成了本项目环境影响报告书的编制,供建设单 位上报环保部门审查. 1.2 项目建设概况 1.2.1 项目基本情况

3 表1.2-1 扩建项目基本构成一览表 项目名称 厦门天马 LIPS/AMOLED(含柔性)生产线建设项目 单位名称 厦门天马微电子有限公司 总投资

190 亿 性质 扩建 行业代码 C3969 光电子器件及其 他电子器件制造 法人代表 ―― 联系电话 0592-3138888 邮政编码

361101 联系人 ―― 联系地址 厦门火炬高新区(翔安) 建设地点 厦门火炬高新区(翔安)产业区翔安西路6999 号 主要建设内容 扩建工程在一期工程厂区内进行,主要依托一期工程的生产厂房和辅助、配套、环保工程等设施 进行扩建一条 LIPS/AMOLED(含柔性) 生产线, 产能为

5000 大张/月(6 万张/年) LIPS/AMOLED(含 柔性)基板,并切割为

768 万片/年屏体.同时,在一期工程东北角空地处新建一栋有机化学品回收、 供应间用于放置一期、 二期和本次扩建工程产生的废剥离液;

一栋锅炉房 (新增

2 台3t/h 的燃气锅炉) ;

一套废剥离液回收系统(SRS 系统)、一栋混酸车间(用于处理一期、二期工程薄化工序产生含氟废 酸液)和一栋甲类仓库(主要用于存放丙酮、乙醇、ATO 高阻膜等),以及对一期工程的部分管道进 行改造等.在一期工程厂区 M1 办公区一层新建一个食堂,可提供

34000 人就餐. 设计产能 产品名称 设计产量(按投片量) 备注AMOLED (有源有机发光 显示器件) 硬性基板

2500 张/月(3 万张/年) 玻璃基板尺寸:1300mm*1500mm;

厚度:0.5mm 柔性基板

2500 张/月(3 万张/年) 生产班制和职 工人数 (1)生产制度:公司管理部门采取单班制工作,年工作日

250 天;

生产工人实行四班三运转,每班 工作时间

8 小时,每周工作日

5 天,全年

250 天,年时基数

2000 小时;

生产设备实行三班工作制,每 周工作日

7 天,全年

355 天,年时基数

8520 小时. (2)职工人数:新增员工

216 人. 预投产日期

2017 年第四季度开工建设,2018 年试产,到2019 年达产. 1.2.2 主要产品及建设规模 扩建项目生产纲领计划见表 3.2-1. 表3.2-1 扩建项目生产纲领计划一览表 序号 产品 投入基板量产能 备注

1 AMOLED 硬性

2500 张/月,3 万张/年 本次扩建项目只增加一条阵列工程生 产线,最终产品为

6 万张/年玻璃基板(含 柔性). 柔性

2500 张/月,3 万张/年?AMOLED 产品及结构简介 有源矩阵有机发光二极体面板(Active Matrix/Organic Light Emitting Diode,简称AMOLED),是有机发光二极体(Organic Light Emitting Diode,简称 OLED)显4示技术的一种.在OLED 中,有机半导体材料和发光材料在电场驱动下,通过载流 子注入和复合导致发光, 而AMOLED 是将 OLED 像素淀积或集成在 TFT 阵列上, 通过 TFT 阵列来控制流入每个 OLED 像素的电流大小, 从而决定每个像素点发光强 度的显示技术. AMOLED 的基本单元结构可分为以下几部分:

1、AMOLED:由TFT 背板、有机发光层、阴极三个部分组成 (1)TFT 背板、阴极:TFT 背板是在玻璃基板上制作薄膜晶体管(TFT),与阴 极分别位于有机发光层两端,形成电场控制流入 OLED 像素电流大小,从而控制发 光强度;

(2)有机发光层:由各类有机发光材料组成,在电场作用下主动产生光源;

2、偏光片:吸收反射光降低外界光线反射干扰,同时增强对比度;

3、保护膜、盖板玻璃:保护屏幕不受外界外力伤害. 以上为传统刚性 AMOLED 的基本结构. 本项目同时生产柔性 AMOLED, 与传统刚性 AMOLED 相比, 柔性 AMOLED 整 体为一张具有完整显示功能的膜,无玻璃基板,是可弯曲的柔性显示屏. ? AMOLED 工作原理 AMOLED 是能独立发出任意颜色光的 像素点 组成,因此,通过控制各个象 素显示相应的颜色就能控制 AMOLED 图像的显示. 像素点由 TFT 背板最上方一层薄而透明具半导体特性之铟锡氧化物(ITO)作为 阳极,再加上另一个金属阴极,将有机发光层夹在中间,包成如 三明治 的结构. 有机发光层中包括:空穴传输层(HTL)、发光层(EL)与电子传输层(ETL). 当电力供应至适当电压时,空穴与电荷分别由正极与负极通过空穴传输层与电子 传输层注入发光层, 在发光层中相遇结合形成电子-空穴复合, 导致电子-空穴所处能阶 变化释放出能量, 从而使发光层中发光分子激发, 发光层是由能发出红、 绿、 蓝(R/G/B) 三原色的发光材料组成,后者辐射发出红、绿、蓝三色可见光.而TFT 背板上制作的 薄膜晶体管(TFT)则可实现 主动的 对屏幕上各个独立象素进行控制,即所谓的主动 矩阵 TFT(active matrix TFT),从而控制每个像素的颜色显示. AMOLED 工作原理如下图所示:

