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> 《内容简介:有关制作微米/纳米器件及结构的各种技术及其物...》
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《内容简介:有关制作微米/纳米器件及结构的各种技术及其物...》
编辑:
黑豆奇酷
2018-09-23
内容简介:有关制作微米/纳米器件及结构的各种技术及其物理原理,包括抗蚀性原理,光学光刻,离子束、电子束、X射线的形成及其与物质的相互作用的物理过程,干法及蚀法刻蚀原理.
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