PDF《扩散炉控制系统介绍》

扩散炉控制系统介绍第1页/共4页作者:流浪汉 信箱: byp75120@sina.

com 可编程序控制器 (PLC) 触摸屏 1# 模拟量模块 2# 模拟量模块

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1 步进电机 驱动器 MFC MFC 电磁阀电磁阀加热炉体MOTOR . 功率控制 温度检测 加热控制 送料推拉舟控制 送料 推拉舟 控制 PLC 温控仪 通讯 电磁阀控制 MFC 控制 MFC 控制 电磁阀控制 PLC 触摸屏 通讯 我公司设计开发的扩散炉控制系统,采用进口可编程序控制器(PLC)做控制核心, 进口人机界面(触摸屏)作人机对话窗口,实时显示扩散炉状态,可通过屏幕操作设备,设 定参数以及各类提示信息. 该控制系统是目前国内智能化程度最高的一种扩散炉智能控制系 统. 控制系统结构框图如下: PLC 为整个控制系统的核心元件,触摸屏为系统的显示,设定,操作界面;

温控仪通 过数字通讯接口和 PLC 连接, 实现温度的控制和检测;

质量流量计和电磁阀在 PLC 的控制之 下实现气路的控制和检测;

送料推拉舟装置在 PLC 的控制之下实现自动运行. 扩散炉控制系统介绍第2页/共4页作者:流浪汉 信箱: byp75120@sina.com 系统的主要部件及部件功能简述如下: 人机界面(触摸屏):扩散炉控制系统的人机对话界面,用于输入和显示温控曲线,气路设定、实时 显示炉体实际温度、炉体各相关设备的实际状态、实时报警信息、设定和修改各工艺控制参数、推拉舟的 设定及运行操作、系统测温传感器偏差的修正和补偿……,都可以通过触摸屏来完成查看,设定,操作等 功能. 可编程程序控制器(PLC):系统的智能控制核心单元,负责系统的工艺运行控制,温度检测,热偶 故障检测,超温报警,温控仪参数设定,推拉舟控制,气路质量流量计控制,气路故障检测,工艺要求各 种的联锁控制,实时报警等. 温控仪:采用进口温度控制仪表,透过数字通讯接口与控制核心(PLC)进行实时数据交换,在PLC 的控制之下实现精确稳定的温度控制. 推拉舟送料系统:在PLC 的控制之下,根据工艺设定自动控制推拉舟进舟,出舟和速度变化. 气路控制(质量流量计和电磁阀):通过 PLC 的模拟量控制,进行质量流量控制器的设定和气路的实 时检测反馈,操作人员通过触摸屏可设定流量大小并查看实际流量(系统根据反馈值与设定值来判断气路 流量偏差,并提供声光报警,同时完成气路与气路,气路与温度等之间的联锁要求) . 功率器件:温控系统的加热控制部件,在PLC 与温控仪的控制之下负责调整加热输出功率. 炉管:系统的工作部件,在控制系统的控制之下,按照设定的工艺曲线实现加工工艺流程. 控制系统的主要功能: 该系统具有手动控制/自动运行功能,实现升温,恒温,降温的智能程序控制.具有人工智能 PID 调节 功能,故障自动检测报警,PID 参数自整定,偏移量修正(多点修正)等诸多功能,完全能够满足半导体 生产企业对高温硅晶体处理的苛刻要求.主要功能如下: [工艺曲线控制功能(20步*10条曲线)] [手动操作功能] [自动运行功能] [等待温度功能] [等待人工干预] [等待推拉舟到位功能] [升降温斜率控制] [待机功能] [伺服启动] [运行中保持/继续运行功能] 扩散炉控制系统介绍第3页/共4页作者:流浪汉 信箱: byp75120@sina.com [人工跳步功能] [智能PID控制功能] [多组PID参数可输入,可调用] [设定曲线查看功能] [超温检测报警功能] [热电偶故障检测功能] [通讯故障检测功能] [气路流量检测报警功能] [气路连锁保护功能] [声光报警功能] [系统误差修正功能] [PID参数自整定功能] [系统设置操作权限由密码限制] [停电后断点继续运行功能] 等等. 控制系统的几个主要操作画面简介: 《控制系统的主菜单画面》 《自动运行控制画面》 《工艺曲线编辑进入画面―密码输入》 《工艺曲线编辑画面―设定、修改工艺参数》 扩散炉控制系统介绍第4页/共4页作者:流浪汉 信箱: byp75120@sina.com 《PID 参数输入操作画面》 《PID 参数自整定操作画面》 《工艺温度设定曲线查看画面》 《报警信息查看画面》 《断电后提示继续运行时的弹出画面》 《多点修正操作画面》 《自动运行中强制跳步操作提示窗口》 《自动运行中强制终止提示窗口》 《参数修改时自动弹出的数字键盘》