5 图3.2-1 AMOLED 工作原理示意图 ? AMOLED 产品优势 较之传统的 TFT-LCD,自发光性的 AMOLED 具有超轻薄、快速响应、广视 角、高对比度、低功耗等优势.

1、超轻薄:由于 AMOLED 为主动发光,不需要背光源,因此,显示屏成品像 纸张一样薄,便于超薄设计并可满足柔性显示的要求.

2、快速响应:AMOLED 的响应时间在 1~5 微秒之间,响应速度快,更适合动 态显示,无拖尾现象.

3、广视角:AMOLED 的视角接近

180 度,侧视画面色彩不失真.

4、高对比度:AMOLED 为自发光,其对比度高达

100 万:1.

5、低功耗:AMLOED 每个像素均可独立控制发光,无需恒定的背光源,因此其 能耗显著低于传统的 TFT-LCD. 1.2.3 项目组成及主要工程内容 本项目主要由主体工程、储运工程、公用及辅助工程和环保工程等组成.本项目 工程组成情况见表 1.2-2.

6 本次扩建项目在一期工程厂区内进行,所以大多数建筑物、生产设备等均依托一期工程.具体见表 3.2-2. 表3.2-2 扩建项目组成及工程建设内容 序号 工程项目 建设指标 备注

一、主体工程 AMOLED 生产阵列工程依托一期工 程M1 生产车间.本次新增设备分布图见 图3.2-2.

(一)生产厂房 1.1 AMOLED 生产厂房

2 层,钢混框架结构,建筑面积 202000m2 .

(二)生产设施 1.2 AMOLED(含柔性)生产线 玻璃基板(1300mm*1500mm) 加工能力:柔性基板:3 万张/年 硬性基板:3 万张/年(1) 阵列工程生产区 新增设备:94 台(套)

二、辅助、公用工程

(一)厂房或构筑物 2.1 动力中心(CUB)

2 层,钢混框架结构,建筑面积 19200m2 依托一期工程 2.2 化学品库

1 层,建筑面积1500m2 2.3 固废转运站

1 层,建筑面积1200m2 2.4 硅烷站

1 层,建筑面积150m2 2.5 污水处理站

2 层,钢混框架结构,建筑面积 2000m2,总处理能力 11120m3/d 2.6 水池及泵房

1 层,钢混框架结构,建筑面积 4200m2

7 2.7 柴油储罐

1 个,容积 50m3,占地面积 500m2 2.7 甲类仓库 一层,钢混框架结构,建筑面积160m2 新建 2.9 有机化学品回收、供应间 一层,建筑面积 1152m2 2.10 锅炉房 一层,建筑面积 104m2 2.11 混酸车间 一层,建筑面积 2500m2 2.12 SRS 区 占地面积 432m2

(二)建筑服务系统 2.13 空气净化系统 新风系统、洁净室空气循环系统 依托一期工程 2.14 普通空调系统 2.15 全室通风系统 2.16 事故排风系统 每个系统由厂房设施管理系统(FMCS)集中控制, 由主管道末端的压力 传感器控制排风机的变频装置,保证系统负压要求 2.17 排烟系统 2.18 冷冻水系统 冷量:39600USRT 2.19 空调热水系统 动力中心,备用

3 台CWNS2.8-95/70-YQ 常压热水锅炉 2.20 生产/生活/消防冷水 供水系统 新增总用水量:3360 m3/d 2.21 清扫真空系统 2.22 雨水排水系统 2.23 天然气系统 设1个天然气调压站,天然气管道最高工作压力0.18Mpa,主管径 100mm

8

(三)工艺服务系统 2.24 常温冷却水系统 新增流量:340m3 /h(进/出水温度 38/32℃) 依托一期工程 2.25 工艺设备冷却水系统 新增流量:340m3 /h,供水温度18±2℃;

回水温度23±2℃,供水压力 不低于0.5MPa. 2.26 高纯水和纯水系统 新增一套纯水制备系统,制备能力

200 m3 /h.其中,新增超纯水 用量

130 m3 /h,纯水30 m3 /h. 主体设备新增,部分水池等公共设备 依托一期工程 2.27 工艺压缩空气系统 新增用量:4704m3 /h 依托一期工程 2.28 工艺真空系统 新增用量:13000 m3 /h 2.29 大宗气体供应系统 液氮:1 个900m3 低压液氮储罐(................

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